[發明專利]一種面向TSV的可偏心式旋涂一體化裝置

在審

• 申請號: 202110760044.4
• 申請日: 2021-07-06
• 公開（公告）號: CN113560122A
• 公開（公告）日: 2021-10-29
• 發明（設計）人: 丁英濤;任安潤;陳志銘;蘇育文
• 申請（專利權）人: 北京理工大學
• 主分類號: B05C5/00
• 分類號: B05C5/00;B05C13/02;B05C9/14;B05C15/00;B05C21/00;B05C11/10;H01L21/768
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1.一種面向TSV的可偏心式旋涂一體化裝置，其特征在于，包括真空密封箱(1)以及設置于所述真空密封箱(1)內的可調節式滴膠管(9)、防護裝置(10)、偏心式旋涂裝置、傳送裝置(14)和加熱裝置；

所述真空密封箱(1)內部為腔室，頂部設置有開口、真空壓力表(6)以及用于關閉所述開口的腔室蓋子(7)，并在所述腔室的中部設置有夾層(17)；

所述偏心式旋涂裝置包括可偏心式轉臺(13)和至少一個可插拔式托盤(11)；所述可偏心式轉臺(13)能夠繞豎直軸線旋轉地支撐于所述真空密封箱(1)的底部；所述可插拔式托盤(11)卡接于所述可偏心式轉臺(13)的頂部，并且能夠相對所述可偏心式轉臺(13)偏心設置；

所述可調節式滴膠管(9)位于所述可偏心式轉臺(13)的頂部，用于向所述可插拔式托盤(11)頂部的樣品(19)滴膠；

所述防護裝置(10)置于夾層(17)頂部，并遮擋在所述可偏心式轉臺(13)的周圍；

所述傳送裝置(14)位于所述夾層(17)內，用于在所述可插拔式托盤(11)和所述加熱裝置之間搬運所述樣品(19)；

所述加熱裝置與所述傳送裝置(14)一一對應，并位于所述傳送裝置(14)的底部，用于對所述樣品(19)進行加熱。

2.如權利要求1所述的可偏心式旋涂一體化裝置，其特征在于，所述可偏心式轉臺(13)的頂部設置有多個梳齒結構(12)；

所述可插拔式托盤(11)的底部設置有能夠與所述梳齒結構(12)插接配合地梳齒(11-3)，通過將所述梳齒(11-3)插接在不同的所述梳齒結構(12)處能夠獲得不同的偏心位置。

3.如權利要求2所述的可偏心式旋涂一體化裝置，其特征在于，所述可偏心式轉臺(13)的底部通過可伸縮調節轉軸(18)支承于所述真空密封箱(1)。

4.如權利要求3所述的可偏心式旋涂一體化裝置，其特征在于，所述可伸縮調節轉軸(18)中具有導氣通道；

所述可偏心式轉臺(13)設置有與所述導氣通道連通的多個通氣孔(12-1)以及用于堵塞多個所述通氣孔的密封塞；

所述可插拔式托盤(11)的中心位置設置有貫穿其厚度的導氣孔(11-1)，所述可插拔式托盤(11)的頂面設置有與所述導氣孔(11-1)連通的導氣槽(11-2)，所述導氣槽(11-2)用于吸附所述樣品(19)；

當所述可插拔式托盤(11)卡接于所述可偏心式轉臺(13)的頂部時，所述導氣孔(11-1)與其中一個所述通氣孔(12-1)連通。

5.如權利要求1-4任一項所述的可偏心式旋涂一體化裝置，其特征在于，所述傳送裝置(14)能夠沿所述真空密封箱(1)的側壁升降、且沿水平方向可伸縮的傳送臂。

6.如權利要求1-4任一項所述的可偏心式旋涂一體化裝置，其特征在于，所述加熱裝置為加熱臺(16)，所述加熱臺設置有能夠伸出其頂面的多個可伸縮支撐柱(15)。

7.如權利要求1-4任一項所述的可偏心式旋涂一體化裝置，其特征在于，所述真空密封箱(1)的頂部設置有用于連通所述腔室和真空泵的真空連接管(4)；

在所述真空密封箱(1)外側的所述真空連接管(4)中安裝有真空控制閥(5)。

8.如權利要求1-4任一項所述的可偏心式旋涂一體化裝置，其特征在于，所述真空密封箱(1)的側壁設置有用于連通所述腔室和氮氣源的進氣管(2)；

在所述真空密封箱(1)外側的所述進氣管(2)中安裝有進氣控制閥(3)。

9.如權利要求1-4任一項所述的可偏心式旋涂一體化裝置，其特征在于，所述可調節式滴膠管(9)的一端伸出所述真空密封箱(1)，并在所述可調節式滴膠管(9)伸出端安裝有滴膠管控制閥(8)。

10.如權利要求1-4任一項所述的可偏心式旋涂一體化裝置，其特征在于，所述防護裝置(10)為置于所述夾層(17)頂部的環形隔離板；

所述環形隔離板的軸心線沿豎直方向延伸，并在內部形成所述偏心式旋涂裝置的旋涂空間。