[發(fā)明專利]廢氣處理裝置及其排氣濕度控制方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202110750312.4
• 申請日: 2021-07-02
• 公開（公告）號: CN113413746B
• 公開（公告）日: 2022-05-17
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 楊春濤;楊春水;張坤;王繼飛
• 申請（專利權(quán)）人: 北京京儀自動化裝備技術(shù)股份有限公司
• 主分類號: B01D53/74
• 分類號: B01D53/74;B01D53/18;B01D53/14;B01D53/30
• 代理公司: 北京乾成律信知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11927
• 代理人: 姚志遠;李昕巍

本申請?zhí)峁┮环N廢氣處理裝置及其排氣濕度控制方法，用于處理半導(dǎo)體制程產(chǎn)生的廢氣。一種廢氣處理裝置包括依次連通的反應(yīng)腔體、水箱、水洗系統(tǒng)、濕度儀和廢氣管路；所述水洗系統(tǒng)設(shè)置有水泵、調(diào)節(jié)閥和溫度檢測儀；其中，所述水泵將所述水箱中的水抽出并通過所述調(diào)節(jié)閥進入所述水洗系統(tǒng)；所述溫度檢測儀用于檢測所述水洗系統(tǒng)中經(jīng)過水洗后的氣體的溫度；所述濕度儀用于檢測排出所述水洗系統(tǒng)的氣體的濕度。本申請的廢氣處理裝置通過增加排氣管路的氣體水分監(jiān)測，使用調(diào)節(jié)閥調(diào)節(jié)水路噴淋的開度，從而控制管路的噴水量，控制排氣濕度在合理標(biāo)準(zhǔn)以下。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及泛半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，具體而言，涉及一種廢氣處理裝置及其排氣濕度控制方法，用于處理半導(dǎo)體制程產(chǎn)生的廢氣。

背景技術(shù)

在半導(dǎo)體科學(xué)技術(shù)的發(fā)展中，半導(dǎo)體制程生產(chǎn)中會用到大量的有毒、腐蝕性強且易燃的特殊氣體、化學(xué)品和有機溶劑等原材料，這些物質(zhì)所產(chǎn)生的廢氣在冗長的排氣過程中，因其氣體性質(zhì)可能會引發(fā)風(fēng)管堵塞、管路腐蝕等，導(dǎo)致氣體泄漏、火災(zāi)爆炸等事故，所以應(yīng)先在就近的小型廢氣處理設(shè)備（Local Scrubber）進行處理，后再進入中央處理系統(tǒng)處理。

廢氣處理設(shè)備中會用到水給處理后的氣體降溫或者將溶于水的氣體進行水溶處理。所以處理后的氣體中會含有水分，如果氣體濕度過大，當(dāng)氣體流經(jīng)廠務(wù)排氣管路時會冷凝形成水珠，使廠務(wù)排氣管路存水。有腐蝕性水泄露的風(fēng)險和廠務(wù)管道內(nèi)部的水回流到廢氣處理裝置的風(fēng)險。

目前降低排氣濕度的方式有增加氣體吹掃和增加冷凝裝置兩種方式。

1）通過氣體吹掃降低排氣濕度，是在排氣管路吹入大量的壓縮空氣，降低單位體積內(nèi)氣體的含水量，從而降低排氣濕度，并未實際減少水汽含量，同時增加了氣體的消耗量。

2）冷凝裝置是在排氣管通過冷卻水（PCW）制造一個低于室溫的環(huán)境，將氣體中的水在廢氣處理裝置內(nèi)冷凝，方式排到廠務(wù)端，該方式對冷水流量要求大，降低氣體濕度效果不是很明顯。

在所述背景技術(shù)部分，公開的上述信息僅用于加強對本申請的背景的理解，因此它可以包括不構(gòu)成對本領(lǐng)域普通技術(shù)人員已知的現(xiàn)有技術(shù)信息。

發(fā)明內(nèi)容

本申請旨在提供一種廢氣處理裝置及其排氣濕度控制方法，用于處理半導(dǎo)體制程產(chǎn)生的廢氣，能夠?qū)U氣處理過程中的排氣濕度控制在合理標(biāo)準(zhǔn)以下。

根據(jù)本申請的一方面，提出一種廢氣處理裝置，包括依次連通的反應(yīng)腔體、水箱、水洗系統(tǒng)、濕度儀和廢氣管路；所述水洗系統(tǒng)設(shè)置有水泵、調(diào)節(jié)閥和溫度檢測儀；其中，所述水泵將所述水箱中的水抽出并通過所述調(diào)節(jié)閥進入所述水洗系統(tǒng)；所述溫度檢測儀用于檢測所述水洗系統(tǒng)中經(jīng)過水洗后的氣體的溫度；所述濕度儀用于檢測排出所述水洗系統(tǒng)的氣體的濕度。

根據(jù)一些實施例，所述廢氣處理裝置還包括控制系統(tǒng)，所述控制系統(tǒng)控制所述調(diào)節(jié)閥的開度。

根據(jù)本申請的另一方面，提出一種廢氣處理裝置的排氣濕度控制方法，所述控制方法包括：標(biāo)定獲得在預(yù)先設(shè)定好的濕度區(qū)間內(nèi)所述濕度和所述調(diào)節(jié)閥的開度的對應(yīng)關(guān)系；根據(jù)所述對應(yīng)關(guān)系對所述調(diào)節(jié)閥的開度進行反比例控制，將所述濕度控制在所述濕度區(qū)間內(nèi)。

根據(jù)一些實施例，所述控制方法還包括：控制所述經(jīng)過水洗后的氣體的溫度保持穩(wěn)定。

根據(jù)一些實施例，所述標(biāo)定獲得在預(yù)先設(shè)定好的濕度區(qū)間內(nèi)所述濕度和所述調(diào)節(jié)閥的開度的對應(yīng)關(guān)系的步驟包括：在水洗過程中調(diào)節(jié)所述調(diào)節(jié)閥，直至所述濕度位于預(yù)先設(shè)定好的濕度區(qū)間的下限值，記錄此時所述調(diào)節(jié)閥的開度，作為第一開度；逐漸增大所述調(diào)節(jié)閥的開度，直至所述濕度達到位于預(yù)先設(shè)定好的濕度區(qū)間的上限值，記錄此時所述調(diào)節(jié)閥的開度，作為第二開度；根據(jù)所述第一開度、所述濕度區(qū)間的下限值、所述第二開度和所述濕度區(qū)間的上限值獲得所述濕度區(qū)間內(nèi)的所述濕度和所述調(diào)節(jié)閥的開度的對應(yīng)關(guān)系。