[發明專利]空氣腔型薄膜體聲波諧振器濾波器及濾波器組件

有效

• 申請號: 202110743224.1
• 申請日: 2021-06-30
• 公開（公告）號: CN113644894B
• 公開（公告）日: 2023-08-29
• 發明（設計）人: 張仕強;李麗;李宏軍;王勝福;李增路;潘海波;王磊;于江濤;楊亮;李亮;梁東升;李明武;韓易;王靜;張根壯
• 申請（專利權）人: 中國電子科技集團公司第十三研究所
• 主分類號: H03H9/56
• 分類號: H03H9/56;H03H9/58;H03H9/60
• 代理公司: 石家莊國為知識產權事務所 13120
• 代理人: 張貴勤

1.一種空氣腔型薄膜體聲波諧振器濾波器，其特征在于，包括輸入端子、輸出端子、多個串聯的薄膜體聲波諧振器和多個并聯的薄膜體聲波諧振器，所述空氣腔型薄膜體聲波諧振器濾波器設置為對稱結構；

所述多個串聯的薄膜體聲波諧振器包括第一薄膜體聲波諧振器、第二薄膜體聲波諧振器、第三薄膜體聲波諧振器、第四薄膜體聲波諧振器、第五薄膜體聲波諧振器和第六薄膜體聲波諧振器，串聯連接在所述輸入端子和所述輸出端子之間；

所述多個并聯的薄膜體聲波諧振器包括第七薄膜體聲波諧振器、第八薄膜體聲波諧振器、第九薄膜體聲波諧振器和第十薄膜體聲波諧振器，所述第七薄膜體聲波諧振器的一端連接在所述第一薄膜體聲波諧振器和所述第二薄膜體聲波諧振器之間的節點上，所述第八薄膜體聲波諧振器的一端連接在所述第三薄膜體聲波諧振器和所述第四薄膜體聲波諧振器之間的節點上，所述第九薄膜體聲波諧振器的一端與所述第八薄膜體聲波諧振器的另一端連接，所述第十薄膜體聲波諧振器的一端連接在所述第五薄膜體聲波諧振器和所述第六薄膜體聲波諧振器之間的節點上；所述第七薄膜體聲波諧振器、所述第九薄膜體聲波諧振器和所述第十薄膜體聲波諧振器的另一端分別連接接地端子；

所述第一薄膜體聲波諧振器的面積為5950μm²-6050μm²，所述第二薄膜體聲波諧振器和所述第三薄膜體聲波諧振器的面積均為3450μm²-3550μm²，所述第四薄膜體聲波諧振器、所述第五薄膜體聲波諧振器和所述第十薄膜體聲波諧振器的面積均為3350μm²-3450μm²，所述第六薄膜體聲波諧振器的面積為5250μm²-5350μm²，所述第七薄膜體聲波諧振器的面積為8350μm²-8450μm²，所述第八薄膜體聲波諧振器和所述第九薄膜體聲波諧振器的面積為3750μm²-3850μm²。

2.如權利要求1所述的空氣腔型薄膜體聲波諧振器濾波器，其特征在于，所述多個串聯的薄膜體聲波諧振器的串聯諧振頻率和并聯諧振頻率相同；所述多個并聯的薄膜體聲波諧振器的串聯諧振頻率和并聯諧振頻率相同。

3.如權利要求1或2所述的空氣腔型薄膜體聲波諧振器濾波器，其特征在于，所述多個串聯的薄膜體聲波諧振器的串聯諧振頻率和所述多個并聯的薄膜體聲波諧振器的并聯諧振頻率相同。

4.如權利要求1所述的空氣腔型薄膜體聲波諧振器濾波器，其特征在于，所述空氣腔型薄膜體聲波諧振器濾波器的版圖包括犧牲層、下電極層、上電極層、差頻層和孔層，所述差頻層與所述多個并聯的薄膜體聲波諧振器對應，所述多個串聯的薄膜體聲波諧振器不具有所述差頻層；所述孔層中開設有多個釋放孔，每個薄膜體聲波諧振器均設有多個釋放通道，每個所述釋放通道至少對應一個釋放孔。

5.如權利要求4所述的空氣腔型薄膜體聲波諧振器濾波器，其特征在于，所述上電極層的厚度為所述下電極層的厚度為所述差頻層的厚度為所述釋放孔的直徑為15μm-25μm，所述空氣腔型薄膜體聲波諧振器濾波器還包括壓電層，所述壓電層的厚度為

6.如權利要求1所述的空氣腔型薄膜體聲波諧振器濾波器，其特征在于，所述多個并聯的薄膜體聲波諧振器還包括第十一薄膜體聲波諧振器，所述第十一薄膜體聲波諧振器的一端與所述第九薄膜體聲波諧振器串聯，所述第十一薄膜體聲波諧振器的另一端與所述接地端子連接。