[發(fā)明專(zhuān)利]銅基石墨烯包覆結(jié)構(gòu)及其制備方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202110763037.X
• 申請(qǐng)日: 2021-07-06
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN113412047B
• 公開(kāi)（公告）日: 2022-02-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 時(shí)凱;蘇俊宏;梁海鋒;徐均琪;吳慎將;李建超;汪桂霞
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 西安工業(yè)大學(xué)
• 主分類(lèi)號(hào): H05K9/00
• 分類(lèi)號(hào): H05K9/00;C01B32/186
• 代理公司: 西安新思維專(zhuān)利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 61114
• 代理人: 李鳳鳴

1.銅基石墨烯包覆結(jié)構(gòu)的制備方法，其特征在于，包括如下步驟：

步驟一、將銅基片置于勻膠機(jī)中，將正膠均勻的覆蓋于銅基片表面，以75℃—90℃對(duì)覆蓋正膠的銅基片進(jìn)行烘烤；

步驟二、將菲林板覆蓋于正膠上，開(kāi)啟氣吸開(kāi)關(guān)，使菲林板與正膠貼緊；打開(kāi)紫外曝光燈，對(duì)正膠進(jìn)行曝光；

步驟三、將曝光后的銅基片置于顯影液中完成顯影，之后使用去離子水對(duì)銅基片進(jìn)行多次超聲清洗；

步驟四、在顯影后的銅基片表面涂抹腐蝕溶液，使其對(duì)顯影后的銅進(jìn)行腐蝕，將沒(méi)有覆蓋光刻膠的銅刻蝕掉形成與菲林板相同的銅基結(jié)構(gòu)，之后使用去離子水對(duì)銅基結(jié)構(gòu)進(jìn)行多次超聲清洗；

步驟五、將銅基結(jié)構(gòu)置于高溫爐中，密閉后抽真空，當(dāng)氣壓低于0帕后，向真空室通入氬氣，當(dāng)流量穩(wěn)定后，開(kāi)始退火處理；

步驟六、將退火處理后的銅基結(jié)構(gòu)置于化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)中，以甲烷作為碳源，氫氣作為還原劑，在銅基結(jié)構(gòu)表面立體生長(zhǎng)石墨烯；控制分解速率和成核密度，將石墨烯立體包覆于銅基結(jié)構(gòu)表面，完成雙面疊加銅基石墨烯包覆結(jié)構(gòu)的制備；

所述步驟一中，烘烤時(shí)間持續(xù)15—20分鐘：

所述步驟二中，曝光時(shí)電流為200毫安，時(shí)間為25秒；

所述步驟五中，通入氬氣控制氣體流量為20sccm；

所述步驟五中，退火處理時(shí)保持700℃持續(xù)30分鐘；

所述步驟六中，控制分解速率和成核密度，具體為：以甲烷流量為55sccm，氫氣流量為15sccm，以1020℃持續(xù)生長(zhǎng)30分鐘；快速降溫后將銅基結(jié)構(gòu)翻面，以甲烷流量為55sccm，氫氣流量為15sccm，以1020℃持續(xù)生長(zhǎng)10分鐘。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述銅基石墨烯包覆結(jié)構(gòu)的制備方法，其特征在于，所述步驟一中，所述銅基片的大小為20*20—50*50毫米。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述銅基石墨烯包覆結(jié)構(gòu)的制備方法，其特征在于，所述步驟一中，所述勻膠機(jī)的轉(zhuǎn)速為2200—3000轉(zhuǎn)每分鐘，正膠旋涂時(shí)間為25—40秒。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述銅基石墨烯包覆結(jié)構(gòu)的制備方法，其特征在于，所述步驟四中，所述的腐蝕溶液為氯化銨溶液或者鹽酸溶液。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述制備方法制得的雙面疊加銅基石墨烯包覆結(jié)構(gòu)。