[發明專利]N型TOPCon太陽能電池的制作方法

在審

• 申請號: 202110785634.2
• 申請日: 2021-07-12
• 公開（公告）號: CN113571411A
• 公開（公告）日: 2021-10-29
• 發明（設計）人: 袁玲;王芹芹;瞿輝;曹玉甲
• 申請（專利權）人: 江蘇順風新能源科技有限公司
• 主分類號: H01L21/223
• 分類號: H01L21/223;H01L21/311;H01L31/20;H01L21/67
• 代理公司: 南京正聯知識產權代理有限公司 32243
• 代理人: 朱曉凱

1.一種N型TOPCon太陽能電池的制作方法，其特征在于包括如下步驟：

(a)、雙面制絨

(b)、單面硼擴散：利用低壓擴散爐，雙片合并插入水平舟的石英舟齒中，源量為：60sccm-150sccm，使用BCl3：O2：N2＝1:5-15:20-40的流量比例在低壓下進行分步遞溫式沉積擴散；而后降溫至700℃-800℃，降溫20min-50min，在降溫的過程中通入2L-20L氧氣進行氧化，控制氧化層BSG厚度在20nm-50nm；

(c)、背面酸刻蝕；

(d)、本征多晶硅；

(e)、雙面磷摻雜；

(f)、去除正面PSG及本征多晶硅；

(g)、去除背面PSG及正面BSG；

(h)、鈍化；

(i)、雙面印刷。

2.根據權利要求1所述的N型TOPCon太陽能電池的制作方法，其特征在于：步驟(b)中所述分步遞溫式沉積擴散具體為：第一步,在低壓下先在溫度840-850℃進行沉積，時間3-8min，再升高溫度至860-880℃，在氮氣保護下進行高溫推進8-12min；第二步，在低壓下先在溫度860-880℃進行沉積，時間為6-10min，隨后升溫至890-910℃同樣在氮氣保護下進行高溫推進8-12min；第三步，在低壓下，再使用960℃進行高溫推進8-12min。

3.根據權利要求2所述的N型TOPCon太陽能電池的制作方法，其特征在于：所述第一步升溫推進的溫度與第二步沉積的溫度相同。

4.根據權利要求1或2所述的N型TOPCon太陽能電池的制作方法，其特征在于：步驟(b)中所述的低壓是指真空壓力為390-410mbar。

5.根據權利要求1所述的N型TOPCon太陽能電池的制作方法，其特征在于：步驟(f)中去除正面PSG具體為：配比清洗液，使清洗液中氟化銨與氟化氫的濃度比為5-30：1，使用鏈式清洗機去除正面的PSG。