[發明專利]一種垂直腔面發射激光器及光纖耦合系統

在審

• 申請號: 202110764140.6
• 申請日: 2021-07-06
• 公開（公告）號: CN113346352A
• 公開（公告）日: 2021-09-03
• 發明（設計）人: 張穗;王嘉星
• 申請（專利權）人: 深圳博升光電科技有限公司
• 主分類號: H01S5/183
• 分類號: H01S5/183;H01S5/40
• 代理公司: 北京志霖恒遠知識產權代理事務所(普通合伙) 11435
• 代理人: 郭棟梁

1.一種垂直腔面發射激光器，其特征在于，包括層疊設置的第一反射器層、氧化層、有源層，所述第一反射器層包括光柵區，所述光柵區包括第一光柵部以及圍繞所述第一光柵部設置的第二光柵部，所述氧化層上設置有未氧化區，所述未氧化區用于界定激光的出射窗，所述出射窗位于所述第一光柵部在所述氧化層上的正投影范圍內。

2.根據權利要求1所述的垂直腔面發射激光器，其特征在于，所述第一光柵部的相位差小于所述第二光柵部的相位差，和/或，所述第一光柵部的透射系數小于所述第二光柵部的透射系數，和/或，所述第一光柵部的折射率大于所述第二光柵部的折射率，和/或，所述第一光柵部的反射率大于所述第二光柵部的反射率。

3.根據權利要求1所述的垂直腔面發射激光器，其特征在于，所述光柵區為周期性或者非周期性陣列排布的多個柵體，所述柵體包括沿陣列方向排布的一個柱體和一個柵槽，所述周期性陣列排布的多個柵體中各所述柵體的寬度相等，且所述多個柵體中的各所述柱體的寬度不等或者各所述柵槽的寬度不等；所述非周期性陣列排布的多個柵體中各所述柵體的寬度不等。

4.根據權利要求1所述的垂直腔面發射激光器，其特征在于，所述第一光柵部包括一個中心柵槽及與所述中心柵槽兩側相鄰的中心柱體。

5.根據權利要求1所述的垂直腔面發射激光器，其特征在于，所述第一光柵部包括周期性陣列排布的多個第一柵體，所述第二光柵部包括周期性陣列排布的多個第二柵體，所述第一柵體包括第一柵槽和第一柵條，所述第二柵體包括第二柵槽和第二柵條，所述第一光柵部內所述第一柵槽的密度小于所述第二光柵部內所述第二柵槽的密度。

6.根據權利要求5所述的垂直腔面發射激光器，其特征在于，所述第一柵體的寬度大于所述第二柵體的寬度，所述第一柵槽的寬度小于所述第二柵槽的寬度，所述第一柵條的寬度大于所述第二柵條的寬度。

7.根據權利要求5所述的垂直腔面發射激光器，其特征在于，所述第一柵槽的寬度小于所述第一柵條的寬度；所述第二柵槽的寬度小于所述第二柵條的寬度。

8.根據權利要求1所述的垂直腔面發射激光器，其特征在于，還包括設置在所述有源層背離所述氧化層一側的第二反射器層，所述第一反射器層在背離所述有源層的一側設置有第一電極，所述第二反射器層在背離所述有源層的一側設置有第二電極。

9.一種光纖耦合系統，其特征在于，包括如權利要求1-8任一所述的垂直腔面發射激光器。

10.根據權利要求9所述的光纖耦合系統，其特征在于，還包括全反射棱鏡，所述全反射棱鏡被配置為接收出射窗射出的激光光束，并將激光光束全反射至光纖上，所述出射窗射出的激光光束與所述光纖的方向垂直。