[發明專利]異質結電池及異質結電池制備方法

在審

• 申請號: 202110765905.8
• 申請日: 2021-07-06
• 公開（公告）號: CN113488550A
• 公開（公告）日: 2021-10-08
• 發明（設計）人: 徐曉華;周肅;姚真真;張良;龔道仁;王文靜;莊挺挺;楊龍;魏文文
• 申請（專利權）人: 安徽華晟新能源科技有限公司
• 主分類號: H01L31/0236
• 分類號: H01L31/0236;H01L31/0216;H01L31/0224;H01L31/0747;H01L31/20
• 代理公司: 北京三聚陽光知識產權代理有限公司 11250
• 代理人: 安志嬌

1.一種異質結電池的制備方法，其特征在于，包括如下步驟：

對N型襯底原片進行雙面制絨，得到雙絨N型襯底；

對所述雙絨N型襯底的其中一側進行腐蝕，得到一側為絨面、另一側為光面的待加工N型襯底；

采用所述待加工N型襯底制備異質結電池；

其中，所述待加工N型襯底的光面對300nm－1100nm波長范圍的平均反射率介于30－55％之間。

2.根據權利要求1所述的異質結電池的制備方法，其特征在于，對N型襯底原片進行雙面制絨，得到雙絨N型襯底的步驟中，包括：

將所述N型襯底原片放置在濃度為1％－8％的NaOH溶液或KOH溶液中腐蝕，進行雙面制絨，得到所述雙絨N型襯底，其中，反應溫度范圍為60℃－90℃，反應時間范圍為1min－20min；

其中，所述N型襯底原片為80μm－180μm的N型單晶硅片。

3.根據權利要求1所述的異質結電池的制備方法，其特征在于，對N型襯底原片進行雙面制絨，得到雙絨N型襯底的步驟之前，還包括：

將所述N型襯底原片放置在濃度為10％－30％的NaOH溶液或KOH溶液中進行腐蝕，去除所述N型襯底原片表面的損傷層，其中，反應溫度范圍為60℃－90℃，反應時間范圍為2min－20min。

4.根據權利要求1所述的異質結電池的制備方法，其特征在于，對所述雙絨N型襯底的其中一側進行腐蝕，得到一側為絨面、另一側為光面的待加工N型襯底的步驟中，包括：

在所述雙絨N型襯底的表面制備出氧化硅層；

采用酸性溶液清洗所述雙絨N型襯底的其中一側的氧化硅層；

采用堿性溶液對所述雙絨N型襯底去除所述氧化硅層的一側進行腐蝕；

采用酸性溶液清洗所述雙絨N型襯底的另一側的氧化硅層；

水洗所述雙絨N型襯底，得到一側為絨面、另一側為光面的待加工N型襯底。

5.根據權利要求4所述的異質結電池的制備方法，其特征在于，在所述雙絨N型襯底的表面制備出氧化硅層的步驟中，包括：

將所述雙絨N型襯底放在管式擴散爐里并通入氧氣，在兩側的絨面表面氧化出氧化硅層，其中，反應溫度范圍為700℃－1200℃，管式擴散爐里的壓強范圍為0.01MPa－2.5MPa，氧化時間為10min－120min，形成的所述氧化硅層的厚度范圍為20nm－1000nm。

6.根據權利要求4所述的異質結電池的制備方法，其特征在于，采用酸性溶液清洗所述雙絨N型襯底的另一側的氧化硅層的步驟中，包括：

在鏈式清洗設備中用濃度為0.8％－20％的HF溶液腐蝕掉所述雙絨N型襯底的其中一側的氧化硅層，其中，反應溫度范圍為20℃－25℃，反應時間范圍為1min－20min。

7.根據權利要求4所述的異質結電池的制備方法，其特征在于，采用堿性溶液對所述雙絨N型襯底的其中一側進行腐蝕的步驟中，包括：

將一側有氧化硅層的所述雙絨N型襯底放在濃度為3％－20％的NaOH溶液或KOH溶液里，溫度范圍為80℃－90℃，對所述雙絨N型襯底去除所述氧化硅層的一側進行腐蝕。

8.根據權利要求4所述的異質結電池的制備方法，其特征在于，采用酸性溶液清洗所述雙絨N型襯底的一側的氧化硅層的步驟中，包括：

采用濃度為0.8％－5％的HF溶液清洗掉所述雙絨N型襯底的一側的氧化硅層，溫度范圍為20℃－25℃，反應時間范圍為1min－20min。