[發明專利]一種基板檢測系統及檢測方法

在審

• 申請號: 202110758541.0
• 申請日: 2021-07-05
• 公開（公告）號: CN113522796A
• 公開（公告）日: 2021-10-22
• 發明（設計）人: 羅時帥;錢根;柳洪哲;朱文兵;錢曙光;汪爐生;陶磊;蔣朝偉;趙讀偉;金元元
• 申請（專利權）人: 榮旗工業科技（蘇州）股份有限公司
• 主分類號: B07C5/344
• 分類號: B07C5/344;B07C5/34;B07C5/02;B07C5/36;B07C5/38
• 代理公司: 南京中高專利代理有限公司 32333
• 代理人: 劉相宇

1.一種基板檢測系統，其特征在于：包括：

檢測機構(500)，用于檢測基板(600)；

轉盤機構(400)，包括轉盤(41)和定位所述基板(600)的定位工裝(42)，所述定位工裝(42)數量有多個且沿著所述轉盤(41)的周向分布在所述轉盤(41)上，所述轉盤(41)被配置成將所述定位工裝(42)轉至或轉離所述檢測機構(500)；

輸送機構(100)，被配置成將待檢測的所述基板(600)輸向所述轉盤機構(400)以及接收檢測后合格的所述基板(600)，并將其輸離所述轉盤機構(400)；以及

搬運機構(200)，包括將所述基板(600)自所述輸送機構(100)移至所述轉盤機構(400)上的上料搬運機構(201)、將所述基板(600)自所述轉盤機構(400)移至所述輸送機構(100)的下料搬運機構(202)、以及位于所述上料搬運機構(201)和所述下料搬運機構(202)之間的復測切換機構(206)，所述復測切換機構(206)可帶動所述基板(600)在所述上料搬運機構(201)和所述下料搬運機構(202)間往返。

2.如權利要求1所述的基板檢測系統，其特征在于：所述輸送機構(100)包括存放所述基板(600)的料盤(101)以及依次并排排布的上料機構(102)、取料機構(103)、緩存機構(104)、放料機構(105)和下料機構(106)；

其中，所述上料機構(102)用于堆疊所述料盤(101)，并將所述料盤(101)輸送至所述取料機構(103)，所述取料機構(103)用于接收所述料盤(101)并供所述搬運機構(200)取出所述基板(600)，所述緩存機構(104)用于接收所述取料機構(103)輸入的空置的所述料盤(101)，所述放料機構(105)用于接收空置的所述料盤(101)并供所述搬運機構(200)放入所述基板(600)，所述下料機構(106)用于接收并堆疊裝滿檢測后所述基板(600)的所述料盤(101)。

3.如權利要求1所述的基板檢測系統，其特征在于：所述基板檢測系統還包括用于接收檢測后不合格的所述基板(600)的次品收集機構(300)。

4.如權利要求1所述的基板檢測系統，其特征在于：所述上料搬運機構(201)和所述下料搬運機構(202)結構相同，所述上料搬運機構(201)包括機械手(203)、取放所述基板(600)的吸嘴組件(204)、安裝在所述機械手(203)和所述吸嘴組件(204)之間的緩沖組件(205)，所述緩沖組件(205)被配置成在所述吸嘴組件(204)與所述基板(600)接觸時，提供用于緩沖的反作用力。

5.如權利要求1所述的基板檢測系統，其特征在于：所述搬運機構(200)還包括第二相機組件(207)，所述上料搬運機構(201)和所述下料搬運機構(202)通過所述第二相機組件(207)進行定位。

6.如權利要求3所述的基板檢測系統，其特征在于：所述次品收集機構(300)包括第三安裝架(31)、滑動配接在所述第三安裝架(31)上的抽拉板(32)以及固定在所述抽拉板(32)上容置所述基板(600)的次品容置板(33)，所述抽拉板(32)上安裝有把手(34)，以將所述抽拉板(32)向著所述基板檢測系統外抽拉。

7.如權利要求1所述的基板檢測系統，其特征在于：所述檢測機構(500)包括位于所述轉盤(41)處的導通檢測機構(501)和電氣性能檢測機構(502)，所述轉盤(41)帶動所述基板(600)依次經過所述導通檢測機構(501)和所述電氣性能檢測機構(502)。

8.如權利要求1所述的基板檢測系統，其特征在于：所述定位工裝(42)下凹成型有收容并定位所述基板(600)的容置槽(421a)，所述容置槽(421a)的槽底設有與所述基板(600)相接觸的第三吸嘴(424)。