[發明專利]一種碳纖維晶圓搬運手指及其制作方法

在審

• 申請號: 202110790516.0
• 申請日: 2021-07-13
• 公開（公告）號: CN113707593A
• 公開（公告）日: 2021-11-26
• 發明（設計）人: 劉良格;張武雷
• 申請（專利權）人: 寧波復升新材料科技有限公司
• 主分類號: H01L21/683
• 分類號: H01L21/683;B29C43/10;B29C43/20;B29C70/34
• 代理公司: 寧波天一專利代理有限公司 33207
• 代理人: 蔡烜

1.一種碳纖維晶圓搬運手指，其特征在于它包括上下兩塊碳纖維薄片，以及兩塊碳纖維薄片之間的環氧樹脂膠膜，在搬運手指的內部開設有真空氣道，在碳纖維薄片上開設有與真空氣道相通的吸附孔及抽氣孔，吸附孔與抽氣孔分別位于真空氣道的兩端。

2.根據權利要求1所述的碳纖維晶圓搬運手指，其特征在于所述的碳纖維薄片的厚度為0.4毫米。

3.根據權利要求1所述的碳纖維晶圓搬運手指，其特征在于所述的環氧樹脂膠膜的厚度為0.2毫米。

4.根據權利要求1所述的碳纖維晶圓搬運手指，其特征在于所述的碳纖維薄片的平面度小于0.05微米。

5.一種碳纖維晶圓搬運手指的制作方法，其特征在于，

步驟1：將碳纖維預浸料成型放入模具中，然后在熱壓罐高溫固化，制得兩塊厚度為0.4毫米的碳纖維薄片；

步驟2：利用CNC加工中心在兩塊碳纖維薄片上分別加工出真空氣道的上腔和下腔；

步驟3：在兩塊碳纖維薄片中間插入一片0.2毫米厚度的環氧樹脂膠膜，環氧樹脂膠膜在真空氣道投影位置鏤空，兩塊碳纖維薄片與環氧樹脂膠膜組合后內部形成真空氣道；將組合后的兩塊碳纖維薄片與環氧樹脂再次進熱壓罐高溫固化，得到一片1毫米厚度的碳纖維手指毛胚；

步驟4：根據圖紙在CNC加工中心加工碳纖維手指外形尺寸，固定孔位，吸附孔位、抽氣孔位；

步驟5：去除產品毛刺，所有加工面涂覆環氧樹脂，放入烤箱在60℃溫度下烘干2小時，制得碳纖維晶圓搬運手指。

6.根據權利要求5所述的碳纖維晶圓搬運手指的制作方法，其特征在于在步驟1和步驟3在熱壓罐內高溫固化的溫度均為200℃，持續時間均為3小時。