[發(fā)明專利]一種利用冷等靜壓及真空燒結(jié)設(shè)備的低成本鈦鋁合金靶材制備方法

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202110795258.5
• 申請(qǐng)日: 2021-07-14
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN113560571A
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-10-29
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陳勇;蘆博昕;劉宇
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 天鈦隆（天津）金屬材料有限公司
• 主分類號(hào): B22F3/04
• 分類號(hào): B22F3/04;B22F3/10;B22F9/04;C23C14/34
• 代理公司: 天津展譽(yù)專利代理有限公司 12221
• 代理人: 劉建伯

1.一種利用冷等靜壓及真空燒結(jié)設(shè)備的低成本鈦鋁合金靶材制備方法,其特征在于,包括如下步驟：

S1、將鈦粉與純鋁粉依據(jù)所需鈦鋁合金的成分比例進(jìn)行配料，均勻混合；

S2、將配比好的粉末，放入不銹鋼容器中，在高真空燒結(jié)爐中進(jìn)行無(wú)壓預(yù)燒結(jié)，得到非致密鈦鋁合金坯料；

S3、將燒結(jié)后的非致密鈦鋁合金坯料在保護(hù)氣氛下進(jìn)行球磨破碎，經(jīng)篩分得到鈦鋁合金粉末；

S4、將篩分得到的鈦鋁合金粉裝入橡膠包套中利用冷等靜壓機(jī)成型，得到冷等靜壓壓坯，冷等靜壓壓坯在真空燒結(jié)爐中進(jìn)行真空燒結(jié)，得到晶粒細(xì)小的全致密鈦鋁合金靶材。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種利用冷等靜壓及真空燒結(jié)設(shè)備的低成本鈦鋁合金靶材制備方法，其特征在于：所述鈦粉平均粒度為10～45微米，氧含量要求300～800ppm，鋁粉平均粒度5～150微米，氧含量500～1000ppm。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種利用冷等靜壓及真空燒結(jié)設(shè)備的低成本鈦鋁合金靶材制備方法，其特征在于：所述步驟S2中燒結(jié)溫度為800～900℃，得到非致密鈦鋁合金坯料相對(duì)密度為60～70％。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種利用冷等靜壓及真空燒結(jié)設(shè)備的低成本鈦鋁合金靶材制備方法，其特征在于：所述步驟S3中的保護(hù)氣氛采用的保護(hù)氣體為氬氣或氮?dú)猓Y分選取篩網(wǎng)為500目，篩分后粉末平均粒度為5～20微米。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種利用冷等靜壓及真空燒結(jié)設(shè)備的低成本鈦鋁合金靶材制備方法，其特征在于：所述步驟S4中冷等靜壓壓坯密度為80％～90％，燒結(jié)溫度為1200～1500℃，燒結(jié)后平均晶粒尺寸10～30微米，純度達(dá)到99.8％。

6.一種利用冷等靜壓及真空燒結(jié)設(shè)備的低成本鈦鋁合金靶材，其特征在于，所述鈦鋁合金靶材采用如權(quán)利要求1～5中任意一項(xiàng)所述的制備方法制備獲得。

7.一種利用冷等靜壓及真空燒結(jié)設(shè)備的低成本鈦鋁合金靶材，其特征在于，其中鋁元素質(zhì)量分?jǐn)?shù)為15％～85％，其余為鈦元素，靶材純度可以達(dá)到99.8％，晶粒尺寸10～30微米。