[發明專利]一種金屬磁粉芯及其制備方法在審
| 申請號： | 202110774584.8 | 申請日： | 2021-07-08 |
| 公開（公告）號： | CN113611471A | 公開（公告）日： | 2021-11-05 |
| 發明（設計）人： | 王健;劉辛;徐佳;盧克超 | 申請（專利權）人： | 廣東省科學院新材料研究所 |
| 主分類號： | H01F1/147 | 分類號： | H01F1/147;H01F1/24;H01F41/02 |
| 代理公司： | 廣州三環專利商標代理有限公司 44202 | 代理人： | 顏希文 |
| 地址： | 510000 廣*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 金屬 磁粉芯 及其 制備 方法 | ||
1.一種金屬磁粉芯的制備方法，其特征在于，包括如下步驟：
S1：通過原子層沉積技術將軟磁粉末包覆氧化層后，得到包覆氧化層的軟磁粉末；
S2：將包覆氧化層的軟磁粉末進行高溫退火處理，得到退火后的金屬軟磁粉末；
S3：將退火后的金屬軟磁粉末與絕緣劑和有機溶劑混合，除去有機溶劑得到混合粉末；
S4：將混合粉末壓制成型，然后在真空或者惰性氣體中進行退火熱處理，得到金屬磁粉芯。
2.如權利要求1所述金屬磁粉芯的制備方法，其特征在于，所述S1中，包覆氧化層的軟磁粉末的氧化層厚度為10-100nm。
3.如權利要求1所述金屬磁粉芯的制備方法，其特征在于，所述氧化層的氧化物為Al2O3、SiO2、TiO2、ZnO、MgO中的一種。
4.如權利要求1所述金屬磁粉芯的制備方法，其特征在于，所述軟磁粉末為純鐵粉、鐵硅合金粉末、鐵硅鋁合金粉末、鐵鎳合金粉末、鐵鎳鉬合金粉末中的至少一種。
5.如權利要求1所述金屬磁粉芯的制備方法，其特征在于，所述S2中，高溫退火處理的溫度為1000-1200℃，升溫速率為5-10℃/min，保溫時間0.5h-5h，真空度為10-1-10-3MPa。
6.如權利要求1所述金屬磁粉芯的制備方法，其特征在于，所述S1中，原子層沉積技術的具體參數為：沉積溫度為70～130℃，前驅體H2O和TMA的分壓設置為0.1～0.5torr，以脈沖形式交替通入腔室，脈沖之間用高純氮氣吹掃殘余氣體，分壓設為15～25torr，循環數為100～1000個循環。
7.如權利要求1所述金屬磁粉芯的制備方法，其特征在于，所述S3中，絕緣劑為有機硅樹脂；有機溶劑為丙酮；絕緣劑與退火后的金屬軟磁粉末的質量比為0.005-0.04：1；有機溶劑與退火后的金屬軟磁粉末的體積比為3-10：1。
8.如權利要求1所述金屬磁粉芯的制備方法，其特征在于，所述S4中，退火熱處理的溫度為200-500℃，時間為1-3小時。
9.如權利要求1所述金屬磁粉芯的制備方法，其特征在于，所述S4中，壓制成型的壓力為1000-2000MPa，時間為5-15s。
10.采用權利要求1～9任一項所述金屬磁粉芯的制備方法制備的金屬磁粉芯。
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