[發明專利]一種硅片分類收片方法有效
| 申請號: | 202110778079.0 | 申請日: | 2021-07-09 |
| 公開(公告)號: | CN113716268B | 公開(公告)日: | 2023-06-09 |
| 發明(設計)人: | 劉世挺;李文;譚曉靖;葛建良;李昶;王美;徐飛;趙銘;李澤通;薛冬冬 | 申請(專利權)人: | 無錫奧特維科技股份有限公司 |
| 主分類號: | B65G15/24 | 分類號: | B65G15/24;B65G43/08;B65G47/46;B65G65/32 |
| 代理公司: | 無錫永樂唯勤專利代理事務所(普通合伙) 32369 | 代理人: | 孫際德;章陸一 |
| 地址: | 214000 *** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 硅片 分類 方法 | ||
1.一種硅片分類收片方法,其特征在于,所述硅片分類收片方法包括:
利用第一輸送裝置將硅片輸送至檢測工位;
在所述檢測工位對硅片進行檢測,根據檢測結果將硅片區分為:檢測結果滿足預定標準的第一類硅片及檢測結果不滿足所述預定標準的第二類硅片;
利用所述第一輸送裝置將所述第一類硅片輸送至第一收片工位處以實施對所述第一類硅片的收片,所述第一收片工位位于所述第一輸送裝置的輸送路徑上;
將所述第二類硅片自所述第一輸送裝置轉運至位于所述第一輸送裝置邊側的第二輸送裝置上;
利用所述第二輸送裝置將所述第二類硅片輸送至第二收片工位處以實施對所述第二類硅片的收片,所述第二收片工位位于所述第二輸送裝置的輸送路徑上;
利用所述第一輸送裝置將所述第一類硅片輸送至第一收片工位處以實施對所述第一類硅片的收片,包括:
利用所述第一輸送裝置將所述第一類硅片輸送至位于所述第一收片工位處的料盒內;
在所述第一收片工位處的料盒收滿所述第一類硅片后,將所述第一收片工位處的滿料盒從所述第一收片工位處移出并將所述滿料盒輸送至位于所述第一收片工位第一側的收料工位處;
若所述收料工位處的滿料盒中的所述第一類硅片被取出后形成空料盒,將位于所述收料工位處的被取空的空料盒輸送至位于所述第一收片工位的第二側的回流工位處,將位于所述回流工位處的所述空料盒輸送至所述第一收片工位處;
若所述收料工位處的滿料盒中的所述第一類硅片未被取出,將位于所述收料工位處的滿料盒輸送至位于所述第一收片工位的第二側的回流工位處;所述回流工位處的滿料盒中的所述第一類硅片被取出后形成空料盒,將位于所述回流工位處的所述空料盒輸送至所述第一收片工位處;
所述第一收片工位設置為多個,所述將位于所述回流工位處的所述空料盒輸送至所述第一收片工位處包括:
檢測各所述第一收片工位處是否存在料盒;
當各所述第一收片工位處均存在料盒時,將位于所述回流工位處的所述空料盒輸送至空料盒緩存工位緩存;
否則,將位于所述回流工位處的所述空料盒輸送至任意一個不存在料盒的所述第一收片工位處,或者,從所述空料盒緩存工位處取出一個空料盒并將所述空料盒輸送至任意一個不存在料盒的所述第一收片工位處。
2.如權利要求1所述的硅片分類收片方法,其特征在于:所述將所述滿料盒輸送至位于所述第一收片工位第一側的收料工位處包括:
檢測所述收料工位處是否存在料盒;
當所述收料工位處存在料盒時,將所述第一收片工位處的滿料盒輸送至滿料盒緩存工位緩存;
否則,將所述第一收片工位處的滿料盒輸送至所述收料工位處,或者,從所述滿料盒緩存工位處取出一個滿料盒并將所述滿料盒輸送至所述收料工位處。
3.如權利要求1所述的硅片分類收片方法,其特征在于:
所述第一輸送裝置包括若干輸送單元,所述輸送單元包括第一輸送帶和第二輸送帶,所述第一輸送帶和第二輸送帶之間保留有間隙,所述第一收片工位位于所述間隙的下方,所述第一輸送帶被配置為能夠朝向所述第一收片工位向下翻轉;
所述第一輸送裝置將所述第一類硅片輸送至第一收片工位處以實施對所述第一類硅片的收片,包括:
第一輸送裝置將所述第一類硅片輸送至所述第一收片工位處;
控制對應于所述第一收片工位的所述輸送單元的所述第一輸送帶向下翻轉,使得承載于所述第一輸送帶上的所述第一類硅片自所述第一輸送帶滑落至位于所述第一收片工位處的料盒內。
4.如權利要求1所述的硅片分類收片方法,其特征在于:所述將滿料盒從所述第一收片工位處移出并將所述滿料盒輸送至位于所述第一收片工位第一側的收料工位處包括:
通過設置在所述第一收片工位處的第一換向機構將所述滿料盒換向至設置在收料輸送機構的輸送路徑上的第二換向機構上;
通過所述第二換向機構將所述滿料盒換向至所述收料輸送機構上;
通過所述收料輸送機構將所述滿料盒輸送至所述收料工位處。
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