[發明專利]一種利用結構化探針制備拉曼基底的方法在審
| 申請號： | 202110790762.6 | 申請日： | 2021-07-13 |
| 公開（公告）號： | CN113466208A | 公開（公告）日： | 2021-10-01 |
| 發明（設計）人： | 耿延泉;李子翰;劉宇;閆永達;趙學森 | 申請（專利權）人： | 哈爾濱工業大學 |
| 主分類號： | G01N21/65 | 分類號： | G01N21/65 |
| 代理公司： | 哈爾濱龍科專利代理有限公司 23206 | 代理人： | 李智慧 |
| 地址： | 150001 黑龍*** | 國省代碼： | 黑龍江;23 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 利用 結構 探針 制備 基底 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種利用結構化探針制備拉曼基底的方法，其特征在于所述方法包括如下步驟：
步驟一、結構化探針的制備：
利用FIB技術加工金剛石探針針尖，使金剛石探針修飾為具有豁口的結構化金剛石探針；
步驟二、利用結構化探針加工納米陣列結構：
將步驟一制備的結構化探針安裝在AFM加工系統上，以恒定法向載荷壓入樣品表面，通過運動平臺控制加工軌跡，使結構化探針在標準進給量下多次刻劃，加工出納米結構陣列。
2.根據權利要求1所述的利用結構化探針制備拉曼基底的方法，其特征在于所述步驟一的具體步驟如下：將金剛石探針固定與FIB加工環境內，為探針表面鍍金以提高導電穩定性，根據所設計的結構化探針尺寸，通過氦離子束沖擊金剛石針尖加工出具有豁口的結構化金剛石探針。
3.根據權利要求1所述的利用結構化探針制備拉曼基底的方法，其特征在于所述步驟一中，加工出的針尖沿探針中心線對稱分布。
4.根據權利要求1所述的利用結構化探針制備拉曼基底的方法，其特征在于所述步驟二中，恒定法向載荷為微牛量級。
5.根據權利要求1所述的利用結構化探針制備拉曼基底的方法，其特征在于所述步驟二中，刻劃深度小于100μm。
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