[發明專利]一種緊湊型激光光源

在審

• 申請號: 202110755816.5
• 申請日: 2021-07-05
• 公開（公告）號: CN113540958A
• 公開（公告）日: 2021-10-22
• 發明（設計）人: 盧愷;盧進軍;王浩;程文明;陳文博;葉飛;邵宏達
• 申請（專利權）人: 浙江航天潤博測控技術有限公司
• 主分類號: H01S5/02253
• 分類號: H01S5/02253;H01S5/183;H01S5/20
• 代理公司: 杭州新源專利事務所(普通合伙) 33234
• 代理人: 董晨楠

1.一種緊湊型激光光源，其特征在于：包括依次相互配合的激光器(1)、第二微透鏡陣列(2)和匯聚透鏡(3)；所述激光器(1)包括殼體(101)，殼體(101)上設有一組矩形陣列均勻分布且相互獨立的垂直安裝腔(102)，垂直安裝腔(102)內設有半導體激光器(4)；所述半導體激光器(4)包括依次分布的P-DBRs層(401)、AlAs層(402)、第一氧化限制層(403)、P面電極(404)、電流引導層(405)、第二氧化限制層(406)、有源區(407)、N-DBRs(408)、襯底層(409)和N面電極(410)，所述襯底層(408)底部還設有光束發散角準直球面鏡(5)。

2.根據權利要求1所述的一種緊湊型激光光源，其特征在于：所述光束發散角準直球面鏡(5)通過離子束濕法刻蝕方式生產制得。

3.根據權利要求1所述的一種緊湊型激光光源，其特征在于：襯底層(409)與光束發散角準直球面鏡(5)之間的厚度比為1:5～1：1。

4.根據權利要求1所述的一種緊湊型激光光源，其特征在于：光束發散角準直球面鏡(5)的曲率半徑為100μm^-1～20mm^-1。

5.根據權利要求1所述的一種緊湊型激光光源，其特征在于：光束發散角準直球面鏡(5)的軸線與相對應的半導體激光器(4)共軸。

6.根據權利要求1所述的一種緊湊型激光光源，其特征在于：光束發散角準直球面鏡(5)的底面超出半導體激光器(4)的底平面，超出尺寸為1～10μm。

7.根據權利要求1所述的一種緊湊型激光光源，其特征在于：所述光束發散角準直球面鏡(5)表面鍍有增透膜層。

8.根據權利要求1所述的一種緊湊型激光光源，其特征在于：第二微透鏡陣列(2)中的微透鏡與相應的光束發散角準直球面鏡(5)的軸線一一對應。

9.根據權利要求1所述的一種緊湊型激光光源，其特征在于：所述第二微透鏡陣列(2)固定于調整架。