[發明專利]一種光刻膠組合物

有效

• 申請號: 202110731453.1
• 申請日: 2021-06-29
• 公開（公告）號: CN113419404B
• 公開（公告）日: 2023-04-18
• 發明（設計）人: 馬潔;李冰;孫嘉;鄭金紅;陳昕;王文芳;董棟;張寧
• 申請（專利權）人: 北京科華微電子材料有限公司;北京科華豐園微電子科技有限公司;上海彤程電子材料有限公司;彤程新材料集團股份有限公司
• 主分類號: G03F7/039
• 分類號: G03F7/039;G03F7/004
• 代理公司: 北京超凡宏宇專利代理事務所(特殊普通合伙) 11463
• 代理人: 王麗莎

1.一種光刻膠組合物，其特征在于，所述光刻膠組合物包括：100重量份化學放大正性光刻膠基體樹脂、0.2～30重量份光致產酸劑和0.01～5重量份堿性添加劑；

其中，所述光致產酸劑為三嗪類化合物，所述堿性添加劑包括含有氧原子的胺類化合物；

所述三嗪類化合物包括以下結構中的任意一種：

所述胺類化合物包括2-甲氧基乙氧基乙酯-2-三胺、異丙醇胺、N,N-二甲氨基乙酸乙酯、N,N-二甲基甘氨酸、N,N—二甲基乙醇胺、4,4’-二氨基二苯醚、N-叔丁氧基羰基二正辛基胺、N,N-二甲基甲酰胺、乙酰胺、N-甲基乙酰胺和苯甲酰胺中的任意一種或多種。

2.根據權利要求1所述的光刻膠組合物，其特征在于，所述基體樹脂包括帶有保護基團的聚對羥基苯乙烯。

3.根據權利要求1所述的光刻膠組合物，其特征在于，所述基體樹脂的結構通式如下：

其中，R為保護基團，R包括叔丁氧基羰基、1-甲氧基丙基、1-甲氧基-1-甲基乙基、1-乙氧基丙基、1-叔-丁氧基乙基、1-異丁氧基乙基和環氧戊烯中的任意一種或多種；

x+y＝100，x為60～80之間的整數。

4.根據權利要求3所述的光刻膠組合物，其特征在于，所述基體樹脂的分子量為3000～30000。

5.根據權利要求1所述的光刻膠組合物，其特征在于，所述光刻膠組合物還包括助劑，所述助劑包括表面活性劑、溶解抑制劑、穩定劑、著色劑、增塑劑和防光暈劑中的任意一種或多種。

6.根據權利要求1所述的光刻膠組合物，其特征在于，所述光刻膠組合物還包括溶劑，所述溶劑的質量為所述光刻膠組合物質量的10～90wt％。

7.根據權利要求6所述的光刻膠組合物，其特征在于，所述溶劑包括丙二醇甲醚醋酸酯，乳酸乙酯，乙酸乙酯中的任意一種或多種。