[發(fā)明專利]生物傳感器系統(tǒng)和用生物傳感器系統(tǒng)分析測試樣品的方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202110736687.5
• 申請日: 2021-06-30
• 公開（公告）號: CN114910538A
• 公開（公告）日: 2022-08-16
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 黃毓杰;黃睿政;蕭怡馨
• 申請（專利權(quán)）人: 臺灣積體電路制造股份有限公司
• 主分類號: G01N27/414
• 分類號: G01N27/414
• 代理公司: 北京德恒律治知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11409
• 代理人: 章社杲;李偉

1.一種生物傳感器系統(tǒng)，包括：

生物傳感器的陣列；

多個電極，位于所述生物傳感器的陣列附近；以及

控制器，配置為選擇性地激勵所述多個電極以生成介電電泳(DEP)力，以相對于所述生物傳感器的陣列選擇性地定位測試樣品。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的生物傳感器系統(tǒng)，其中，所述多個電極位于所述生物傳感器的陣列的四側(cè)上。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的生物傳感器系統(tǒng)，其中，所述控制器配置為激勵所述多個電極以選擇性地生成所述介電電泳力，以將所述測試樣品捕獲在所述生物傳感器的陣列上。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的生物傳感器系統(tǒng)，其中，所述控制器配置為激勵所述多個電極以選擇性地生成所述介電電泳力，以將所述測試樣品與所述生物傳感器的陣列分離。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的生物傳感器系統(tǒng)，其中，所述多個電極包括：

第一電極、第二電極、第三電極和第四電極，位于共同平面上，并且分別位于所述生物傳感器的陣列的第一側(cè)、第二側(cè)、第三側(cè)和第四側(cè)上；

第五電極、第六電極、第七電極和第八電極，位于所述共同平面上，并且分別位于所述生物傳感器的陣列的相應(yīng)的第一側(cè)、第二側(cè)、第三側(cè)和第四側(cè)上；以及

參考電極，位于所述第一電極、所述第二電極、所述第三電極、所述第四電極、所述第五電極、所述第六電極、所述第七電極和所述第八電極以及所述生物傳感器的陣列之上。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的生物傳感器系統(tǒng)，其中，所述控制器配置為將具有第一預(yù)定頻率的第一交流(AC)信號施加至所述參考電極以建立正介電電泳以將所述測試樣品捕獲在所述生物傳感器的陣列上，并且將具有第二預(yù)定頻率的第二交流信號施加至所述參考電極以建立負(fù)介電電泳，以將所述測試樣品與所述生物傳感器的陣列分離。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的生物傳感器系統(tǒng)，其中，所述控制器配置為將交流信號施加至所述第一電極、所述第二電極、所述第三電極和所述第四電極中的每個，其中，施加至所述第一電極的所述交流信號具有0度的相位角，施加至所述第二電極的所述交流信號具有90度的相位角，施加至所述第三電極的所述交流信號具有180度的相位角，并且施加至所述第四電極的所述交流信號具有270度的相位角以建立介電電泳力以使所述測試樣品繞第一軸旋轉(zhuǎn)。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的生物傳感器系統(tǒng)，其中，所述交流信號具有預(yù)定頻率。

9.一種生物傳感器系統(tǒng)，包括：

處理襯底；

互連層，位于所述處理襯底上方；

器件襯底，位于所述互連層上方，所述器件襯底包括電連接至所述互連層的生物傳感器陣列；

隔離層，位于所述器件襯底上方；

多個電極，形成在所述隔離層上方，并且穿過所述隔離層和所述器件襯底延伸至所述互連層，所述多個電極配置為接收交流信號以建立介電電泳力以相對于所述生物傳感器陣列選擇性地定位測試樣品。

10.一種使用生物傳感器系統(tǒng)分析測試樣品的方法，包括：

提供生物傳感器陣列；

提供三維(3D)測試樣品；

由所述生物傳感器陣列收集關(guān)于所述三維測試樣品的第一段的數(shù)據(jù)；

生成介電電泳力以相對于所述生物傳感器陣列重新定位所述三維測試樣品；

由所述生物傳感器陣列收集關(guān)于所述三維測試樣品的第二段的數(shù)據(jù)；

組合關(guān)于所述三維測試樣品的所述第一段和所述第二段的所述數(shù)據(jù)。