[發(fā)明專利]研磨盤窗口蓋、研磨盤及研磨機(jī)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202110787237.9
• 申請(qǐng)日: 2021-07-12
• 公開（公告）號(hào): CN113319736B
• 公開（公告）日: 2022-06-07
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 田國軍;崔凱
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 北京爍科精微電子裝備有限公司
• 主分類號(hào): B24B37/34
• 分類號(hào): B24B37/34;B24B37/20;B24B37/04
• 代理公司: 北京三聚陽光知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11250
• 代理人: 王鍇

本發(fā)明公開了一種研磨盤窗口蓋、研磨盤及研磨機(jī)，其中，研磨盤窗口蓋包括窗口蓋本體和保護(hù)件；保護(hù)件設(shè)于窗口蓋本體上，以用于在研磨時(shí)與研磨墊接觸。本發(fā)明改進(jìn)了研磨盤窗口蓋的結(jié)構(gòu)，解決了研磨盤窗口蓋容易被研磨墊粘下來的問題，保護(hù)了研磨盤窗口蓋，避免了多次重新安裝，也解決了因研磨盤窗口蓋安裝不到位而導(dǎo)致研磨墊磨平的問題。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及研磨機(jī)技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種研磨盤窗口蓋、研磨盤及研磨機(jī)。

背景技術(shù)

隨著5G的興起，它所具有的超高速率，超低延時(shí)，超高密度等優(yōu)點(diǎn)，使物聯(lián)網(wǎng)，人工智能，無人駕駛等新興技術(shù)迅猛發(fā)展。這就要求生產(chǎn)5G技術(shù)的芯片具有高效率，低能耗等特點(diǎn)。隨著半導(dǎo)體芯片制造技術(shù)的發(fā)展，200mm及以上晶圓的化學(xué)機(jī)械平坦化工藝(ChemicalMechanical Planarization，簡稱CMP)在芯片生產(chǎn)中的作用和要求也就越來越高。這對(duì)CMP研磨機(jī)臺(tái)的性能要求也是越來越嚴(yán)格，包括效率、穩(wěn)定性、成本控制、機(jī)臺(tái)保養(yǎng)方便易行等參數(shù)。

目前研磨盤使用的材質(zhì)是不銹鋼材料，在表面開一個(gè)固定大小的窗口，將研磨盤窗口蓋蓋在研磨盤的窗口上。設(shè)置研磨盤窗口蓋的目的是保證研磨盤平整性，避免研磨液和水等液體漏到機(jī)臺(tái)內(nèi)部而造成機(jī)臺(tái)電路短路。在對(duì)晶圓進(jìn)行研磨時(shí)，需要將研磨墊貼在研磨盤上，晶圓在研磨墊上進(jìn)行研磨。研磨墊長時(shí)間的進(jìn)行研磨，研磨墊的背膠會(huì)與研磨盤窗口連接緊密，當(dāng)?shù)竭_(dá)使用壽命而需要更換時(shí)，研磨墊的背膠經(jīng)常將研磨盤窗口蓋粘下來，需要再次將窗口蓋裝回研磨盤，若安裝不到位，還會(huì)存在因凸起的窗口蓋而導(dǎo)致研磨墊磨平的風(fēng)險(xiǎn)，影響晶圓的均勻度，降低了產(chǎn)品的良率。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的主要目的在于提供一種研磨盤窗口蓋、研磨盤及研磨機(jī)，旨在避免研磨盤窗口蓋被研磨墊粘起的問題，避免多次重新安裝，解決因研磨盤窗口蓋安裝不到位而導(dǎo)致研磨墊磨平的問題。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提出一種研磨盤窗口蓋，應(yīng)用于研磨機(jī)，所述研磨盤窗口蓋包括：

窗口蓋本體；以及

保護(hù)件，設(shè)于所述窗口蓋本體上，以用于在研磨時(shí)與研磨墊接觸。

可選地，所述保護(hù)件由透明材質(zhì)制成。

可選地，所述保護(hù)件為涂布于所述窗口蓋本體上的PVC、PP或PC透明涂層。

可選地，所述保護(hù)件的厚度為0.0001um～5.00cm。

可選地，所述保護(hù)件包括多個(gè)第一子涂層，多個(gè)所述第一子涂層依次層疊涂布于所述窗口蓋本體上；或者

所述保護(hù)件包括多個(gè)貼合片，多個(gè)所述貼合片依次層疊粘貼于所述窗口蓋本體上。

可選地，在所述保護(hù)件為多個(gè)所述第一子涂層時(shí)，各所述第一子涂層之間的粘合力小于所述保護(hù)件與所述窗口蓋本體之間的粘合力；或者

在所述保護(hù)件為多個(gè)所述貼合片時(shí)，各所述貼合片之間的粘合力小于所述保護(hù)件與所述窗口蓋本體之間的粘合力。

可選地，所述保護(hù)件的耐壓壓力為0～15psi。

可選地，所述保護(hù)件的適應(yīng)溫度為0～70℃。

可選地，所述窗口蓋本體由透明材料制成。

為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明還提出一種研磨盤，所述研磨盤開設(shè)有信號(hào)窗口，所述信號(hào)窗口上蓋設(shè)有如上所述的研磨盤窗口蓋，所述研磨盤窗口蓋包括：

窗口蓋本體；以及

保護(hù)件，設(shè)于所述窗口蓋本體上，以用于在研磨時(shí)與研磨墊接觸。

可選地，所述研磨盤窗口蓋與所述信號(hào)窗口的周壁之間通過密封件密封連接。

為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明還提出一種研磨機(jī)，所述研磨機(jī)包括如上所述的研磨盤。