[發明專利]一種便于定位的濺鍍機用定位裝置及定位方法

在審

• 申請號: 202110761949.3
• 申請日: 2021-07-06
• 公開（公告）號: CN113564542A
• 公開（公告）日: 2021-10-29
• 發明（設計）人: 姜建峰;王光華
• 申請（專利權）人: 赫得納米科技（昆山）有限公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34;C23C14/50
• 代理公司: 宿遷市永泰睿博知識產權代理事務所(普通合伙) 32264
• 代理人: 劉慧

本發明公開了一種便于定位的濺鍍機用定位裝置及定位方法，包括所述主體的上方設有蓋板，所述蓋板上等角度設有連通所述空腔的進料口、濺鍍口和出料口，所述空腔的中間位置處設有驅動機構，所述驅動機構通過橫桿連接有多個安裝盤，所述安裝盤上設有用于安裝光盤的安裝槽，所述安裝槽的中心位置處設有用于固定光盤的定位軸芯，所述蓋板上設有連接環，所述連接環連接有陰極，所述定位夾具的中間設有與所述定位軸芯同軸同徑的定位孔，所述定位夾具與所述連接環連接，移動所述定位夾具與所述連接環，使所述定位孔套于所述定位軸芯上，將所述連接環固定到所述蓋板上，實現所述陰極與待濺鍍光盤的快速定位，從而提高工作效率。

技術領域

本發明涉及濺鍍技術領域，具體的是一種便于定位的濺鍍機用定位裝置及定位方法。

背景技術

光盤在濺鍍過程中，光盤與陰極之間的位置關系非常重要，若光盤與陰極之間的位置關系不合適將會導致光盤的濺鍍層出現問題，例如使濺鍍層偏心，光盤表面上被濺鍍出來的環形區域與圓形的光盤不同心，將會直接影響光盤生產線的成品率。

現有的光盤濺鍍調節方式是將陰極、連接環和主體安裝完畢后進行濺鍍，如發現光盤偏心，再去調整，此方式會消耗較多的時間降低生產效率，且，此方式比較依賴操作員的技術水平，容易出現較大位置偏差，因此，本申請實施例提出一種便于定位的濺鍍機用定位裝置。

發明內容

為了克服現有技術中的缺陷，本發明實施例提供了一種便于定位的濺鍍機用定位裝置，以解決上述背景技術中提出的問題。

本申請實施例公開了：一種便于定位的濺鍍機用定位裝置，包括主體、蓋板、安裝盤、陰極、連接環、驅動機構和定位夾具，所述主體設有空腔，所述主體的上方設有蓋板，所述蓋板上等角度設有連通所述空腔的進料口、濺鍍口和出料口，所述空腔的中間位置處設有驅動機構，所述驅動機構通過橫桿連接有多個安裝盤，所述安裝盤上設有用于安裝光盤的安裝槽，所述安裝槽的中心位置處設有用于固定光盤的定位軸芯，所述蓋板上設有連接環，所述連接環收容于所述濺鍍口內，所述連接環上設有安裝孔，所述蓋板上設有與所述安裝孔匹配的螺孔，所述連接環通過螺釘固定在所述安裝板上，所述連接環連接有陰極，所述定位夾具的中間設有與所述定位軸芯同軸同徑的定位孔，所述定位夾具與所述連接環連接，移動所述定位夾具與所述連接環，使所述定位孔套于所述定位軸芯上，將所述連接環固定到所述蓋板上，實現所述陰極與待濺鍍光盤定位。

優選的，所述定位夾具包括圓盤，所述圓盤的中間設有向下的筒狀延伸部，所述延伸部伸進所述連接環內，所述定位孔設有所述延伸部底面的中間，所述延伸部的外側設有位于同一圓周的多個滑槽，所述滑槽內連接有定位塊，所述定位塊遠離所述連接環的一端與所述滑槽的內壁之間連接有彈簧，所述定位塊的另一端連接有滾珠，所述連接環的內壁設有環形槽，所述滾珠部分滾動連接在所述環形槽內。

優選的，所述安裝槽的直徑大于光盤的直徑，所述定位軸芯的直徑小于光盤中心孔的直徑，所述定位軸芯與所述安裝盤設有連通的內腔，所述定位軸芯的周面上等角度分布有三個凹槽，所述凹槽內連接有與之匹配的滑塊，所述滑塊連接有導桿，所述導桿貫穿到所述定位軸芯內，所述安裝盤內固定有第一伺服電機，所述第一伺服電機的輸出軸伸進所述定位軸芯內，所述輸出軸上等角度分布有三個撥片，所述撥片位于與所述輸出軸相切的的直線上，所述導桿靠近所述輸出軸的一端抵在所述撥片靠近所述輸出軸的一端上，所述導桿連接有滾動軸承，所述導桿伸進所述內腔內的部分連接有彈簧，所述彈簧的兩端分別固定在所述定位軸芯的內壁與所述導桿的周面上，所述彈簧始終處于壓縮狀態。

優選的，所述驅動機構包括設于所述主體下方的第二伺服電機，所述主體的底面設有通孔，所述第二伺服電機的轉軸由所述通孔伸進所述主體內，所述安裝盤通過橫桿固定在所述轉軸上。

優選的，所述安裝盤的上端面設有密封圈，所述密封圈位于所述安裝盤與所述連接環之間。

優選的，所述進料口與所述出料口處均設有機械手，所述機械手連接有真空吸盤。