[發(fā)明專(zhuān)利]一種基于馬蘭戈尼效應(yīng)的晶圓豎直旋轉(zhuǎn)處理裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202110761386.8
• 申請(qǐng)日: 2021-07-06
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN113471108B
• 公開(kāi)（公告）日: 2022-10-21
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 曹自立;李燈;劉健;李長(zhǎng)坤;趙德文
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 華海清科股份有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): H01L21/67
• 分類(lèi)號(hào): H01L21/67;H01L21/02;B08B3/02
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

1.一種基于馬蘭戈尼效應(yīng)的晶圓豎直旋轉(zhuǎn)處理裝置，其特征在于，包括：用于豎直旋轉(zhuǎn)晶圓的夾持機(jī)構(gòu)和用于輸送流體的供給臂；所述供給臂可豎直地?cái)[動(dòng)并經(jīng)由設(shè)置于其自由端處的噴射機(jī)構(gòu)將流體供應(yīng)至晶圓上；

所述噴射機(jī)構(gòu)包括第一噴射組件、第二噴射組件和具有多個(gè)噴淋孔的噴淋桿，所述第一噴射組件位于第二噴射組件和噴淋桿的上方；所述第一噴射組件包括第一擺臂以及設(shè)置在第一擺臂上的噴氣嘴；所述第二噴射組件包括第二擺臂以及設(shè)置在第二擺臂上的噴液嘴；其中，所述噴淋桿、第一擺臂、和第二擺臂沿所述供給臂延長(zhǎng)，并且可旋轉(zhuǎn)地固定配置于所述供給臂的自由端；當(dāng)供給臂處于非豎直狀態(tài)時(shí)噴液嘴配置于噴氣嘴的下方，噴淋桿平行于第一擺臂和第二擺臂；

所述噴淋桿上的噴淋孔的液體噴射方向與晶圓轉(zhuǎn)動(dòng)方向相逆；所述噴淋桿上的噴淋孔的液體噴射方向與垂直晶圓方向之間的夾角在0~60°之間；

所述噴淋桿上的噴淋孔的孔徑為0.15～1mm，孔間矩為1～20mm，噴淋桿的桿內(nèi)徑為2～10mm，桿外徑為6～20mm；

在晶圓清洗過(guò)程中，噴射機(jī)構(gòu)擺動(dòng)至噴液嘴的噴射落點(diǎn)正對(duì)晶圓圓心的清洗位置并保持固定，晶圓保持一定轉(zhuǎn)速旋轉(zhuǎn)，噴氣嘴保持不噴射，噴液嘴保持噴射漂洗液，同時(shí)，噴淋桿上的噴淋孔也保持朝晶圓表面噴射漂洗液，其中，晶圓轉(zhuǎn)速保持在200～500rpm之間；

在晶圓干燥過(guò)程中，噴射機(jī)構(gòu)從清洗位置擺動(dòng)至初始位置，晶圓旋轉(zhuǎn)，在噴射機(jī)構(gòu)擺動(dòng)的過(guò)程中噴氣嘴保持噴射干燥氣體，噴液嘴保持噴射漂洗液，噴淋桿保持不噴射。

2.如權(quán)利要求1所述的晶圓豎直旋轉(zhuǎn)處理裝置，其特征在于，在晶圓清洗過(guò)程中，噴淋桿工作以對(duì)晶圓表面進(jìn)行沖洗；在晶圓干燥過(guò)程中，噴淋桿不工作，第一噴射組件和第二噴射組件配合工作以進(jìn)行馬蘭戈尼干燥。

3.如權(quán)利要求1所述的晶圓豎直旋轉(zhuǎn)處理裝置，其特征在于，所述噴淋桿上的噴淋孔的液體噴射方向?yàn)榇怪焙?或傾斜朝向晶圓表面噴射。

4.如權(quán)利要求1所述的晶圓豎直旋轉(zhuǎn)處理裝置，其特征在于，所述噴液嘴設(shè)置成在隨供給臂和第二擺臂運(yùn)動(dòng)過(guò)程中可以掠過(guò)晶圓的圓心。

5.如權(quán)利要求1所述的晶圓豎直旋轉(zhuǎn)處理裝置，其特征在于，所述噴射機(jī)構(gòu)還包括與所述噴氣嘴連通的第一管路、與所述噴液嘴連通的第二管路、以及與所述噴淋桿連通的第三管路。

6.如權(quán)利要求5所述的晶圓豎直旋轉(zhuǎn)處理裝置，其特征在于，所述第一管路和噴氣嘴用于輸送并噴射含表面活性物質(zhì)的干燥氣體。

7.如權(quán)利要求5所述的晶圓豎直旋轉(zhuǎn)處理裝置，其特征在于，所述第二管路、噴液嘴、第三管路和噴淋桿用于輸送并噴射漂洗液。