[發明專利]一種氧化鎵日盲紫外探測器

在審

• 申請號: 202110771147.0
• 申請日: 2021-07-08
• 公開（公告）號: CN113659029A
• 公開（公告）日: 2021-11-16
• 發明（設計）人: 劉寧濤;張文瑞;葉繼春
• 申請（專利權）人: 中國科學院寧波材料技術與工程研究所
• 主分類號: H01L31/103
• 分類號: H01L31/103;H01L31/032;H01L31/0352
• 代理公司: 寧波甬致專利代理有限公司 33228
• 代理人: 胡天人

1.一種氧化鎵日盲紫外探測器，其特征在于，包括襯底層、氧化鎵層、鈍化層、鐵電層和電極層，所述氧化鎵層設置在所述襯底層的表面，所述鈍化層設置在所述氧化鎵層的表面，所述鐵電層設置在所述鈍化層的表面，所述鐵電層覆蓋部分所述鈍化層，所述電極層與所述氧化鎵層接觸。

2.根據權利要求1所述的氧化鎵日盲紫外探測器，其特征在于，所述鐵電層覆蓋于所述鈍化層的一個連續區域，所述電極層包括設置在所述鈍化層兩側的電極，所述鐵電層與一側所述電極接觸。

3.根據權利要求1所述的氧化鎵日盲紫外探測器，其特征在于，所述鐵電層覆蓋于所述鈍化層的一個連續區域，所述電極層包括設置在所述鈍化層兩側的電極，所述鐵電層與兩側所述電極均不接觸。

4.根據權利要求1所述的氧化鎵日盲紫外探測器，其特征在于，所述鐵電層覆蓋于所述鈍化層的多個非連續區域。

5.根據權利要求1-4任一所述的氧化鎵日盲紫外探測器，其特征在于，所述鐵電層覆蓋1/3-2/3的所述鈍化層。

6.根據權利要求1-4任一所述的氧化鎵日盲紫外探測器，其特征在于，所述鐵電層的材料選自Pb(Zr,Ti)O₃基鐵電材料、BaTiO₃基鐵電材料、BiFeO₃基鐵電材料、(Bi,Na)TiO₃基鐵電材料或聚偏氟乙烯基聚化物中的一種。

7.根據權利要求6所述的氧化鎵日盲紫外探測器，其特征在于，所述鐵電層的厚度介于20nm-300nm。

8.根據權利要求1-4任一所述的氧化鎵日盲紫外探測器，其特征在于，所述鈍化層的材料選自Si₃N₄、SiO₂、Al₂O₃、HfO₂中的一種。

9.根據權利要求8所述的氧化鎵日盲紫外探測器，其特征在于，所述鈍化層的厚度介于5nm-100nm。

10.根據權利要求1-4任一所述的氧化鎵日盲紫外探測器，其特征在于，所述氧化鎵層的材料選自非晶氧化鎵、多晶氧化鎵、單晶氧化鎵中的一種，所述襯底層的材料選自單晶Ga₂O₃、藍寶石Al₂O₃、GaN、AlN、石英、單晶硅中的一種，所述電極的材料選自Ti、Al、Ni、Au、Mo、Pt中的一種或多種。