[發(fā)明專利]一種智能倉(cāng)儲(chǔ)用半導(dǎo)體環(huán)境參數(shù)監(jiān)控裝置

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202110753613.2
• 申請(qǐng)日: 2021-07-02
• 公開（公告）號(hào): CN113340781A
• 公開（公告）日: 2021-09-03
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 周亮;王榛順;陳勝
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 深圳市華西米技術(shù)有限公司
• 主分類號(hào): G01N15/06
• 分類號(hào): G01N15/06
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

本發(fā)明公開了一種智能倉(cāng)儲(chǔ)用半導(dǎo)體環(huán)境參數(shù)監(jiān)控裝置，包括底座、多個(gè)感應(yīng)裝置及調(diào)節(jié)裝置，感應(yīng)裝置包括檢測(cè)盒、設(shè)于檢測(cè)盒一側(cè)的進(jìn)風(fēng)口、與進(jìn)風(fēng)方向相同的檢測(cè)腔、設(shè)于檢測(cè)腔一側(cè)的出氣口、設(shè)于出氣口內(nèi)部的過(guò)濾板、設(shè)于檢測(cè)腔內(nèi)部的檢測(cè)部件、用于引導(dǎo)空氣進(jìn)入的風(fēng)機(jī)及用于清理檢測(cè)腔的收集部件。本發(fā)明通過(guò)設(shè)置底座、感應(yīng)裝置和調(diào)節(jié)裝置，能夠?qū)Υ娣虐雽?dǎo)體的倉(cāng)儲(chǔ)環(huán)境進(jìn)行全方面多方位的監(jiān)測(cè)，能夠及時(shí)監(jiān)測(cè)倉(cāng)儲(chǔ)環(huán)境內(nèi)的粉塵濃度，解決了現(xiàn)有的倉(cāng)儲(chǔ)不能及時(shí)地檢測(cè)粉塵濃度，且檢測(cè)設(shè)備上容易積聚過(guò)濾的粉塵，長(zhǎng)時(shí)間不清理容易造成檢測(cè)效果的誤差過(guò)大的問(wèn)題。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明屬于半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種智能倉(cāng)儲(chǔ)用半導(dǎo)體環(huán)境參數(shù)監(jiān)控裝置。

背景技術(shù)

半導(dǎo)體的應(yīng)用極為廣泛，具有很高的科技價(jià)值和經(jīng)濟(jì)價(jià)值，現(xiàn)有的半導(dǎo)體通常需要專用的倉(cāng)儲(chǔ)，而且對(duì)環(huán)境的要求較高，現(xiàn)有技術(shù)存在的問(wèn)題是：現(xiàn)有的倉(cāng)儲(chǔ)環(huán)境容易出現(xiàn)粉塵，粉塵過(guò)多會(huì)影響半導(dǎo)體的性能，現(xiàn)有的倉(cāng)儲(chǔ)不能及時(shí)地檢測(cè)粉塵濃度，且檢測(cè)設(shè)備上容易積聚過(guò)濾的粉塵，長(zhǎng)時(shí)間不清理容易造成檢測(cè)效果誤差過(guò)大。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明提供了一種智能倉(cāng)儲(chǔ)用半導(dǎo)體環(huán)境參數(shù)監(jiān)控裝置，旨在解決現(xiàn)有的倉(cāng)儲(chǔ)不能及時(shí)地檢測(cè)粉塵濃度，且檢測(cè)設(shè)備上容易積聚過(guò)濾的粉塵，長(zhǎng)時(shí)間不清理容易造成檢測(cè)效果誤差過(guò)大的問(wèn)題。

本發(fā)明是這樣實(shí)現(xiàn)的，一種智能倉(cāng)儲(chǔ)用半導(dǎo)體環(huán)境參數(shù)監(jiān)控裝置，包括底座、用于監(jiān)測(cè)粉塵的多個(gè)感應(yīng)裝置及用于監(jiān)測(cè)不同位置粉塵濃度的調(diào)節(jié)裝置，所述感應(yīng)裝置包括檢測(cè)盒、設(shè)于檢測(cè)盒一側(cè)的進(jìn)風(fēng)口、與進(jìn)風(fēng)方向相同的檢測(cè)腔、設(shè)于檢測(cè)腔一側(cè)的出氣口、設(shè)于出氣口內(nèi)部的過(guò)濾板、設(shè)于檢測(cè)腔內(nèi)部的檢測(cè)部件、用于引導(dǎo)空氣進(jìn)入的風(fēng)機(jī)及用于清理檢測(cè)腔的收集部件，所述進(jìn)風(fēng)口的進(jìn)風(fēng)方向與底座相互垂直；

所述檢測(cè)部件包括設(shè)于檢測(cè)腔一側(cè)的第一板體、與第一板體相配合的第二板體及用于檢測(cè)檢測(cè)腔內(nèi)部電流變化的傳感器，所述第一板體與第二板體相互平行，通電后，所述第一板體與第二板體之間形成穩(wěn)定電場(chǎng)，所述傳感器通過(guò)檢測(cè)檢測(cè)腔內(nèi)部電流變化計(jì)算粉塵濃度。

作為本發(fā)明優(yōu)選的，所述收集部件包括設(shè)于檢測(cè)腔內(nèi)部的兩個(gè)刮板、設(shè)于刮板一側(cè)的棉輥、設(shè)于刮板兩側(cè)的導(dǎo)桿、用于導(dǎo)桿滑動(dòng)的導(dǎo)槽、用于帶動(dòng)導(dǎo)桿滑動(dòng)的驅(qū)動(dòng)件、設(shè)于檢測(cè)腔一側(cè)的集塵口、與集塵口相連通的收集腔、設(shè)于收集腔內(nèi)部的出氣通道及用于收集粉塵的儲(chǔ)存部件，所述收集腔內(nèi)部為負(fù)壓，所述出氣通道的出風(fēng)方向與出風(fēng)口連通且接近平行，所述刮板的行程終點(diǎn)與集塵口處于同一平面上，兩個(gè)所述刮板分別在第一板體和第二板體上滑動(dòng)。

作為本發(fā)明優(yōu)選的，所述儲(chǔ)存部件包括設(shè)于收集腔一側(cè)的儲(chǔ)存腔、設(shè)于收集腔內(nèi)部的過(guò)濾網(wǎng)、設(shè)于儲(chǔ)存腔一端的螺紋部及與螺紋部相配合的螺蓋，所述出氣通道與集塵口之間通過(guò)過(guò)濾網(wǎng)分隔。

作為本發(fā)明優(yōu)選的，所述過(guò)濾網(wǎng)包括設(shè)于收集腔內(nèi)的第一傾斜部和設(shè)于儲(chǔ)存腔入口位置的第二傾斜部，所述第一傾斜部與收集腔內(nèi)壁相連，所述第二傾斜部與儲(chǔ)存腔之間有一定間隙。

作為本發(fā)明優(yōu)選的，所述收集腔的內(nèi)部設(shè)有與過(guò)濾網(wǎng)相配合的第三傾斜部，所述第三傾斜部與儲(chǔ)存腔平滑過(guò)渡。

作為本發(fā)明優(yōu)選的，所述刮板包括支撐部、設(shè)于支撐部外側(cè)的第一弧形部、設(shè)于支撐部?jī)?nèi)側(cè)的第二弧形部、設(shè)于第一弧形部與第二弧形部之間的清理部及設(shè)于清理部上的多個(gè)缺口，所述棉輥位于第二弧形部一側(cè)，兩個(gè)所述刮板上的清理部分別與第一板體和第二板體接觸。

作為本發(fā)明優(yōu)選的，所述調(diào)節(jié)裝置包括設(shè)于底座上的第一管體、與第一管體相配合的第二管體、設(shè)于第二管體中上部的固定盤及設(shè)于固定盤上用于安裝檢測(cè)盒的伸張部件，多個(gè)所述第二管體同步伸縮。