[發(fā)明專利]X射線光電子能譜儀用長效真空轉(zhuǎn)移樣品臺及轉(zhuǎn)移方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 202110730216.3 | 申請日： | 2021-06-29 |
| 公開（公告）號： | CN113447513A | 公開（公告）日： | 2021-09-28 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 楊磊;宋凱;崔喜平;曾崗;鄭振;洪光輝;李雪;張杰 | 申請（專利權(quán)）人： | 哈爾濱工業(yè)大學(xué) |
| 主分類號： | G01N23/2273 | 分類號： | G01N23/2273;G01N23/2204 |
| 代理公司： | 哈爾濱市松花江專利商標事務(wù)所 23109 | 代理人： | 牟永林 |
| 地址： | 150001 黑龍*** | 國省代碼： | 黑龍江;23 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 射線 光電子 能譜儀用 長效 真空 轉(zhuǎn)移 樣品 方法 | ||
X射線光電子能譜儀用長效真空轉(zhuǎn)移樣品臺及轉(zhuǎn)移方法，本發(fā)明涉及電子能譜儀轉(zhuǎn)移樣品臺及轉(zhuǎn)移方法，本發(fā)明的目的是解決現(xiàn)有保持真空度有效時間較短，無法實現(xiàn)長效真空環(huán)境，它包括爐體它包括保護罩、電池單元、樣品臺單元和底座，電池單元和樣品臺單元固定安裝在底座上端面上，保護罩扣裝在底座上，電池單元與樣品臺單元連接并對樣品臺單元供電。本發(fā)明用于真空樣品轉(zhuǎn)移領(lǐng)域。
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及電子能譜儀轉(zhuǎn)移樣品臺及轉(zhuǎn)移方法，具體涉及X射線光電子能譜儀用長效真空轉(zhuǎn)移樣品臺及轉(zhuǎn)移方法。
背景技術(shù)
目前，X射線光電子能譜儀廣泛應(yīng)用于各個領(lǐng)域，用于分析被測樣品的化學(xué)組成，元素狀態(tài)，以及功函數(shù)等物理化學(xué)特性。然而，x射線光電子能譜儀分析深度很薄(～10nm)，當(dāng)樣品暴露于大氣下會受到周圍氣體環(huán)境污染，樣品表面會吸附氧氣，碳等污染物，甚至?xí)斐蓸悠繁砻嫣匦园l(fā)生急劇變化。
因此，不暴露大氣環(huán)境下的原位檢測對幾乎所有被測樣品均適用。但是，對于絕大多數(shù)測試來說，為實現(xiàn)原位測試去購買定制XPS設(shè)備非常昂貴，測試效率低。
目前，僅有中科院化學(xué)所相關(guān)團隊開發(fā)了半原位轉(zhuǎn)移樣品臺，但保持真空度有效時間較短(漏率較大)，無法實現(xiàn)長效真空環(huán)境，因此，急需一款X射線光電子能譜儀用長效保持較高真空環(huán)境的轉(zhuǎn)移樣品臺系統(tǒng)。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是解決現(xiàn)有保持真空度有效時間較短，無法實現(xiàn)長效真空環(huán)境，進而需要提供X射線光電子能譜儀用長效真空轉(zhuǎn)移樣品臺及轉(zhuǎn)移方法。
本發(fā)明為解決上述問題而采用的技術(shù)方案是：
它包括保護罩、電池單元、樣品臺單元和底座，電池單元和樣品臺單元固定安裝在底座上端面上，保護罩扣裝在底座上，電池單元與樣品臺單元連接并對樣品臺單元供電。
所述方法是按照以下步驟實現(xiàn)的：
步驟一：清潔長效真空轉(zhuǎn)移樣品臺每個部件并保證長效真空轉(zhuǎn)移樣品每個部件的潔凈，每個部件表面無明顯灰塵，將待測樣品放置于樣品放置托上，并將待測樣品用雙面膠或?qū)щ娔z帶粘在樣品放置托上，保證電池單元與樣品臺單元固定安裝在底座上；
步驟二：將長效真空轉(zhuǎn)移樣品臺放置在手套箱中，手套箱中充填的惰性氣體為氛氣；
步驟三：開啟微型真空泵進行真空抽氣，抽氣時間為15分鐘，保證樣品臺單元的真空蓋和樣品放置托之間腔體處于穩(wěn)定真空狀態(tài)；
步驟四：蓋上保護罩，將樣品臺單元轉(zhuǎn)運出手套箱；
步驟五：泄掉X射線光電子能譜儀進樣室真空，開啟進樣室門；
步驟六：將長效真空轉(zhuǎn)移樣品臺系統(tǒng)電源關(guān)掉，并快速將轉(zhuǎn)運樣品臺放置于進樣室磁力傳遞桿上，
步驟七：對進樣室進行抽真空處理。
本發(fā)明的有益效果：
樣品臺單元3用于在該系統(tǒng)轉(zhuǎn)運過程中保護樣品臺及電池單元免受外界帶來的損傷及污染。電池組單元用于提供樣品臺上微型真空泵所需的電能。樣品臺單元用于保護樣品的真空狀態(tài)，保證樣品免受外界空氣的影響。樣品臺單元可套裝在真空蓋上，套緊后與真空蓋不易松脫，提起架頂端裝有鐵貼片，在轉(zhuǎn)運至XPS真空倉體內(nèi)用于自脫真空蓋的功能。微型真空泵，連接真空蓋，將其通電實現(xiàn)對真空蓋內(nèi)艙進行抽真空，放氣閥，固定在真空蓋上，實現(xiàn)在大氣壓力下放氣的功能；真空蓋限位套與真空蓋底座配套，實現(xiàn)真空蓋、密封膠圈，以及真空蓋底座三者準確定位，平穩(wěn)施壓真空蓋，形成真空腔室與密封膠圈和真空蓋底座配套使用，密封膠圈，位于真空蓋底座內(nèi)槽；樣品放置托用于放置被測樣品；真空蓋底座與轉(zhuǎn)移樣品臺相連；轉(zhuǎn)移樣品臺，在轉(zhuǎn)移過程中可將放置于X射線光電子能譜儀進樣室的磁力傳遞桿上。
通過本發(fā)明可以解決現(xiàn)有保持真空度有效時間較短，無法實現(xiàn)長效真空環(huán)境，進而需要提供X射線光電子能譜儀用長效真空轉(zhuǎn)移樣品臺及轉(zhuǎn)移方法。
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