[發明專利]LCOS顯示面板及其制作方法

在審

• 申請號: 202110796302.4
• 申請日: 2021-07-14
• 公開（公告）號: CN113534542A
• 公開（公告）日: 2021-10-22
• 發明（設計）人: 范純圣;范世倫
• 申請（專利權）人: 豪威半導體（上海）有限責任公司
• 主分類號: G02F1/1341
• 分類號: G02F1/1341;G02F1/1333
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 周耀君

本發明提供一種LCOS顯示面板及其制作方法。本發明將液晶的注入孔設置在玻璃基板上，注入口貫穿所述玻璃基板，空腔(液晶盒)的厚度與注入口的寬度相互獨立，不再相互牽制影響，空腔(液晶盒)的厚度可根據需要配置，LCOS顯示面板的盒厚較大(大盒)時，也不干涉注入口的大小，避免現有的盒厚變大帶來的增加污染物進入空腔內的風險，提升LCOS顯示面板的制造良率。降低了粉塵與污染物因灌注進入空腔內的可能,減少污染物進入空腔。支持高黏度液晶的注入，另辟蹊徑，克服了現有的ODF注入法無法支持高黏度液晶的困難。全制程不需要翻轉LCOS顯示面板，有利于減少產線治具與操作員誤動作風險。

技術領域

本發明屬于集成電路制造技術領域，具體涉及一種LCOS顯示面板及其制作方法。

背景技術

LCOS(Liquid Crystal on Silicon)是制作在單晶硅上的LCD新型顯示器，是LCD與CMOS集成電路有機結合的新興技術。LCOS具有高分辨率、反射式成像、低價格的特點。

如圖1所示，LCOS顯示面板包括硅基板01、玻璃基板02以及二者之間周圈分布的框膠03，框膠03留出一注入口O用于注入液晶。硅基板01、玻璃基板02和框膠03圍成一個空腔(液晶盒)，盒厚h為空腔的厚度(垂直于硅基板01方向的厚度)，盒厚h亦即注入口O的寬度。注入液晶的方式常采用真空注入和ODF注入(One Drop Filling，滴下式注入)。

如圖2所示，采用真空注入液晶時，需將LCOS顯示面板翻轉90度，注入口O浸沒在裝有液晶04的容器中，通過毛細力將液晶04吸入空腔中。LCOS顯示面板的盒厚h較大(大盒)時，污染物D(異物雜質)在液晶充填時進入空腔的風險大大增加，影響LCOS顯示面板的品質，降低了良率。在液晶注入前,空腔禁止碰水清洗,避免水氣殘留在空腔內影響產品壽命，加大了污染物的去除難度。

一些應用場合，LCOS顯示面板需注入高黏度液晶，液晶黏度影響毛細力現象；對于高黏度液晶，真空注入時為保有高毛細力，注入口O的寬度h需變大，但h變大易增加污染物D進入空腔(液晶盒)內的風險。

注入液晶采用ODF注入時，ODF注入設備昂貴且其高精密噴頭無法支持高黏度液晶。

發明內容

本發明提供一種LCOS顯示面板及其制作方法。

本發明的一目的在于，降低了粉塵與污染物因灌注進入空腔(液晶盒)內的可能,減少污染物進入空腔。

本發明的另一目的在于，支持高黏度液晶的注入。

本發明的又一目的在于，全制程不需要翻轉LCOS顯示面板，有利于減少產線治具與操作員誤動作風險。

本發明提供一種LCOS顯示面板，包括：

半導體基板、玻璃基板、框膠和液晶層；

所述框膠設置于所述半導體基板與所述玻璃基板之間的周圈位置，所述半導體基板、所述框膠和所述玻璃基板圍成空腔；

所述玻璃基板上形成有注入口，所述注入口貫穿所述玻璃基板；

所述液晶層由液晶從所述注入口注入填充在所述空腔中而形成。

進一步的，所述玻璃基板遠離所述半導體基板的一側表面設置有保護膜，所述保護膜覆蓋所述注入口。

進一步的，所述LCOS顯示面板包括若干個LCOS芯片，所述LCOS芯片呈方形。

進一步的，每個所述LCOS芯片上包括一個或兩個所述注入口；在平行于所述半導體基板的截面上，所述框膠圍成的圖形呈方形或近似方形；一個所述注入口設置于所述框膠圍成的方形或近似方形的一個角上，或者兩個所述注入口設置于所述框膠圍成的方形或近似方形的對角上。