[發(fā)明專利]一種酸性蝕刻廢液在線循環(huán)回用系統(tǒng)及方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 202110791912.5 | 申請日： | 2021-07-13 |
| 公開（公告）號： | CN113637973A | 公開（公告）日： | 2021-11-12 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 汪前程;李再強(qiáng);徐樹鈿;黃文濤;梁民 | 申請（專利權(quán)）人： | 深圳市祺鑫環(huán)保科技有限公司 |
| 主分類號： | C23F1/46 | 分類號： | C23F1/46;C23F1/18;C25C1/12;C25B1/01 |
| 代理公司： | 深圳中一聯(lián)合知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 44414 | 代理人： | 黃志云 |
| 地址： | 518000 廣東省深圳市寶安區(qū)福海*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 酸性 蝕刻 廢液 在線 循環(huán) 系統(tǒng) 方法 | ||
1.一種酸性蝕刻廢液在線循環(huán)回用系統(tǒng)，其特征在于，包括：
電解槽，設(shè)置有陽極室和陰極室，且所述陽極室和陰極室通過隔膜隔開；在所述陽極室內(nèi)設(shè)置有陽極板，所述陽極室設(shè)置有再生蝕刻液排出口；在所述陰極室內(nèi)設(shè)置有陰極板；
供電單元，所述供電單元用于連接所述電解槽的所述陽極板和所述陰極板，向所述陽極板和所述陰極板提供電流；
ORP值監(jiān)測單元，所述ORP值監(jiān)測單元設(shè)置在所述陽極室內(nèi)，用于監(jiān)測所述陽極室內(nèi)溶液的ORP值變化；
蝕刻機(jī)，所述蝕刻機(jī)的廢液排出口與所述電解槽的廢液入口連接；所述蝕刻機(jī)的蝕刻液入口與陽極室的所述再生蝕刻液排出口連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的酸性蝕刻廢液在線循環(huán)回用系統(tǒng)，其特征在于，所述酸性蝕刻廢液在線循環(huán)回用系統(tǒng)還包括第一緩沖槽，所述第一緩沖槽連接在所述蝕刻機(jī)的廢液排出口與所述陽極室和/或陰極室的所述廢液入口之間的管路上；和/或
還包括第二緩沖槽，所述第二緩沖槽連接在所述陽極室的所述再生蝕刻液排出口與所述蝕刻機(jī)的所述蝕刻液入口之間的管路上。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的酸性蝕刻廢液在線循環(huán)回用系統(tǒng)，其特征在于，所述酸性蝕刻廢液在線循環(huán)回用系統(tǒng)還包括與所述ORP值監(jiān)測單元和所述供電單元連接的控制單元，所述控制單元用于接收所述ORP值監(jiān)測單元反饋的ORP值信息并調(diào)控所述供電單元對所述陽極板和所述陰極板的供電電流大小。
4.根據(jù)權(quán)利要求1-3所述的酸性蝕刻廢液在線循環(huán)回用系統(tǒng)，其特征在于，所述電解槽中的所述陽極室和陰極室為一對或多對。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的酸性蝕刻廢液在線循環(huán)回用系統(tǒng)，其特征在于，所述隔膜采用目數(shù)大于600目的濾布。
6.一種酸性蝕刻廢液在線循環(huán)回用的方法，其特征在于，采用權(quán)利要求1-5所述的酸性蝕刻廢液在線循環(huán)回用系統(tǒng)對酸性蝕刻廢液進(jìn)行電解。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的酸性蝕刻廢液在線循環(huán)回用的方法，其特征在于，包括以下步驟：
將所述蝕刻機(jī)中的酸性蝕刻廢液從所述電解槽廢液入口注入所述陽極室和/或陰極室內(nèi)；
將陽極室中的陽極板與供電單元正極連接，陰極室中的陰極板與供電單元負(fù)極連接并進(jìn)行電解處理，處于所述陰極室中的所述酸性蝕刻廢液所含的銅離子被還原成金屬銅，處于所述陽極室中的所述酸性蝕刻廢液所含的一價銅被氧化成二價銅，所述酸性蝕刻廢液ORP值升高，形成再生蝕刻液，所述再生蝕刻液回流至所述蝕刻機(jī)中回用。
8.據(jù)權(quán)利要求6所述的酸性蝕刻廢液在線循環(huán)回用的方法，其特征在于，所述電解過程的電流I為I小或I大，其中，0.5I理論≤I小＜I理論，I理輪＜I大≤1.5I理論，m為所述蝕刻機(jī)正常工作狀態(tài)下每小時的蝕銅量，η為所述電解槽的電流效率。
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的酸性蝕刻廢液在線循環(huán)回用的方法，其特征在于，所述再生蝕刻液的ORP值為520-570mV。
10.根據(jù)權(quán)利要求6-9所述的酸性蝕刻廢液在線循環(huán)回用的方法，其特征在于，所述電解過程中，所述陽極室中溶液的ORP值降低至520mV時，電流I調(diào)節(jié)為I大；或
所述陽極室中溶液的ORP值升高至560mV時，電流I調(diào)節(jié)為I小；或
所述陽極室中溶液的ORP值升高至570mV時，電流I調(diào)節(jié)為0。
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