[發明專利]一種光斑校正方法、系統、集成電路檢測設備和存儲介質

在審

• 申請號: 202110760279.3
• 申請日: 2021-07-06
• 公開（公告）號: CN113379645A
• 公開（公告）日: 2021-09-10
• 發明（設計）人: 陳魯;方一;辛自強;黃有為;張嵩
• 申請（專利權）人: 深圳中科飛測科技股份有限公司
• 主分類號: G06T5/00
• 分類號: G06T5/00;G06T7/00
• 代理公司: 深圳鼎合誠知識產權代理有限公司 44281
• 代理人: 劉兆;郭燕

本發明提供的光斑校正方法、系統、集成電路檢測設備和存儲介質，通過獲取檢測光束通過光學元件后的光斑圖像；根據光斑圖像獲取光斑形變的量化指標，光斑形變包括旋轉、均勻性、平移和離焦中的至少一個；根據量化指標，調節光學元件的空間自由度，直至量化指標在預設閾值范圍內?？梢姴桓l明實現了光斑形變成因的量化，并根據量化指標對光學元件進行空間自由度的調節，從而對光斑進行調節。基于此，本發明可以對光斑形變進行自動化調節，形成自動反饋，從而保證檢測設備的光斑穩定性。

技術領域

本發明涉及光學檢測技術領域，具體涉及一種光斑校正方法、系統、集成電路檢測設備和存儲介質。

背景技術

在集成電路制造中，需要通過光學檢測，對晶圓或晶圓上的器件進行檢測。光學檢測設備中的照明模塊通常根據檢測需要結合整機架構進行開發。常用的光源為激光，需要通過光學器件進行整形或傳播后形成光斑。

光斑在使用過程中，經常會出現光斑位置偏移，光斑旋轉，光斑均勻性或光斑離焦等問題，從而導致檢測裝置的光斑異?；蚬獍咝巫儯⒊霈F檢測結果準確性低的問題。

當出現上述光斑異?；蚬獍咝巫兊那闆r時，多采用人工重新調節與校正的方式對檢測設備進行光斑調節，自動化程度較低。

發明內容

本發明主要解決的技術問題是現有檢測設備的光斑校正自動化程度低。

根據第一方面，一種實施例中提供一種光斑校正方法，包括：

獲取檢測光束通過光學元件后的光斑圖像；

根據光斑圖像獲取光斑形變的量化指標，光斑形變包括旋轉、均勻性、平移和離焦中的至少一個；

根據量化指標，調節光學元件的空間自由度，直至量化指標在預設閾值范圍內。

根據第二方面，一種實施例中提供一種光斑校正系統，包括：

光學元件，檢測光束通過光學元件后形成光斑圖像；

光強獲取模塊，用于獲取光斑圖像上多列檢測點的光強表征量，其中，同一列的各個檢測點沿光斑的寬度方向排布，各列檢測點沿光斑的長度方向排布；

調節模塊，用于調節光學元件的空間自由度；

以及處理模塊，用于根據光斑圖像獲取光斑形變的量化指標，光斑形變包括旋轉、均勻性、平移和離焦中的至少一個；

處理模塊還用于根據量化指標控制調節模塊調節光學元件的空間自由度，直至量化指標在預設閾值范圍內。

根據第三方面，一種實施例中提供一種集成電路檢測設備，包括：

光源，用于產生檢測光束；

如上所述的光斑校正系統。

根據第四方面，一種實施例中提供一種計算機可讀存儲介質，介質上存儲有程序，程序能夠被處理器執行以實現如上所述的方法。

依據上述實施例的光斑校正方法、系統、集成電路檢測設備和存儲介質，通過獲取檢測光束通過光學元件后的光斑圖像；根據光斑圖像獲取光斑形變的量化指標，光斑形變包括旋轉、均勻性、平移和離焦中的至少一個；根據量化指標，調節光學元件的空間自由度，直至量化指標在預設閾值范圍內。可見不跟發明實現了光斑形變成因的量化，并根據量化指標對光學元件進行空間自由度的調節，從而對光斑進行調節。基于此，本發明可以對光斑形變進行自動化調節，形成自動反饋，從而保證檢測設備的光斑穩定性。

附圖說明

圖1為本發明提供的光斑校正系統一實施例的結構框圖；

圖2為本發明提供的光斑校正系統中，一實施例的一種光斑圖像；