[發(fā)明專(zhuān)利]獲得N型硅片厚度和測(cè)試壽命與體壽命間對(duì)應(yīng)關(guān)系的方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202110776284.3
• 申請(qǐng)日: 2021-07-08
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN113552462B
• 公開(kāi)（公告）日: 2023-03-14
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 方麗霞;張奇;田素霞;張倩;劉麗娟
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 麥斯克電子材料股份有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): G01R31/26
• 分類(lèi)號(hào): G01R31/26;G06F17/18
• 代理公司: 鄭州豫鼎知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 41178
• 代理人: 軒文君

1.獲得N型硅片厚度和測(cè)試壽命與體壽命間對(duì)應(yīng)關(guān)系的方法，其特征在于，包括以下步驟：

S1：在N型單晶硅棒的一端用內(nèi)圓切斷機(jī)連續(xù)取樣，切割成厚度不同的硅片，厚度在0.8-2.8mm不等，共20個(gè)試驗(yàn)片：

S2：將這20片硅片經(jīng)過(guò)堿腐蝕，純水清洗10分鐘，再混合酸腐蝕成鏡面，腐蝕厚度大于200μm，再純水沖洗10分鐘；

S3：將這20硅片從純水槽中拿出用氮?dú)獯蹈伤疂n，再測(cè)量厚度，用聚丙烯袋裝好；

S4：將這20片硅片用2.5～5%碘酒鈍化后分別測(cè)量相應(yīng)硅片的少子壽命；

S5：根據(jù)測(cè)試壽命及樣品厚度的測(cè)試數(shù)據(jù)，利用數(shù)學(xué)統(tǒng)計(jì)工具，回歸分析出厚度和測(cè)試壽命與體壽命的對(duì)應(yīng)關(guān)系；

所述步驟S5中樣品厚度、測(cè)試壽命與體壽命之間的對(duì)應(yīng)關(guān)系為：

d≥2.5mm時(shí)，

τ_bulk=τ_meas 公式（1）

當(dāng)d＜2.5mm時(shí)，

τ_bulk=τ_meas+Y，而Y通過(guò)d推算，其計(jì)算公式如下：

Y=51.96+522.6X 公式（2）

X=2.5-d

其中：Y表示補(bǔ)償壽命，d為樣品厚度，X表示樣品厚度與2.5mm的差值；

τ_bulk=τ_meas+51.96+522.6(2.5-d) 公式（3）

其中：τ_bulk表示體壽命，τ_meas表示測(cè)試壽命，d表示樣品厚度。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的獲得N型硅片厚度和測(cè)試壽命與體壽命間對(duì)應(yīng)關(guān)系的方法，其特征在于，所述步驟S1中的N型單晶硅棒電阻率＞1Ω.cm，長(zhǎng)200～300mm。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的獲得N型硅片厚度和測(cè)試壽命與體壽命間對(duì)應(yīng)關(guān)系的方法，其特征在于，所述步驟S4中不同硅片的測(cè)試壽命經(jīng)少子壽命測(cè)試儀測(cè)試得到。