[發明專利]一種激光刻蝕裝置、方法及系統

在審

• 申請號: 202110792100.2
• 申請日: 2021-07-13
• 公開（公告）號: CN113547205A
• 公開（公告）日: 2021-10-26
• 發明（設計）人: 王祥;李善基;朱建
• 申請（專利權）人: 深圳銘創智能裝備有限公司
• 主分類號: B23K26/06
• 分類號: B23K26/06;B23K26/067;B23K26/362;B23K26/70
• 代理公司: 廣州三環專利商標代理有限公司 44202
• 代理人: 熊永強

本申請公開了一種激光刻蝕裝置，包括激光器、擴束鏡，分光元件，掃描振鏡和聚焦鏡，分光元件用于將所述激光束分光為第一激光束、第二激光束和第三激光束；所述裝置還包括加工平臺，所述加工平臺包括承物臺和旋轉組件；所述承物臺用于承載固定刻蝕標的元件，且所述第一激光束、第二激光束和第三激光束分別對應所述刻蝕標的元件的正面、側面和背面；所述旋轉組件用于驅動所述承物臺在所述承物臺所處平面內旋轉；所述裝置還包括控制器，所述控制器與所述激光器、所述掃描振鏡、所述旋轉組件電連接。本申請還相應提供了一種激光刻蝕方法和激光刻蝕系統，能夠在mini LED顯示面板的正面、側面和背面上精確地刻蝕線路。

技術領域

本申請涉及激光加工技術領域，具體涉及一種激光刻蝕裝置、方法及系統。

背景技術

傳統技術中，為了實現大屏顯示，通常采用小屏拼接的做法，即將多個較小的miniLED顯示面板拼接，形成一個大的顯示面板，但拼接處存在縫隙，當縫隙較大時，則會影響觀感。

傳統技術中，為了減少小屏mini LED拼接時的縫隙寬度，通常采用印刷工藝在小屏mini LED顯示面板的基板的側面形成線路，可使得顯示面板正面、背面和側面的線路導通，將控制電路板放置于顯示面板的背面，減小綁定區的寬度，從而減小拼接縫寬，但是，印制工藝在小屏mini LED顯示面板的上形成的線路精度不足，使得拼接時會出現線路不均勻或錯位而導致產品加工失敗的情況，良品率較低。

發明內容

本申請提供了一種能夠在mini LED顯示面板的正面的邊緣區域、側面和背面精確刻蝕線路，以減少mini LED顯示面板的拼接縫的激光刻蝕裝置。

一種激光刻蝕裝置，包括激光器，用于出射激光束，所述裝置沿所述激光束傳播方向依次還包括：

擴束鏡，用于對所述激光束擴束和準直；

分光元件，用于將所述激光束分光為第一激光束、第二激光束和第三激光束；

與所述第一激光束、第二激光束和第三激光束分別對應的掃描振鏡和聚焦鏡，用于根據預設的掃描速率控制所述激光束進行刻蝕；

所述裝置還包括加工平臺，所述加工平臺包括承物臺和旋轉組件；

所述承物臺用于承載固定刻蝕標的元件，且所述第一激光束、第二激光束和第三激光束分別對應所述刻蝕標的元件的正面、側面和背面；

所述旋轉組件用于驅動所述承物臺在所述承物臺所處平面內旋轉；

所述裝置還包括控制器，所述控制器與所述激光器、所述掃描振鏡、所述旋轉組件電連接。

在其中一個實施例中，所述激光器為紫外皮秒激光器或紫外飛秒激光器。

在其中一個實施例中，所述分光元件包括第一分光元件和第二分光元件、所述第一分光元件用于分離出第一激光束，所述第二分光元件用于分離出第二激光束和第三激光束。

在其中一個實施例中，所述第一激光束、第二激光束和第三激光束為均勻能量分布或近似均勻能量分布。

在其中一個實施例中，所述承物臺還包括真空吸附裝置，所述真空吸附裝置用于將所述刻蝕標的元件固定在所述承物臺上。

在其中一個實施例中，所述刻蝕標的元件為平板狀結構，包括正面、底面和側面，所述刻蝕標的元件至少一面上至少一區域涂覆或蒸鍍有金屬材料，所述刻蝕標的元件的底面與所述承物臺緊貼，且所述底面覆蓋所述承物臺的臺面。

在其中一個實施例中，所述加工平臺還包括平移組件，所述平移組件用于驅動所述承物臺平移。

在其中一個實施例中，所述裝置還包括與所述控制器連接的圖像傳感器，所述圖像傳感器的視場角覆蓋所述承物臺的臺面，用于拍攝所述刻蝕標的元件的圖像。