[發(fā)明專利]一種集成雙向驅(qū)動(dòng)的微動(dòng)臺(tái)及運(yùn)動(dòng)裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202110829557.6
• 申請日: 2021-07-22
• 公開（公告）號: CN113446486B
• 公開（公告）日: 2023-02-28
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 袁嘉欣;江旭初;彭仁強(qiáng)
• 申請（專利權(quán)）人: 上海隱冠半導(dǎo)體技術(shù)有限公司
• 主分類號: F16M11/06
• 分類號: F16M11/06;F16M11/24;G01B5/06;G01B11/06
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 陳宏

1.一種集成雙向驅(qū)動(dòng)的微動(dòng)臺(tái)，其特征在于，包括：

安裝基座(5)；

垂向底座(3)，可沿Z向移動(dòng)設(shè)置于所述安裝基座(5)上，且在Rz向上的位置相對所述安裝基座(5)不變，所述垂向底座(3)具有下端開口的安裝腔；

旋轉(zhuǎn)座(2)，可在Rz方向轉(zhuǎn)動(dòng)地套設(shè)于垂向底座(3)，且在所述Z向上的位置相對所述垂向底座(3)不變，所述旋轉(zhuǎn)座(2)的轉(zhuǎn)動(dòng)軸線與所述垂向底座(3)的縱向中心線重合，所述旋轉(zhuǎn)座(2)與安裝腔同軸設(shè)置；

雙向驅(qū)動(dòng)裝置(1)，包括同軸且沿所述Z向并排設(shè)置的垂向電機(jī)組件(11)和旋轉(zhuǎn)電機(jī)組件(12)，所述垂向電機(jī)組件(11)和所述旋轉(zhuǎn)電機(jī)組件(12)均與所述旋轉(zhuǎn)座(2)同軸套設(shè)，所述垂向電機(jī)組件(11)用于驅(qū)動(dòng)所述旋轉(zhuǎn)座(2)和所述垂向底座(3)沿所述Z向相對所述安裝基座(5)移動(dòng)，所述旋轉(zhuǎn)電機(jī)組件(12)用于驅(qū)動(dòng)所述旋轉(zhuǎn)座(2)繞所述Z向相對安裝基座(5)和所述垂向底座(3)轉(zhuǎn)動(dòng)；

重力補(bǔ)償機(jī)構(gòu)(7)，包括固設(shè)于所述安裝基座(5)上的固定部(71)和至少部分位于所述安裝腔中并與所述垂向底座(3)固定連接的運(yùn)動(dòng)部(72)，所述運(yùn)動(dòng)部(72)能夠相對所述固定部(71)沿所述Z向運(yùn)動(dòng)以向所述垂向底座(3)施加沿所述Z向向上的作用力。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微動(dòng)臺(tái)，其特征在于，所述垂向底座(3)包括同軸且間隔套設(shè)的轉(zhuǎn)接筒部(31)和滑套部(32)，所述旋轉(zhuǎn)座(2)包括同軸且間隔套設(shè)的內(nèi)筒部(21)和外筒部(22)，所述內(nèi)筒部(21)沿所述Z向向下延伸入所述轉(zhuǎn)接筒部(31)和所述滑套部(32)之間并與所述轉(zhuǎn)接筒部(31)在Rz向轉(zhuǎn)動(dòng)連接，所述滑套部(32)沿Z向向上延伸入所述內(nèi)筒部(21)和所述外筒部(22)之間，所述滑套部(32)與所述安裝基座(5)滑動(dòng)連接，所述雙向驅(qū)動(dòng)裝置(1)位于所述滑套部(32)的外側(cè)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的微動(dòng)臺(tái)，其特征在于，所述安裝基座(5)包括導(dǎo)向套部(52)，所述旋轉(zhuǎn)座(2)包括同軸且間隔套設(shè)的內(nèi)筒部(21)和外筒部(22)，所述導(dǎo)向套部(52)沿所述Z向向上伸入所述內(nèi)筒部(21)和所述外筒部(22)之間，所述垂向底座(3)位于所述導(dǎo)向套部(52)的內(nèi)側(cè)并與所述導(dǎo)向套部(52)沿Z向滑動(dòng)連接，所述內(nèi)筒部(21)與所述垂向底座(3)在Rz向轉(zhuǎn)動(dòng)連接，所述雙向驅(qū)動(dòng)裝置(1)位于所述導(dǎo)向套部(52)的外側(cè)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的微動(dòng)臺(tái)，其特征在于，所述安裝基座(5)包括導(dǎo)向套部(52)和間隔套設(shè)于所述導(dǎo)向套部(52)外側(cè)的安裝筒部(53)，所述旋轉(zhuǎn)座(2)包括與所述安裝筒部(53)同軸套設(shè)的外筒部(22)，所述外筒部(22)沿所述Z向向下延伸至所述導(dǎo)向套部(52)和所述安裝筒部(53)之間，所述垂向底座(3)位于所述外筒部(22)的內(nèi)側(cè)并與所述導(dǎo)向套部(52)沿Z向滑動(dòng)連接，所述雙向驅(qū)動(dòng)裝置(1)安裝于所述安裝筒部(53)和所述外筒部(22)之間。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的微動(dòng)臺(tái)，其特征在于，所述微動(dòng)臺(tái)還包括擋板(4)，所述擋板(4)可拆卸連接于所述安裝筒部(53)和所述外筒部(22)中的一個(gè)的上端，且所述擋板(4)沿朝向所述安裝筒部(53)和所述外筒部(22)中的另一個(gè)延伸。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的微動(dòng)臺(tái)，其特征在于，所述安裝基座(5)還包括底板部(51)，所述安裝筒部(53)的下端與所述底板部(51)可拆卸連接或一體式連接，所述導(dǎo)向套部(52)的下端與所述底板部(51)可拆卸連接或一體式連接。

7.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的微動(dòng)臺(tái)，其特征在于，所述垂向電機(jī)組件(11)包括同軸且間隔套設(shè)的垂向電機(jī)線圈機(jī)構(gòu)(112)和垂向電機(jī)磁體機(jī)構(gòu)(111)，所述旋轉(zhuǎn)電機(jī)組件(12)包括同軸且間隔套設(shè)的旋轉(zhuǎn)電機(jī)磁體機(jī)構(gòu)(121)和旋轉(zhuǎn)電機(jī)線圈機(jī)構(gòu)(122)，所述旋轉(zhuǎn)電機(jī)磁體機(jī)構(gòu)(121)和所述垂向電機(jī)磁體機(jī)構(gòu)(111)均固設(shè)于所述旋轉(zhuǎn)座(2)上，所述旋轉(zhuǎn)電機(jī)線圈機(jī)構(gòu)(122)與所述垂向電機(jī)線圈機(jī)構(gòu)(112)均相對于所述安裝基座(5)固定。