[發明專利]一種離子源實驗平臺

在審

• 申請號: 202110778229.8
• 申請日: 2021-07-09
• 公開（公告）號: CN113411942A
• 公開（公告）日: 2021-09-17
• 發明（設計）人: 石金水;陳宇航;張聰;王丹;鄧建軍;馬瑞利
• 申請（專利權）人: 四川玖誼源粒子科技有限公司
• 主分類號: H05H1/00
• 分類號: H05H1/00
• 代理公司: 成都東唐智宏專利代理事務所(普通合伙) 51261
• 代理人: 羅言剛

1.一種離子源實驗平臺，其特征在于，包括線圈模塊、磁鐵結構模塊、離子源模塊、引出模塊（2）、真空模塊、液壓模塊和離子源平臺支撐模塊：

所述線圈模塊包括線圈（7）和線圈擋條（15），其中所述線圈（7）的外側安裝有線圈擋條（15）；

所述磁鐵結構模塊包括上蓋板（16）、下蓋板（10）、第一下磁軛（11）、第一上磁軛（14）、第二上磁軛（21）、第二下磁軛（22）、上磁極（23）、凸臺（24）和下磁極（25），其中所述上蓋板（16）和下蓋板（10）的分別位于線圈（7）的上下兩側，且第一下磁軛（11）和第一上磁軛（14）與第二下磁軛（22）和第二上磁軛（21）之間呈對應左右對稱設置在上蓋板（16）與下蓋板（10）之間，所述上磁極（23）和下磁極（25）呈上下對稱設置在上蓋板（16）與下蓋板（10）之間，且上磁極（23）和下磁極（25）的內側均設置有凸臺（24）；

所述離子源模塊包括離子源（3）、離子源支撐板（5）、第一離子源支座（27）、第二離子源支座（28）和離子源波紋管法蘭（18），其中所述離子源（3）通過離子源支撐板（5）利用定位螺釘（6）和螺母（13）固定安裝在徑向支撐組件（12）的外側，所述離子源（3）的內部連接有離子源管道（4），且離子源管道（4）的頂端外側設置有第一離子源支座（27），其中所述第一離子源支座（27）與第二離子源支座（28）之間在真空盒（20）的內部呈斜對稱設置，同時所述第一離子源支座（27）和第二離子源支座（28）通過無磁性螺釘（29）安裝在真空盒（20）的內部；

所述真空模塊包括分子泵轉接法蘭（19）和真空盒（20），所述真空盒（20）裝配安裝在上磁極（23）的下底面，且分子泵轉接法蘭（19）的頂端貫穿上蓋板（16）并位于其上側；

所述液壓模塊安裝上磁極（23）的外側；

所述離子源平臺支撐模塊包括離子源平臺支腿（8），所述離子源平臺支腿（8）對稱固定在下蓋板（10）的底部，且下蓋板（10）的底部中間位置設置有底面盲板（9）。

2.根據權利要求1所述的一種離子源實驗平臺，其特征在于：所述引出模塊（2）包括引出電機和控制電機，所述引出電機的內部安裝有用于電流效應感應的檢測裝置，且所述控制電機連接在引出電機的外側用于控制引出電機。

3.根據權利要求1所述的一種離子源實驗平臺，其特征在于：所述線圈（7）通過線圈螺釘套管（17）螺絲固定在真空盒（20）的內側。

4.根據權利要求1所述的一種離子源實驗平臺，其特征在于：所述分子泵轉接法蘭（19）的頂端外側用于連接分子泵和真空泵。

5.根據權利要求1所述的一種離子源實驗平臺，其特征在于：所述上磁極（23）與上蓋板（16）之間以及下磁極（25）與下蓋板（10）之間均通過內螺釘（26）螺栓固定連接，并且上磁極（23）的外側通過定位銷（1）固定安裝液壓模塊，并且上磁極（23）通過液壓模塊在下磁極（25）的上方構成升降結構。