[發(fā)明專利]幾何公差測量設(shè)備及其測量方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202110759864.1
• 申請日: 2021-07-05
• 公開（公告）號: CN113513986B
• 公開（公告）日: 2022-02-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 梁平;陳偉琪;黃耀坤;張勇;黃振宇;徐全坤;張玉珍;魯力維;張嘉淇;吳家輝;盧粲
• 申請（專利權(quán)）人: 廣東省計(jì)量科學(xué)研究院（華南國家計(jì)量測試中心）
• 主分類號: G01B11/00
• 分類號: G01B11/00
• 代理公司: 北京商專潤文專利代理事務(wù)所(普通合伙) 11317
• 代理人: 黎正浩;熊雯

1.幾何公差測量設(shè)備，包括基座(1)及設(shè)于基座(1)上的導(dǎo)軌(2)，其特征在于，還包括以下部件：

移動(dòng)平臺(tái)(3)、固定平臺(tái)(4)，所述移動(dòng)平臺(tái)(3)、固定平臺(tái)(4)設(shè)于導(dǎo)軌(2)上并沿所述基座(1)的中軸方向分布，所述移動(dòng)平臺(tái)(3)能夠相對于固定平臺(tái)(4)沿基座(1)中軸方向在導(dǎo)軌(2)上進(jìn)行移動(dòng)；

旋轉(zhuǎn)臺(tái)(5)，所述旋轉(zhuǎn)臺(tái)(5)為水平及垂直兩轉(zhuǎn)軸的標(biāo)準(zhǔn)轉(zhuǎn)臺(tái)，設(shè)于固定平臺(tái)(4)上且位于基座(1)的中軸上，所述旋轉(zhuǎn)臺(tái)(5)上可放置被測儀器；

接收傳感器(6)，所述接收傳感器(6)設(shè)于移動(dòng)平臺(tái)(3)上且位于基座(1)的中軸上，用于與被測儀器配合傳感；

第一激光干涉儀(7)、第二激光干涉儀(8)，所述第一激光干涉儀(7)、第二激光干涉儀(8)均設(shè)于固定平臺(tái)(4)上，所述第一激光干涉儀(7)、第二激光干涉儀(8)沿中軸對稱分布；

第一反射鏡(9)、第二反射鏡(10)，所述第一反射鏡(9)、第二反射鏡(10)均設(shè)于移動(dòng)平臺(tái)(3)上，所述第一反射鏡(9)、第二反射鏡(10)沿中軸對稱分布；

所述第一反射鏡(9)與所述第一激光干涉儀(7)的連線、所述第二反射鏡(10)與所述第二激光干涉儀(8)的連線均與所述中軸平行。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的幾何公差測量設(shè)備，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)臺(tái)(5)位于第一激光干涉儀(7)、第二激光干涉儀(8)之間的連線上。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的幾何公差測量設(shè)備，其特征在于，所述被測儀器、所述接收傳感器(6)、第一激光干涉儀(7)、第二激光干涉儀(8)、第一反射鏡(9)以及第二反射鏡(10)均位于同一平面內(nèi)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的幾何公差測量設(shè)備，其特征在于，所述第一激光干涉儀(7)、第一反射鏡(9)之間配合，用于構(gòu)建垂直方向的標(biāo)準(zhǔn)直線。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的幾何公差測量設(shè)備，其特征在于，所述第二激光干涉儀(8)、第二反射鏡(10)之間配合，用于構(gòu)建水平方向的標(biāo)準(zhǔn)直線。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的幾何公差測量設(shè)備，其特征在于，所述導(dǎo)軌(2)沿基座(1)的中軸延伸，所述固定平臺(tái)(4)設(shè)于導(dǎo)軌(2)的一端，所述移動(dòng)平臺(tái)(3)可活動(dòng)地設(shè)于導(dǎo)軌(2)上，所述移動(dòng)平臺(tái)(3)沿導(dǎo)軌(2)遠(yuǎn)離或靠近固定平臺(tái)(4)。