[發明專利]一種探針卡及晶圓測試系統在審
| 申請號： | 202110769474.2 | 申請日： | 2021-07-07 |
| 公開（公告）號： | CN113484561A | 公開（公告）日： | 2021-10-08 |
| 發明（設計）人： | 梁建;羅雄科 | 申請（專利權）人： | 上海澤豐半導體科技有限公司 |
| 主分類號： | G01R1/067 | 分類號： | G01R1/067;G01R1/073;G01R31/28 |
| 代理公司： | 上海碩力知識產權代理事務所(普通合伙) 31251 | 代理人： | 楊用玲 |
| 地址： | 200233 上海市徐*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 探針 測試 系統 | ||
1.一種探針卡，其特征在于，包括：
PCB板；
陶瓷基板，設置在所述PCB板上；
探針頭，設置在所述陶瓷基板上，且所述探針頭包括導引板，所述導引板上設置有若干個均勻分布的探針；
其中，所述PCB板和所述陶瓷基板之間設置有插板，所述插板上設置有若干個貫穿所述插板的彈簧針，所述彈簧針的兩端分別與所述PCB板和所述陶瓷基板固定連接。
2.根據權利要求1所述的一種探針卡，其特征在于：所述探針的一端穿過所述導引板固定在所述陶瓷基板的焊盤上，另一端延伸至所述導引板的外側。
3.根據權利要求1所述的一種探針卡，其特征在于：所述陶瓷基板和所述探針頭之間設置有有機基板，所述有機基板通過回路焊接的方式與所述陶瓷基板固定連接。
4.根據權利要求3所述的一種探針卡，其特征在于：所述探針的一端穿過所述導引板固定在所述有機基板的焊盤上，另一端延伸至所述導引板的外側。
5.根據權利要求2或4所述的一種探針卡，其特征在于：所述探針的長度相等；和/或
所述探針延伸至所述導引板外側的長度相等。
6.根據權利要求1-4任一所述的一種探針卡，其特征在于：所述彈簧針包括固定段和伸縮段，所述固定段上設置有插孔，所述伸縮段的底端活動插設在所述插孔內。
7.根據權利要求6所述的一種探針卡，其特征在于：所述插孔內設置有第一彈簧，所述第一彈簧的兩端分別與所述伸縮段的底端、所述插孔的底端固定連接；或
所述伸縮段的頂端設置有環形塊，且所述伸縮段的外部套設有第二彈簧，所述第二彈簧的兩端分別與所述環形塊、所述固定段的頂端固定連接。
8.根據權利要求6所述的一種探針卡，其特征在于：所述固定段與所述PCB板連接，所述伸縮段與所述陶瓷基板連接；或
所述固定段與所述陶瓷基板連接，所述伸縮段與所述PCB板連接。
9.一種晶圓測試系統，其特征在于，包括：
探針卡，所述探針卡包括PCB板、陶瓷基板和探針頭；
測試晶圓；
其中，所述陶瓷基板設置在所述PCB板上，且所述PCB板和所述陶瓷基板之間設置有插板，所述插板上設置有若干個貫穿所述插板的彈簧針，所述彈簧針的兩端分別與所述PCB板和所述陶瓷基板固定連接；
所述探針頭設置在所述陶瓷基板上，且所述探針頭包括導引板，所述導引板上設置有若干個均勻分布的探針，所述探針與所述測試晶圓上的焊盤匹配。
10.根據權利要求9所述的一種晶圓測試系統，其特征在于：所述陶瓷基板和所述探針頭之間設置有有機基板，所述有機基板通過回路焊接的方式與所述陶瓷基板固定連接。
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