[發(fā)明專利]一種激光加工系統(tǒng)及方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202110769407.0
• 申請日: 2021-07-07
• 公開（公告）號: CN113369717A
• 公開（公告）日: 2021-09-10
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 錢代數(shù);曾超峰;劉志峰
• 申請（專利權(quán)）人: 廣東原點智能技術(shù)有限公司
• 主分類號: B23K26/38
• 分類號: B23K26/38;B23K26/064;B23K26/70
• 代理公司: 深圳市君勝知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 44268
• 代理人: 盧勁亮

1.一種激光加工系統(tǒng)，其特征在于，包括：

激光器(1)，所述激光器(1)用于產(chǎn)生激光束；

偏擺鏡(2)，所述偏擺鏡(2)設(shè)置于所述激光器(1)的光路下游，所述偏擺鏡(2)用于調(diào)整激光束的飛行角度；

楔形鏡組(3)，所述楔形鏡組(3)設(shè)置于所述偏擺鏡(2)的光路下游，所述楔形鏡組(3)用于使激光束進(jìn)行平移運動；

聚焦鏡(4)，所述聚焦鏡(4)設(shè)置于所述楔形鏡組(3)的光路下游，所述聚焦鏡(4)用于對激光束進(jìn)行聚焦。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光加工系統(tǒng)，其特征在于，所述激光器(1)和所述偏擺鏡(2)之間的光路還設(shè)有擴(kuò)束鏡(5)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光加工系統(tǒng)，其特征在于，所述偏擺鏡(2)包括調(diào)整構(gòu)件(22)、設(shè)置在所述調(diào)整構(gòu)件(22)上的反射鏡(21)，所述調(diào)整構(gòu)件(22)調(diào)整反射鏡(21)繞x軸和/或y軸傾斜的角度。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的激光加工系統(tǒng)，其特征在于，所述x軸和所述y軸相互垂直。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光加工系統(tǒng)，其特征在于，所述楔形鏡組(3)包括沿光路上游至下游設(shè)置的第一楔形鏡(31)和第二楔形鏡(32)，所述第一楔形鏡(31)和所述第二楔形鏡(32)互為中心對稱設(shè)置。

6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的激光加工系統(tǒng)，其特征在于，所述聚焦鏡(4)和所述楔形鏡組(3)之間還設(shè)有反光鏡(7)，從所述楔形鏡組(3)發(fā)射光線經(jīng)過反光鏡(7)反射到聚焦鏡(4)上。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述激光加工系統(tǒng)，其特征在于，所述反光鏡(7)可透光，所述反光鏡(7)的背光側(cè)設(shè)有檢測器(6)，所述檢測器(6)用于檢測透過所述反射鏡(21)的激光位置。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光加工系統(tǒng)，其特征在于，所述激光器(1)與所述偏擺鏡(2)之間的光路還設(shè)有PBS分光透鏡(8)和四分之一波片(9)，所述激光器(1)產(chǎn)生的激光依次地經(jīng)過所述PBS分光透鏡(8)、所述四分之一波片(9)、所述偏擺鏡(2)、所述四分之一波片(9)、所述PBS分光透鏡(8)、所述楔形鏡組(3)、所述聚焦鏡(4)。

9.根據(jù)權(quán)利要求5所述的激光加工系統(tǒng)，其特征在于，所述第一楔形鏡(31)和所述第二楔形鏡(32)兩者之間的距離可調(diào)。

10.一種應(yīng)用如權(quán)利要求1-9任一項所述激光加工系統(tǒng)的激光加工方法，其特征在于，包括如下步驟，確定激光旋切的半徑以及錐度；根據(jù)所述錐度調(diào)整楔形鏡組(3)使激光平移到合適的位置，根據(jù)所述半徑調(diào)整偏擺鏡(2)的出射角的角度；在保持偏擺鏡(2)的出射角大小的情況下，調(diào)整偏擺鏡(2)使得出射激光繞光軸旋轉(zhuǎn)，調(diào)整楔形鏡組(3)使得楔形鏡組(3)旋轉(zhuǎn)，且與偏擺鏡(2)上出射角的旋轉(zhuǎn)頻率相同；打開激光器(1)。