[發明專利]重摻砷硅單晶收尾方法及裝置

在審

• 申請號: 202110794760.4
• 申請日: 2021-07-14
• 公開（公告）號: CN113564691A
• 公開（公告）日: 2021-10-29
• 發明（設計）人: 閆龍;張興茂;周文輝;李小紅;伊冉;王忠保
• 申請（專利權）人: 寧夏中欣晶圓半導體科技有限公司
• 主分類號: C30B15/04
• 分類號: C30B15/04;C30B15/20;C30B29/06
• 代理公司: 寧夏三源鑫知識產權代理事務所(普通合伙) 64105
• 代理人: 孫彥虎

1.一種重摻砷硅單晶收尾方法，其特征在于，包括以下步驟：

a.獲取等徑結束后的堝跟比R；

b.計算理論拉速上調比例X，其中，X＝1/(1+R)；

c.獲取調整間距ΔL，所述調整間距ΔL根據生產需求設定；

d.以理論拉速上調比例X，設定進入收尾時的單晶硅拉速，進入單晶收尾工序；

e.獲取當前收尾長度L；

f.獲取最近一次調整發生時的收尾長度L_n,以及調整后的拉速上調比例X_n；其中，收尾開始時的收尾長度L_n＝0，收尾開始時的調整后的拉速上調比例為X；

g.判斷L-L_n是否大于或等于ΔL；

h.如果L-L_n≥ΔL，則計算當前拉速上調比例X_n，其中，X_n＝X+[L/ΔL-1)]A,0A≤10％；

i.更新L_n；

重復步驟e～i，直至收尾結束。

2.如權利要求1所述的重摻砷硅單晶收尾方法，其特征在于，步驟c中，所述調整間距ΔL設定為10mm～30mm。

3.如權利要求2所述的重摻砷硅單晶收尾方法，其特征在于，還包括以下步驟：

j.獲取收尾開始時的收尾溫度T₀＝a；其中，0a≤0.8℃；

k.在首次進行拉速調整時，調節收尾溫度T₁＝a+b；其中，0.5℃≤b≤1.0℃；

m.如果L-L_n≥ΔL，則計算當前收尾溫度T_n，其中，T_n＝T_n-1+T_n-2；T_n-1為上一次調整后的收尾溫度；T_n-2為上二次調整后的收尾溫度；

n.重復步驟m，直至收尾結束。

4.如權利要求2所述的重摻砷硅單晶收尾方法，其特征在于，還包括以下步驟：j.獲取收尾開始時的收尾溫度T₀＝a；其中，0a≤0.8℃；

p.如果L-L_n≥ΔL，則計算當前收尾溫度T_n，其中，T_n＝λ₁L³+λ₂L²+λ₃L+a，其中，λ₁、λ₂、λ₃為常數。

5.如權利要求4所述的重摻砷硅單晶收尾方法，其特征在于，步驟p中，通過以下步驟獲取λ₁、λ₂、λ₃：

p1.以預設溫度參數進行收尾，獲取成功收尾的重摻砷硅單晶晶棒；

p2.測量重摻砷硅單晶晶棒尾部發生突變處的收尾長度，及獲取該突變處對應的收尾溫度；

p3.對突變處的收尾溫度進行調整，并采用調整后的收溫度進行收尾；

p4.重復步驟p2與p3，直至重摻砷硅單晶晶棒的尾部平滑；

p5.擬合調整后的收尾溫度與收尾長度的方程，得到λ₁、λ₂、λ₃。