[發明專利]一種激光加工裝置、方法及系統

在審

• 申請號: 202110792108.9
• 申請日: 2021-07-13
• 公開（公告）號: CN113547228A
• 公開（公告）日: 2021-10-26
• 發明（設計）人: 王祥;李善基;盧孫平
• 申請（專利權）人: 深圳銘創智能裝備有限公司
• 主分類號: B23K26/38
• 分類號: B23K26/38;B23K26/70;B23K26/402
• 代理公司: 廣州三環專利商標代理有限公司 44202
• 代理人: 熊永強

1.一種激光加工裝置，其特征在于，包括：

紅外激光器，用于出射紅外激光束，所述紅外激光束用于切割目標顯示面板的邊緣區域的玻璃基板；

紫外激光器，用于出射第一紫外激光束和第二紫外激光束，所述第一紫外激光束用于切割所述目標顯示面板的邊緣區域的柔性襯底的邊角，所述第二紫外激光束用于將所述邊緣區域的柔性襯底由玻璃基板剝離；

加工平臺，所述加工平臺包括承物臺和平移組件，所述承物臺用于承載固定目標顯示面板，所述平移組件用于平移所述目標顯示面板；

控制器，與所述紅外激光器、所述紫外激光器以及所述平移組件電連接。

2.根據權利要求1所述的激光加工裝置，其特征在于，所述裝置還包括依次位于所述紅外激光束光路上的第一光整形裝置和第一聚焦鏡；

所述第一光整形裝置用于將所述紅外激光束整形為貝塞爾光束；

第一聚焦鏡用于將所述紅外激光束聚焦至所述玻璃基板內部進行切割。

3.根據權利要求1所述的激光加工裝置，其特征在于，所述裝置還包括：

位于所述第一紫外激光束的光路上的第二聚焦鏡，用于將所述第一紫外激光束聚焦至所述柔性襯底，對所述目標顯示面板的邊緣區域的柔性襯底的邊角進行切割；

位于所述第二紫外激光束的光路上的第二光整形裝置，用于將所述第二紫外激光束的光斑整形為長方形平頂光斑，所述第二紫外激光束用于將所述邊緣區域的柔性襯底由玻璃基板剝離。

4.根據權利要求3所述的激光加工裝置，其特征在于，

所述第一紫外激光束和第二紫外激光束為分光后的不同子光束；

所述裝置還包括：

位于所述紫外激光束出光方向上的分光元件，所述分光元件用于將所述紫外激光束分光為第一紫外激光束和第二紫外激光束；

與所述控制器電連接的光閘，用于控制所述第一紫外激光束和第二紫外激光束的通斷。

5.根據權利要求1所述的激光加工裝置，其特征在于，所述第一紫外激光束和第二紫外激光束為同一光束的不同時序；

裝置還包括：

與所述控制器電連接的切換裝置，所述切換裝置用于切換所述第二聚焦鏡或第二光整形裝置至所述紫外激光束的光路上。

6.根據權利要求1所述的激光加工裝置，其特征在于，所述紫外激光器為紫外皮秒激光器或紫外飛秒激光器，所述紫外激光束的波長為340nm至355nm。

7.根據權利要求1所述的激光加工裝置，其特征在于，所述紅外激光束由所述玻璃基板入射；所述第一紫外激光束由所述柔性襯底入射；所述第二紫外激光束由所述玻璃基板入射。

8.根據權利要求1至7任一項所述的激光加工裝置，其特征在于，所述裝置還包括與所述控制器電連接的圖像傳感器，所述圖像傳感器的視場角覆蓋所述承物臺上固定的目標顯示面板，用于采集所述目標顯示面板的圖像；

所述控制器用于識別所述目標顯示面板的圖像中的標識圖案，根據所述標識圖案定位所述目標顯示面板。

9.一種激光加工方法，基于權利要求8所述的激光加工裝置，其特征在于，所述方法包括：

獲取所述圖像傳感器采集的所述目標顯示面板的圖像；

識別所述圖像中的標識圖案，根據所述標識圖案確定所述目標顯示面板的位置信息；

根據所述位置信息控制所述紫外激光器出射所述第一紫外激光束，對所述目標顯示面板的邊緣區域的柔性襯底的邊角進行切割；

根據所述位置信息控制所述紅外激光器出射所述紅外激光束，對所述目標顯示面板的邊緣區域的玻璃基板進行切割；

根據所述位置信息控制所述紫外激光器出射所述第二紫外激光束，將所述邊緣區域的柔性襯底由玻璃基板剝離。

10.一種激光加工系統，基于權利要求8所述的激光加工裝置，包括：

圖像傳感器，用于采集目標顯示面板的圖像；

控制器，用于識別所述目標顯示面板的圖像中的標識圖案，根據所述標識圖案確定所述目標顯示面板的位置信息；根據所述位置信息控制所述紫外激光器出射所述第一紫外激光束，對所述目標顯示面板的邊緣區域的柔性襯底的邊角進行切割；根據所述位置信息控制所述紅外激光器出射所述紅外激光束，對所述目標顯示面板的邊緣區域的玻璃基板進行切割；根據所述位置信息控制所述紫外激光器出射所述第二紫外激光束，將所述邊緣區域的柔性襯底由玻璃基板剝離。