[發明專利]一種用于高能微焦點X射線的水冷旋轉式輻射轉換靶

有效

• 申請號: 202110771076.4
• 申請日: 2021-07-07
• 公開（公告）號: CN113225886B
• 公開（公告）日: 2021-11-23
• 發明（設計）人: 劉宇;吳岱;肖德鑫;李鵬;單李軍;張鵬;王建新;周奎;周征;羅星;胡棟材;陳立均;和天慧;沈旭明;劉婕;鄧德榮;鄧仕鈺;閆隴剛;勞成龍;王漢斌;潘清;王遠;楊興繁;黎明;金曉;趙劍衡;陳門雪;柏偉;張德敏;陳亞男;宋志大;白燕;張成鑫;劉清華;張小麗;程云;石正軍;李敬;羅為;李雷;蒲曉媛;力濤;楊林德;崔玉柱
• 申請（專利權）人: 中國工程物理研究院應用電子學研究所
• 主分類號: H05G2/00
• 分類號: H05G2/00;H05K7/20
• 代理公司: 北京同輝知識產權代理事務所(普通合伙) 11357
• 代理人: 于晶晶

1.一種用于高能微焦點X射線的水冷旋轉式輻射轉換靶，其特征在于，包括沿靶面垂直方向水平移動的平移組件、設置于平移組件上的旋轉驅動組件、傳動連接于旋轉驅動組件輸出端的輻射轉換靶以及套接于輻射轉換靶外的真空腔室，所述輻射轉換靶上設置有用于給輻射轉換靶降溫的冷卻水路，所述旋轉驅動組件與真空腔室之間設置有用于密封冷卻水路的磁流體密封組件；

所述冷卻水路包括設置于輻射轉換靶靶盤上的靶盤進水口、靶盤出水口以及連通靶盤進水口和靶盤出水口的靶盤循環水路，所述靶盤進水口和靶盤出水口設置于輻射轉換靶靶盤中央，所述靶盤循環水路設置于輻射轉換靶靶盤外周；

所述靶盤進水口為設置于靶盤軸心的圓孔，靶盤出水口為設置于靶盤進水口外圍的弧形孔；

所述輻射轉換靶包括設置有冷卻水路的圓盤形無氧銅基底以及設置于無氧銅基底外周的鎢環。

2.根據權利要求1所述的一種用于高能微焦點X射線的水冷旋轉式輻射轉換靶，其特征在于，所述冷卻水路包括連通靶盤進水口的進水管路以及連通靶盤出水口的出水管路，所述進水管路和出水管路平行設置于磁流體密封組件內。

3.根據權利要求1所述的一種用于高能微焦點X射線的水冷旋轉式輻射轉換靶，其特征在于，所述磁流體密封組件包括中空的磁流體密封軸以及分別設置于磁流體密封軸兩端的磁流體密封軸法蘭和磁流體密封外法蘭，所述輻射轉換靶中央設置有轉接法蘭，所述磁流體密封軸法蘭與轉接法蘭密封連接，所述平移組件上設置有旋轉接頭，所述磁流體密封外法蘭與旋轉接頭密封連接。

4.根據權利要求3所述的一種用于高能微焦點X射線的水冷旋轉式輻射轉換靶，其特征在于，所述旋轉接頭包括接頭本體、設置于接頭本體上的接頭進水口和接頭出水口，所述接頭進水口上固定連接有水路內管，所述水路內管延伸連接至靶盤進水口處。

5.根據權利要求4所述的一種用于高能微焦點X射線的水冷旋轉式輻射轉換靶，其特征在于，所述水路內管與轉接法蘭連接處設置有用于動態密封水路的石墨環。

6.根據權利要求4所述的一種用于高能微焦點X射線的水冷旋轉式輻射轉換靶，其特征在于，所述水路內管內形成連通靶盤進水口的進水管路，所述水路內管與磁流體密封軸圍合形成連通靶盤出水口的出水管路。

7.根據權利要求1所述的一種用于高能微焦點X射線的水冷旋轉式輻射轉換靶，其特征在于，所述旋轉驅動組件包括驅動電機、固定于驅動電機輸出端的第一齒輪以及固定于磁流體密封組件外壁上的第二齒輪，第一齒輪與第二齒輪嚙合連接。

8.根據權利要求1所述的一種用于高能微焦點X射線的水冷旋轉式輻射轉換靶，其特征在于，所述磁流體密封組件與真空腔室通過波紋管密封連接。