[發(fā)明專利]組合樣品及其制備方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 202110734404.3 | 申請日： | 2021-06-30 |
| 公開（公告）號： | CN113466268B | 公開（公告）日： | 2022-06-07 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 董旭林;郭偉 | 申請（專利權(quán)）人： | 長江存儲科技有限責(zé)任公司 |
| 主分類號： | G01N23/20008 | 分類號： | G01N23/20008;G01N23/04;G01N23/20025;G01N23/20058;G01N1/28 |
| 代理公司： | 北京派特恩知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11270 | 代理人： | 徐雯;張穎玲 |
| 地址： | 430074 湖北省武*** | 國省代碼： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 組合 樣品 及其 制備 方法 | ||
1.一種透射電子顯微鏡樣品的制備方法，其特征在于，包括：
將樣品承載部放置于承載臺上，樣品承載部的基底與承載臺表面平行；所述樣品承載部包括基底和至少一個格柵，所述格柵位于所述基底背離所述承載臺的一側(cè)；所述格柵包括立柱部分和圓頭部分，所述立柱部分與所述基底垂直，格柵的立柱部分位于接近承載臺的一側(cè)，格柵的圓頭部分位于遠(yuǎn)離承載臺的一側(cè)；
在所述格柵的圓頭部分中形成凹槽；所述凹槽具有兩個相互平行的第一側(cè)壁，所述第一側(cè)壁與所述基底垂直；所述凹槽還具有兩個相互平行的第二側(cè)壁，所述第二側(cè)壁與所述基底垂直；
將待減薄樣品的兩個粘貼面分別粘貼于所述凹槽內(nèi)的兩個相互平行的第一側(cè)壁上，得到透射電子顯微鏡樣品；所述凹槽的第二側(cè)壁與待減薄樣品之間存在第二距離；所述待減薄樣品的粘貼面與所述基底呈第一預(yù)設(shè)角度，所述第一預(yù)設(shè)角度為銳角；
利用聚焦離子束，對所述待減薄樣品進(jìn)行減薄處理。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，在將待減薄樣品粘貼于所述凹槽的第一側(cè)壁之前，所述方法還包括：
以所述第一側(cè)壁內(nèi)任意平行于所述基底的直線為轉(zhuǎn)軸，將所述樣品承載部圍繞所述轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)第二預(yù)設(shè)角度；
所述將待減薄樣品粘貼于所述凹槽的第一側(cè)壁上，包括：
將所述待減薄樣品的粘貼面與所述第一側(cè)壁呈第二預(yù)設(shè)角度進(jìn)行粘貼，以使所述待減薄樣品的粘貼面與所述基底呈所述第一預(yù)設(shè)角度；所述第二預(yù)設(shè)角度與所述第一預(yù)設(shè)角度之和為90°。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法，其特征在于，在將所述待減薄樣品的粘貼面與所述第一側(cè)壁呈所述第二預(yù)設(shè)角度進(jìn)行粘貼時，通過膠填充所述待減薄樣品與所述第一側(cè)壁之間的縫隙。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述第一預(yù)設(shè)角度的范圍為10°至20°。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述凹槽的底面與所述待減薄樣品之間存在第一距離；
在利用聚焦離子束，對所述待減薄樣品進(jìn)行減薄處理時，在所述第一距離的作用下，使得所述的凹槽底面被所述聚焦離子束轟擊出的粒子不返濺到所述待減薄樣品上。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，
所述利用聚焦離子束，對所述待減薄樣品進(jìn)行減薄處理，包括：
利用聚焦離子束，對所述待減薄樣品的與所述第二側(cè)壁相對的兩側(cè)面進(jìn)行減薄處理。
7.一種透射電子顯微鏡樣品，其特征在于，應(yīng)用權(quán)利要求1-6任一項所述的透射電子顯微鏡樣品的制備方法得到；所述透射電子顯微鏡樣品包括：樣品承載部和待減薄樣品；其中，
所述樣品承載部包括垂直的基底和至少一個格柵；所述格柵包括立柱部分和圓頭部分，所述立柱部分與所述基底垂直；所述格柵的圓頭部分中設(shè)置有凹槽，所述凹槽具有兩個相互平行的第一側(cè)壁，所述第一側(cè)壁與所述基底垂直；所述凹槽還具有兩個相互平行的第二側(cè)壁，所述第二側(cè)壁與所述基底垂直；
所述待減薄樣品的兩個粘貼面分別粘貼于所述凹槽內(nèi)的兩個相互平行的第一側(cè)壁上；所述凹槽的第二側(cè)壁與待減薄樣品之間存在第二距離；所述待減薄樣品的粘貼面與所述基底呈第一預(yù)設(shè)角度，所述第一預(yù)設(shè)角度為銳角。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的透射電子顯微鏡樣品，其特征在于，所述第一預(yù)設(shè)角度的范圍為10°至20°。
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的透射電子顯微鏡樣品，其特征在于，所述待減薄樣品的粘貼面與所述第一側(cè)壁呈第二預(yù)設(shè)角度；所述第二預(yù)設(shè)角度與所述第一預(yù)設(shè)角度 之和為90°。
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