[發(fā)明專(zhuān)利]金屬有機(jī)材料的制備方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202110751617.7
• 申請(qǐng)日: 2021-07-02
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN113529015B
• 公開(kāi)（公告）日: 2022-10-25
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 徐海;梁哲文;劉雷;申德振
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 中國(guó)科學(xué)院長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所
• 主分類(lèi)號(hào): C23C14/06
• 分類(lèi)號(hào): C23C14/06;C23C14/12;C23C14/24;C23C14/58
• 代理公司: 長(zhǎng)春中科長(zhǎng)光知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 22218
• 代理人: 高一明;郭婷

1.一種金屬有機(jī)材料的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：

S1、在真空條件下，分別將原子級(jí)平整的金屬基底、堿基金屬鹽和有機(jī)材料放入熱蒸發(fā)器中，進(jìn)行除氣、加熱，依次將堿基金屬鹽和有機(jī)材料分別均勻的擴(kuò)散在所述金屬基底上，沉積生長(zhǎng)均勻的薄膜；

S2、將所述金屬基底上沉積的堿基金屬鹽薄膜和有機(jī)材料薄膜進(jìn)行退火處理，完成制備金屬有機(jī)材料；

通過(guò)調(diào)節(jié)不同比例的NaCl與PTCDA的劑量，在不同溫度下進(jìn)行退火處理，從而制備出不同Na離子摻雜比例的PTCDA的金屬有機(jī)材料；Na離子與PTCDA的摻雜比例包括：1:1、1:2、1:4、2:1中的任意一種；

每次進(jìn)行退火處理時(shí)，堿基金屬鹽劑量的覆蓋率≤50％，即堿基金屬鹽劑量≤0.5ML；有機(jī)材料劑量的覆蓋率≤80％，即有機(jī)材料劑量≤0.8ML。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的金屬有機(jī)材料的制備方法，其特征在于，步驟S1中，

通過(guò)對(duì)金屬基底先濺射后經(jīng)退火處理，獲得原子級(jí)平整金屬基底；

濺射過(guò)程中，離子槍與所述金屬基底保持垂直，距離為80mm，離子槍高壓3000V，激發(fā)電流3mA，基底電流為7μA；

退火過(guò)程中，退火溫度為300～600℃，升溫速率為1℃/s，降溫速率為0.5℃/s。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的金屬有機(jī)材料的制備方法，其特征在于，步驟S2中退火溫度為：50～350℃。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的金屬有機(jī)材料的制備方法，其特征在于，原料的劑量≥在退火過(guò)程中沉積生長(zhǎng)速率×在退火過(guò)程中沉積生長(zhǎng)時(shí)間。

5.根據(jù)權(quán)利要求1-4中任一項(xiàng)所述的金屬有機(jī)材料的制備方法，其特征在于，堿基金屬鹽為鋰鹽、鈉鹽、鉀鹽、銣鹽、銫鹽、鈁鹽中的一種或幾種的混合物，有機(jī)材料為具有酸酐基團(tuán)、羧基、羰基、鹵素官能團(tuán)中的一種或幾種的有機(jī)小分子材料。