[發明專利]用于芯片鍵合的基準標記

在審

• 申請號: 202110798175.1
• 申請日: 2016-08-30
• 公開（公告）號: CN113543462A
• 公開（公告）日: 2021-10-22
• 發明（設計）人: 符祥心;小杉浩充;艾利珍卓·艾爾德瑞二世·A·那瑞葛;拉維·帕拉尼斯瓦米
• 申請（專利權）人: 3M創新有限公司
• 主分類號: H05K1/02
• 分類號: H05K1/02;H05K1/11;H05K1/18;H05K3/32;H05K3/34;H01L33/62;H01L23/544;H01L23/498;H01L21/48;H01L23/488;H01L21/60
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 周晨

1.一種用于安裝發光半導體器件(LESD)的柔性多層構造，所述柔性多層構造包括：

柔性介電基板，所述柔性介電基板包括相反的頂部主表面和底部主表面以及在所述頂部主表面上用于接收LESD的LESD安裝區域；

第一導電墊和第二導電墊，所述第一導電墊和所述第二導電墊設置在所述LESD安裝區域中用于電連接到在所述LESD安裝區域中接收的LESD的對應的第一導電端子和第二導電端子；以及

第一基準對準標記，所述第一基準對準標記用于LESD在所述LESD安裝區域中的精確放置，所述第一基準對準標記設置在所述LESD安裝區域內，平行于LESD的所述第一導電端子的外邊緣并沿著所述第一導電端子的外邊緣延伸；和第二基準對準標記，所述第二基準對準標記用于LESD在所述LESD安裝區域中的精確放置，所述第二基準對準標記設置在所述LESD安裝區域內，平行于LESD的所述第二導電端子的外邊緣并沿著所述第二導電端子的外邊緣延伸，其中，所述第一基準對準標記是第一溝槽并且所述第二基準對準標記是第二溝槽，使得在所述LESD安裝區域中安裝LESD時，在平面圖中，所述第一溝槽和所述第二溝槽整個在所述LESD的外邊界之外。

2.根據權利要求1所述的柔性多層構造，其中，所述第一基準對準標記設置在所述第一導電墊和所述第二導電墊中的一個導電墊的周邊的內部內。

3.根據權利要求1所述的柔性多層構造，其中，所述第一溝槽被設置為使得當使用從所述第一導電端子流向所述第一溝槽的導電材料將所述第一導電端子電連接到所述第一導電墊時，所述第一溝槽足夠深且足夠寬，使得流動的所述第一導電端子的大部分至少部分地填充所述第一溝槽。

4.一種LESD封裝，包括：

根據權利要求1所述的柔性多層構造；

安裝在所述柔性介電基板的所述LESD安裝區域中的LESD，所述LESD具有電連接到所述第一導電墊的第一導電端子和電連接到所述第二導電墊的第二導電端子。

5.一種用于安裝發光半導體器件(LESD)的柔性多層構造，所述柔性多層構造包括：

柔性介電基板，所述柔性介電基板包括相反的頂部主表面和底部主表面以及在所述頂部主表面上用于接收LESD的LESD安裝區域；

第一導電墊和第二導電墊，所述第一導電墊和所述第二導電墊設置在所述LESD安裝區域中用于電連接到在所述LESD安裝區域中接收的LESD的對應的第一導電端子和第二導電端子；以及

在所述第一導電墊的周邊的內部內形成于所述第一導電墊中的一個或多個溝槽，所述一個或多個溝槽中的每個被適配為鄰近在所述LESD安裝區域中安裝的LESD的第一導電端子的外邊緣且沿所述外邊緣并且平行于所述外邊緣延伸，使得當使用從所述第一導電端子流向所述一個或多個溝槽的導電材料將所述第一導電端子電連接到所述第一導電墊時，所述一個或多個溝槽足夠深且足夠寬，使得流動的導電材料的大部分至少部分地填充所述一個或多個溝槽，使得當所述第一導電端子電連接到所述第一導電墊時，在平面圖中，所述多個溝槽中的每個溝槽是可見的并且在所述LESD的外邊界之外。

6.一種形成用于安裝發光半導體器件(LESD)的柔性多層構造的方法，所述方法包括：

提供具有相反的頂部主表面和底部主表面的柔性介電基板；

限定在所述柔性介電基板的所述頂部主表面上用于接收LESD的LESD安裝區域；

在所述LESD安裝區域中形成對應于第一基準對準標記和第二基準對準標記的圖案；

在所述柔性介電基板的所述頂部主表面上的所述LESD安裝區域中形成用于電連接到在所述LESD安裝區域中接收的LESD的對應的第一導電端子和第二導電端子的第一導電墊和第二導電墊，所述第一導電墊鄰接所述第一基準對準標記的周邊，所述第二導電墊鄰接所述第二基準對準標記的周邊；以及

移除所述圖案，所述圖案導致在所述第一導電墊的周邊的內部內形成的第一基準對準標記并在所述第二導電墊的周邊的內部內形成的第二基準對準標記，使得所述第一基準對準標記是設置為鄰近并平行于所述第一導電端子的外邊緣的第一溝槽，所述第二基準對準標記是設置為鄰近并平行于所述第二導電端子的外邊緣的第二溝槽，使得當所述第一導電端子電連接到所述第一導電墊并且所述第二導電端子電連接到所述第二導電墊時，在平面圖中，所述第一溝槽和所述第二溝槽是可見的并且在所述LESD的外邊界之外。