[發(fā)明專利]一種離軸三反非球面光學(xué)系統(tǒng)裝調(diào)方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202110803079.1
• 申請(qǐng)日: 2021-07-15
• 公開（公告）號(hào): CN113485024B
• 公開（公告）日: 2022-12-27
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 董吉洪;孟慶宇;孫天宇
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中國(guó)科學(xué)院長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所
• 主分類號(hào): G02B27/62
• 分類號(hào): G02B27/62
• 代理公司: 長(zhǎng)春中科長(zhǎng)光知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 22218
• 代理人: 高一明;郭婷

1.一種離軸三反非球面光學(xué)系統(tǒng)裝調(diào)方法，其特征在于，包括以下步驟：

S1、通過(guò)確定主鏡補(bǔ)償器、次鏡補(bǔ)償器和三鏡補(bǔ)償器在所述離軸三反非球面光學(xué)系統(tǒng)裝的調(diào)光路上的空間位置，建立關(guān)于主鏡、次鏡和三鏡三個(gè)非球面反射鏡的裝調(diào)共基準(zhǔn)；所述主鏡補(bǔ)償器、所述次鏡補(bǔ)償器和所述三鏡補(bǔ)償器三者的相對(duì)位置關(guān)系滿足設(shè)計(jì)參數(shù)的要求；

S2、選取所述主鏡補(bǔ)償器、所述次鏡補(bǔ)償器和所述三鏡補(bǔ)償器中的任意一個(gè)作為第一補(bǔ)償器放入對(duì)應(yīng)的補(bǔ)償器限位裝置中，調(diào)整所述第一補(bǔ)償器所對(duì)應(yīng)的所述離軸三反非球面光學(xué)系統(tǒng)中的第一非球面反射鏡的空間位置，使所述第一非球面反射鏡的全口徑干涉檢測(cè)面形的RMS值優(yōu)于1/10λ，

其中，λ為激光干涉儀的工作波長(zhǎng)，所述第一非球面反射鏡為所述主鏡、所述次鏡和所述三鏡中的一個(gè)；

S3、取出所述第一補(bǔ)償器，將第二補(bǔ)償器放入對(duì)應(yīng)的補(bǔ)償器限位裝置中，調(diào)整所述第二補(bǔ)償器對(duì)應(yīng)的所述離軸三反非球面光學(xué)系統(tǒng)中的第二非球面反射鏡的空間位置，使所述第二非球面反射鏡的全口徑干涉檢測(cè)面形的RMS值優(yōu)于1/10λ，

其中，所述第二非球面反射鏡為所述主鏡、所述次鏡和所述三鏡中不同于所述第一非球面反射鏡的一個(gè)；

S4、取出所述第二補(bǔ)償器，將第三補(bǔ)償器放入對(duì)應(yīng)的補(bǔ)償器限位裝置中，調(diào)整所述第三補(bǔ)償器對(duì)應(yīng)的所述離軸三反非球面光學(xué)系統(tǒng)中的第三非球面反射鏡的空間位置，使所述第三非球面反射鏡的全口徑干涉檢測(cè)面形的RMS值優(yōu)于1/10λ，

其中，所述第三非球面反射鏡為所述主鏡、所述次鏡和所述三鏡中不同于所述第一非球面反射鏡和第二非球面反射鏡的一個(gè)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的離軸三反非球面光學(xué)系統(tǒng)裝調(diào)方法，其特征在于，還包括以下步驟：

S5、對(duì)所述主鏡、所述次鏡和所述三鏡的位置再次進(jìn)行調(diào)整，完成對(duì)所述離軸三反非球面光學(xué)系統(tǒng)的裝調(diào)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的離軸三反非球面光學(xué)系統(tǒng)裝調(diào)方法，其特征在于，步驟S1還包括以下步驟：

S101、將入光口均設(shè)置在同一個(gè)方向的所述主鏡補(bǔ)償器、所述次鏡補(bǔ)償器和所述三鏡補(bǔ)償器放入各自對(duì)應(yīng)的補(bǔ)償器限位裝置中，將主鏡補(bǔ)償器限位裝置、次鏡補(bǔ)償器限位裝置和三鏡補(bǔ)償器限位裝置沿光軸方向擺放；

S102、利用激光跟蹤儀精確調(diào)整所述主鏡補(bǔ)償器限位裝置、所述次鏡補(bǔ)償器限位裝置和所述三鏡補(bǔ)償器限位裝置的位置，使所述主鏡補(bǔ)償器、所述次鏡補(bǔ)償器和所述三鏡補(bǔ)償器三者的光軸重合，并且三者的相對(duì)位置關(guān)系滿足預(yù)設(shè)參數(shù)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的離軸三反非球面光學(xué)系統(tǒng)裝調(diào)方法，其特征在于，所述次鏡的外表面為凸面且鍍有反射膜，所述次鏡的內(nèi)表面為凹面。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的離軸三反非球面光學(xué)系統(tǒng)裝調(diào)方法，其特征在于，所述次鏡為離軸非球面反射鏡或同軸非球面反射鏡。

6.根據(jù)權(quán)利要求1-5任一項(xiàng)所述的離軸三反非球面光學(xué)系統(tǒng)裝調(diào)方法，其特征在于，所述次鏡的鏡體材料可透射激光干涉儀的工作波長(zhǎng)，使所述激光干涉儀發(fā)出的光經(jīng)所述次鏡的背面進(jìn)入所述次鏡的鏡體后被所述次鏡的內(nèi)表面反射，其反射光返回所述次鏡補(bǔ)償器，并進(jìn)入所述激光干涉儀完成波面干涉，實(shí)現(xiàn)次鏡面形檢測(cè)。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的離軸三反非球面光學(xué)系統(tǒng)裝調(diào)方法，其特征在于，所述主鏡補(bǔ)償器、所述次鏡補(bǔ)償器和所述三鏡補(bǔ)償器均為零位補(bǔ)償器。