[發明專利]一種大角度縱波探頭及制備方法在審
| 申請號: | 202110795108.4 | 申請日: | 2021-07-14 |
| 公開(公告)號: | CN113533518A | 公開(公告)日: | 2021-10-22 |
| 發明(設計)人: | 張博南;黃永巍;吳迪;畢超;崔宗文 | 申請(專利權)人: | 北京信泰智合科技發展有限公司 |
| 主分類號: | G01N29/04 | 分類號: | G01N29/04;G01N29/24;B61K9/10 |
| 代理公司: | 北京金智普華知識產權代理有限公司 11401 | 代理人: | 巴曉艷 |
| 地址: | 100098 北京市海淀*** | 國省代碼: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 角度 縱波 探頭 制備 方法 | ||
1.一種制備大角度縱波探頭的方法,其特征在于,包括如下步驟:
S1.對壓電材料進行部分切割;
S2.將填充劑填充到所述壓電材料被部分切割形成的空隙中,形成復合壓電材料;
S3.將所述復合壓電材料進行研磨,得到復合壓電材料晶片;
S4.對所述復合壓電材料晶片進行沉積;
S5.將沉積后的所述復合壓電材料晶片進行處理,形成壓電元件;
S6.在所述壓電元件的頂部和底部分別粘接背襯層和楔塊,從而得到大角度縱波探頭。
2.根據權利要求1所述的制備大角度縱波探頭的方法,其特征在于,所述壓電材料為PZT-5H陶瓷。
3.根據權利要求1所述的制備大角度縱波探頭的方法,其特征在于,
所述步驟S3中具體為對所述復合壓電材料的厚度進行研磨,使其諧振頻率達到3-10MHz。
4.根據權利要求1所述的制備大角度縱波探頭的方法,其特征在于,所述步驟S4具體為采用電子蒸鍍方式在所述復合壓電材料晶片的頂部和底部的電極層上沉積金屬。
5.根據權利要求4所述的制備大角度縱波探頭的方法,其特征在于,所述金屬為金和鉻,且各自的厚度分別為5-15nm和50-150nm。
6.根據權利要求1所述的制備大角度縱波探頭的方法,其特征在于,所述步驟S6中的背襯層為鎢/環氧樹脂。
7.根據權利要求1所述的制備大角度縱波探頭的方法,其特征在于,所述步驟S6中的楔塊的材料為聚酰亞胺。
8.一種大角度縱波探頭,其特征在于,所述大角度縱波探頭根據權利要求1-7任一項所述的制備方法制取。
9.根據權利要求8所述的大角度縱波探頭,其特征在于,所述大角度縱波探頭包括壓電元件、正極、負極、背襯層和楔塊,其中所述正極和負極分別設置于所述壓電元件的頂部和底部;所述正極粘接所述背襯層;所述負極粘接所述楔塊。
10.根據權利要求9所述的大角度縱波探頭,其特征在于,所述大角度探頭的折射角為77°-80°。
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