[發明專利]階梯型結構窄帶FBAR濾波器

有效

• 申請號: 202110743247.2
• 申請日: 2021-06-30
• 公開（公告）號: CN113472313B
• 公開（公告）日: 2022-09-09
• 發明（設計）人: 王勝福;李麗;李宏軍;張仕強;王磊;于江濤;張韶華;李亮;梁東升;王飛;韓易;張璇;卞麗哲;賈文霞
• 申請（專利權）人: 中國電子科技集團公司第十三研究所
• 主分類號: H03H9/54
• 分類號: H03H9/54
• 代理公司: 石家莊國為知識產權事務所 13120
• 代理人: 彭競馳

本發明涉及濾波器技術領域，提供了一種階梯型結構窄帶FBAR濾波器，上述濾波器包括：輸入端、輸出端、接地端、多個串臂諧振器和多個并臂諧振器；多個串臂諧振器包括：依次串聯連接在輸入端和輸出端之間的第一諧振器至第六諧振器；多個并臂諧振器包括：第七諧振器至第十二諧振器；第七諧振器，第一端與第一諧振器和第二諧振器的連接點連接，第二端通過第十諧振器與接地端連接；第八諧振器，第一端與第三諧振器和第四諧振器的連接點連接，第二端通過第十一諧振器與接地端連接；第九諧振器，第一端與第五諧振器和第六諧振器的連接點連接，第二端通過第十二諧振器與接地端連接。本發明提供的濾波器可允許特定頻率的信號通過。

技術領域

本發明屬于濾波器技術領域，尤其涉及一種階梯型結構窄帶FBAR濾波器。

背景技術

近年來，隨著5G無線通信技術的不斷發展，通過利用更高頻段以及頻段重組來實現移動通信，這對相關射頻元器件的微型化、高頻帶寬化、集成化及柔性化提出了越來越高的要求。

薄膜體聲波諧振器(Film Bulk Acoustic Resonator，FBAR)濾波器憑借其尺寸小、諧振頻率高、品質因數高、功率容量大、滾降效應好等優良特性，正逐步取代傳統的聲表面波濾波器和陶瓷濾波器，在射頻濾波器領域占有越來越大的市場份額，在5G無線通信射頻領域發揮著巨大作用。

然而目前對FBAR濾波器的研究大多集中在制備方法上，對FBAR濾波器的具體結構的研究較少。

發明內容

有鑒于此，本發明實施例提供了一種階梯型結構窄帶FBAR濾波器，以提供一種FBAR濾波器的新型結構。

本發明實施例第一方面提供了一種階梯型結構窄帶FBAR濾波器，包括：輸入端、輸出端、接地端、多個串臂諧振器和多個并臂諧振器；

多個串臂諧振器包括：依次串聯連接在輸入端和輸出端之間的第一諧振器、第二諧振器、第三諧振器、第四諧振器、第五諧振器及第六諧振器；

多個并臂諧振器包括：第七諧振器、第八諧振器、第九諧振器、第十諧振器、第十一諧振器及第十二諧振器；

第七諧振器，第一端與第一諧振器和第二諧振器的連接點連接，第二端通過第十諧振器與接地端連接；

第八諧振器，第一端與第三諧振器和第四諧振器的連接點連接，第二端通過第十一諧振器與接地端連接；

第九諧振器，第一端與第五諧振器和第六諧振器的連接點連接，第二端通過第十二諧振器與接地端連接；

其中，多個串臂諧振器及多個并臂諧振器的面積的取值范圍均為4000μm²-80000μm²。

可選的，多個串臂諧振器的串聯諧振頻率和并聯諧振頻率相同。

可選的，第七諧振器、第八諧振器及第九諧振器的串聯諧振頻率和并聯諧振頻率相同，第十諧振器、第十一諧振器及第十二諧振器的串聯諧振頻率和并聯諧振頻率相同，且第七諧振器與第十諧振器的串聯諧振頻率和并聯諧振頻率均不同。

可選的，第七諧振器、第八諧振器及第九諧振器的串聯諧振頻率和并聯諧振頻率，與多個串臂諧振器的串聯諧振頻率和并聯諧振頻率相同；

第十諧振器的并聯諧振頻率與第一諧振器的串聯諧振頻率相同。