[發明專利]檢查裝置和基片運送方法

在審

• 申請號: 202110757346.6
• 申請日: 2021-07-05
• 公開（公告）號: CN113916901A
• 公開（公告）日: 2022-01-11
• 發明（設計）人: 時松徹;谷卓哉;村上孝
• 申請（專利權）人: 東京毅力科創株式會社
• 主分類號: G01N21/95
• 分類號: G01N21/95;G01N21/94;B65G47/74
• 代理公司: 北京尚誠知識產權代理有限公司 11322
• 代理人: 龍淳;劉芃茜

本發明提供能夠提高檢查基片的檢查裝置的吞吐量的檢查裝置和基片運送方法。檢查裝置包括：分別載置收納基片的收納容器第一、第二載置部；分別具有拍攝基片的拍攝單元的第一、第二檢查部；設置有第一運送機構的第一運送區域，第一運送機構進行在載置于第一載置部的收納容器與第一檢查部之間運送基片的第一運送動作；和設置有第二運送機構的第二運送區域，第二運送機構進行在載置于第二載置部的收納容器與第二檢查部之間運送基片的第二運送動作，第一、第二載置部設置在俯視時彼此不重疊的位置，第一、第二檢查部設置在俯視時彼此不重疊的位置，第一、第二運送區域設置在俯視時彼此不同的位置，以能夠并行地進行第一、第二運送動作。

技術領域

本發明涉及檢查裝置和基片運送方法。

背景技術

專利文獻1公開了基片處理系統中的基片的檢查方法，該基片處理系統具有對基片實施規定的處理的多個處理裝置。在該檢查方法中，拍攝由處理裝置進行處理前的基片的表面以獲取第一基片圖像，從第一基片圖像抽取規定的特征量，存儲有與各自不同的范圍的特征量對應地設定的多個存儲方案的存儲部，選擇與從第一基片圖像抽取出的上述特征量對應的檢查方案。然后，在該檢查方法中，拍攝由處理裝置進行了處理后的基片的表面以獲取第二基片圖像，基于所選擇的檢查方案和上述第二基片圖像，判斷基片是否存在缺陷。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特開2016-212008號公報

發明內容

發明要解決的技術問題

本發明的技術提高檢查基片的檢查裝置中的吞吐量。

用于解決技術問題的技術方案

本發明的一個方式為檢查基片的檢查裝置，其包括：第一載置部和第二載置部，其分別載置收納基片的收納容器；第一檢查部和第二檢查部，其分別具有為檢查基片而拍攝基片的拍攝單元；設置有第一運送機構的第一運送區域，其中，上述第一運送機構進行在載置于上述第一載置部的上述收納容器與上述第一檢查部之間運送基片的第一運送動作；和設置有第二運送機構的第二運送區域，其中，上述第二運送機構進行在載置于上述第二載置部的上述收納容器與上述第二檢查部之間運送基片的第二運送動作，上述第一載置部和上述第二載置部設置在俯視時彼此不重疊的位置，上述第一檢查部和上述第二檢查部設置在俯視時彼此不重疊的位置，上述第一運送區域和上述第二運送區域設置在俯視時彼此不同的位置，以能夠并行地進行上述第一運送動作和上述第二運送動作。

發明效果

依照本發明，能夠提高檢查基片的檢查裝置中的吞吐量。

附圖說明

圖1是表示本實施方式的檢查裝置的結構的概要的俯視圖。

圖2是表示本實施方式的檢查倉庫的結構的概要的側視圖。

圖3是表示本實施方式的檢查裝置的結構的概要的后視圖。

圖4是表示第一檢查部的結構的概要的橫截面圖。

圖5是表示第一檢查部的結構的概要的縱截面圖。

附圖標記說明

13₁ 盒載置板

13₂ 盒載置板

13₃ 盒載置板

13₄ 盒載置板

20₁ 第一檢查部

20₂ 第二檢查部

110 拍攝單元

C 盒