[發明專利]一種制備碳包覆三維多孔銅集流體的方法有效
| 申請號: | 202110792701.3 | 申請日: | 2021-07-13 |
| 公開(公告)號: | CN113564524B | 公開(公告)日: | 2023-08-01 |
| 發明(設計)人: | 陳子博;黃婧;韓旭然;雷琳娜;陳劍宇;劉顯慧;何倩;吳強;焦云飛;應世強;李誼;馬延文 | 申請(專利權)人: | 南京郵電大學;南京億浦先進材料研究院有限公司 |
| 主分類號: | C23C14/06 | 分類號: | C23C14/06;C23C14/32;B22F3/11;B22F3/24;H01M4/66 |
| 代理公司: | 南京蘇科專利代理有限責任公司 32102 | 代理人: | 范丹丹 |
| 地址: | 210046 *** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 制備 碳包覆 三維 多孔 流體 方法 | ||
1.一種制備碳包覆三維多孔銅集流體的方法,其特征在于:以粉末燒結法制備三維多孔銅骨架,再通過弧光放電等離子體法在其表面鍍一層均勻的碳膜,得到碳包覆三維多孔銅集流體;
所述粉末燒結法包括以下步驟:
S1:清潔:將粒徑均勻的銅粉用超純水和無水乙醇多次清洗后,置于60℃恒溫真空干燥箱干燥12h以上;
S2:研磨:將S1步驟清洗后的銅粉倒入研缽中,研磨至粉體無大塊凝結,且均勻細膩;控制銅粉粒徑、研磨時間,其中,銅粉粒徑分布為1~10μm,研磨時間為30~60min;
S3:燒結:稱取一定質量經清洗、研磨的Cu粉,將Cu粉填充在模具中,并施加壓制壓力制備粉末壓坯;將裝有粉末壓坯的模具放入沉積腔中,打開真空泵,將沉積腔內抽至真空,再通入惰性氣體,控制沉積腔內真空度、溫度、升溫速率及保溫時間,其中沉積腔真空度為2×10-5~8×10-5Pa,溫度為800℃~1000℃;升溫速率為1~10℃/min,保溫時間為3~5h;裝有粉末壓坯的模具材質為石英或陶瓷材質;
所述弧光放電等離子體法具體包括以下步驟:
S100:弧源放電:將靶材碳源接入放電腔中并打開弧光放電開關;
S200:磁過濾:通過控制磁過濾管電流和負偏壓,將進入磁過濾管的等離子體進行篩選;
S300:進氣:打開沉積腔與磁過濾管連通口,調節氣體流速,使得磁過濾后的等離子體進入腔內沉積;
S400:關閉裝置:沉積結束后,依次關閉沉積腔與磁過濾管連通口、磁過濾開關、弧光放電開關和真空泵,最后等冷卻至室溫,釋放真空度,取出樣品。
2.根據權利要求1所述的一種制備碳包覆三維多孔銅集流體的方法,其特征在于:在所述S2步驟中,銅粉粒徑為5μm,研磨時間為50min;裝有粉末壓坯的模具材質為石英模具,通入的惰性氣體為Ar。
3.根據權利要求1所述的一種制備碳包覆三維多孔銅集流體的方法,其特征在于:在所述S3步驟中,沉積腔真空度為5×10-5Pa,溫度為900℃,升溫速率為5℃/min,保溫時間為4h。
4.根據權利要求1所述的一種制備碳包覆三維多孔銅集流體的方法,其特征在于:該方法優選包括以下步驟:
清潔:將顆粒粒徑分布在5μm的銅粉用超純水和無水乙醇多次清洗后,置于真空干燥箱中,在60℃下恒溫干燥12h以上;
研磨:將清洗后的Cu粉倒入研缽中,研磨50min,使粉體無大塊凝結,且均勻細膩;
燒結:稱取一定質量經清洗、研磨的Cu粉,將其填充在石英凹槽中,并施加壓制壓力制備粉末壓坯,將裝有粉末壓坯的石英模具放入沉積腔中,打開真空泵,將沉積腔內抽至5×10-5Pa,通氬氣(Ar),待腔內充滿Ar氣后,以5℃/min的速率將沉積腔溫度升至900℃,并保溫4h。
5.根據權利要求1所述的一種制備碳包覆三維多孔銅集流體的方法,其特征在于:控制靶材碳源的種類及體積比,其中靶材碳源為二氧化碳和甲烷,CO2/CH4混合氣體體積比例為2.5:4~2.9:4,控制弧源放電功率,其中弧源放電功率為600~700W。
6.根據權利要求1所述的一種制備碳包覆三維多孔銅集流體的方法,其特征在于:控制磁過濾管電流、負偏壓,其中磁過濾管電流為2.5~3.5A,負偏壓為300~380V,控制沉積腔與磁過濾管連通口氣體流速、沉積時間,其中氣體流速為400ppm~500?ppm,沉積時間為50min~80min。
7.根據權利要求1所述的一種制備碳包覆三維多孔銅集流體的方法,其特征在于:所述弧光放電等離子體法具體包括以下步驟:
弧源放電:將CO2/CH4混合氣體以體積比例為2.7:4接入放電腔中并打開弧光放電開關,設置弧源放電功率為650W;
磁過濾:將磁過濾管電流設置為3.0A,負偏壓設置為350V,篩選進入磁過濾管的碳等離子體;
進氣:打開沉積腔與磁過濾管連通口,調節氣體流速為450ppm,使得磁過濾后的碳等離子體進入腔內沉積,沉積時間設置為60min;
關閉裝置:沉積結束后,依次關閉沉積腔與磁過濾管連通口、磁過濾開關、弧光放電開關和真空泵,最后等冷卻至室溫,釋放真空度,取出樣品,得到C@3D?Cu集流體。
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