[發(fā)明專利]一種鍍膜自動(dòng)化夾舟防護(hù)罩裝置在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 202110795323.4 | 申請(qǐng)日: | 2021-07-14 |
| 公開(kāi)(公告)號(hào): | CN113373431A | 公開(kāi)(公告)日: | 2021-09-10 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 李文漢;周天賢;段波 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 江蘇潤(rùn)陽(yáng)光伏科技有限公司 |
| 主分類號(hào): | C23C16/458 | 分類號(hào): | C23C16/458;C23C16/50;H01L31/18 |
| 代理公司: | 南京普睿益思知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 32475 | 代理人: | 陳榮立 |
| 地址: | 224700 江蘇省*** | 國(guó)省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 鍍膜 自動(dòng)化 防護(hù)罩 裝置 | ||
本發(fā)明公開(kāi)了一種鍍膜自動(dòng)化夾舟防護(hù)罩裝置,包括防護(hù)罩本體,所述防護(hù)罩本體內(nèi)側(cè)兩端均設(shè)有連接板一和連接板二,所述防護(hù)罩本體包括上蓋板和前蓋板,所述上蓋板與前蓋板之間連接成直角,所述連接板一上設(shè)有條形孔一,所述條形孔一內(nèi)設(shè)有固定螺絲一且連接板一通過(guò)固定螺絲一與夾舟橫梁固定連接,所述連接板二位于前蓋板內(nèi)側(cè)設(shè)置,所述前蓋板的前端設(shè)有條形孔二,所述條形孔二內(nèi)設(shè)有固定螺絲二,所述固定螺絲二貫穿連接板二且固定螺絲二將連接板一、連接板二和前蓋板連接為一體。本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比的優(yōu)點(diǎn)在于:既減少了頻繁上下線石墨舟造成的產(chǎn)量損失,又減少了石墨舟的維修成本和自動(dòng)化機(jī)器的維修,提高了生產(chǎn)效率,便于節(jié)約成本。
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及鍍膜PECVD傳動(dòng)輔助裝置技術(shù)領(lǐng)域,具體是指一種鍍膜自動(dòng)化夾舟防護(hù)罩裝置。
背景技術(shù)
鍍膜PECVD是太陽(yáng)能電池片制造生產(chǎn)過(guò)程中的重要工序之一,在光伏行業(yè),PECVD即等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積,時(shí)借助微波或射頻等使含有薄膜組成原子的氣體電離,在局部形成等離子體,在電池片上沉積出薄膜。通過(guò)射頻或微波激發(fā)稀薄氣體輝光放電產(chǎn)生等離子體,等離子體中的電子被電場(chǎng)加速,獲得很高的能量將反應(yīng)氣體分子激活,從而促進(jìn)氣體分子的分解和化合。鍍膜自動(dòng)化通過(guò)機(jī)器人對(duì)石墨舟內(nèi)的電池片進(jìn)行抓取運(yùn)轉(zhuǎn)。自動(dòng)化夾舟部分是在石墨舟運(yùn)行到對(duì)應(yīng)通道位置后,夾舟開(kāi)始動(dòng)作,分兩次進(jìn)行石墨舟夾緊進(jìn)行定位。操作人員在處理異常時(shí),經(jīng)常會(huì)觸碰到夾舟彈簧,以及其他外力損壞造成石墨舟舟頁(yè)損壞。分析原因大多是由于自動(dòng)化夾舟裸露,經(jīng)常人為觸碰造成損壞。從而使石墨舟需要下線維修,重新飽和烘舟才能上線使用。
所以,如何設(shè)計(jì)一種鍍膜自動(dòng)化夾舟防護(hù)罩裝置,成為我們當(dāng)前要解決的問(wèn)題。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明要解決的技術(shù)問(wèn)題是克服以上的技術(shù)缺陷,提供一種鍍膜自動(dòng)化夾舟防護(hù)罩裝置。
為解決上述技術(shù)問(wèn)題,本發(fā)明提供的技術(shù)方案為:一種鍍膜自動(dòng)化夾舟防護(hù)罩裝置,包括防護(hù)罩本體,所述防護(hù)罩本體內(nèi)側(cè)兩端均設(shè)有連接板一和連接板二,所述防護(hù)罩本體包括上蓋板和前蓋板,所述上蓋板與前蓋板之間連接成直角,所述連接板一上設(shè)有條形孔一,所述條形孔一內(nèi)設(shè)有固定螺絲一且連接板一通過(guò)固定螺絲一與夾舟橫梁固定連接,所述連接板二位于前蓋板內(nèi)側(cè)設(shè)置,所述前蓋板的前端設(shè)有條形孔二,所述條形孔二內(nèi)設(shè)有固定螺絲二,所述固定螺絲二貫穿連接板二且固定螺絲二將連接板一、連接板二和前蓋板連接為一體。
作為改進(jìn),所述連接板一和連接板二之間形成直角。
作為改進(jìn),所述連接板一和連接板二的長(zhǎng)度均與夾舟橫梁保持一致。
作為改進(jìn),所述固定螺絲一上套設(shè)有位于條形孔一前側(cè)的墊片一。
作為改進(jìn),所述固定螺絲二上套設(shè)有位于條形孔二前側(cè)的墊片二。
本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比的優(yōu)點(diǎn)在于:本發(fā)明在于對(duì)自動(dòng)化夾舟外部支架上定制相同尺寸的方型防護(hù)罩,通過(guò)連接板一和連接板二固定進(jìn)行改造防護(hù),可以有效是避免因人為誤碰,外力撞擊造成石墨舟損壞。既減少了頻繁上下線石墨舟造成的產(chǎn)量損失,又減少了石墨舟的維修成本和自動(dòng)化機(jī)器的維修,大大的提高生產(chǎn)效率,便于節(jié)約成本。
附圖說(shuō)明
圖1是本發(fā)明一種鍍膜自動(dòng)化夾舟防護(hù)罩裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖2是本發(fā)明一種鍍膜自動(dòng)化夾舟防護(hù)罩裝置的側(cè)面結(jié)構(gòu)示意圖。
圖3是圖2中A的結(jié)構(gòu)示意圖。
如圖所示:1、連接板一,2、連接板二,3、上蓋板,4、前蓋板,5、條形孔一,6、固定螺絲一,7、條形孔二,8、固定螺絲二,9、墊片一,10、墊片二。
具體實(shí)施方式
下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明做進(jìn)一步的詳細(xì)說(shuō)明。
下面結(jié)合附圖來(lái)進(jìn)一步說(shuō)明本發(fā)明的具體實(shí)施方式。其中相同的零部件用相同的附圖標(biāo)記表示。
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- 專利分類
C23C 對(duì)金屬材料的鍍覆;用金屬材料對(duì)材料的鍍覆;表面擴(kuò)散法,化學(xué)轉(zhuǎn)化或置換法的金屬材料表面處理;真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆
C23C16-00 通過(guò)氣態(tài)化合物分解且表面材料的反應(yīng)產(chǎn)物不留存于鍍層中的化學(xué)鍍覆,例如化學(xué)氣相沉積
C23C16-01 .在臨時(shí)基體上,例如在隨后通過(guò)浸蝕除去的基體上
C23C16-02 .待鍍材料的預(yù)處理
C23C16-04 .局部表面上的鍍覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金屬材料的沉積為特征的
C23C16-22 .以沉積金屬材料以外之無(wú)機(jī)材料為特征的
- 自動(dòng)化設(shè)備和自動(dòng)化系統(tǒng)
- 一種基于流程驅(qū)動(dòng)的測(cè)試自動(dòng)化方法以及測(cè)試自動(dòng)化系統(tǒng)
- 用于工業(yè)自動(dòng)化設(shè)備認(rèn)識(shí)的系統(tǒng)和方法
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