[發明專利]一種CIGS柔性太陽能電池片硒源的線性源裝置

有效

• 申請號: 202110727129.2
• 申請日: 2021-06-29
• 公開（公告）號: CN113512701B
• 公開（公告）日: 2023-06-23
• 發明（設計）人: 羅明新;張衛彪;任宇航;任宇珂
• 申請（專利權）人: 浙江尚越新能源開發有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;C23C14/06;H01L31/032;H01L31/0445
• 代理公司: 杭州知見專利代理有限公司 33295
• 代理人: 張華

1.一種CIGS柔性太陽能電池片硒源的線性源裝置，?采用CIGS共蒸法工藝在真空環境下完成鍍膜，其特征在于：包括圓柱殼狀的線性硒源容器，線性硒源容器的側面沿圓柱法線方向開設有一條直線型的硒蒸汽噴口，所述線性硒源容器連接有盒狀硒源，盒狀硒源內部裝有待蒸發的硒金屬，盒狀硒源設有進料口和點狀噴口，盒狀硒源在硒金屬上方設置加熱源；盒裝硒源從點狀噴口輸出的硒蒸汽在線性硒源容器形成一個穩定的狀態后，從線性硒源容器的直線型硒蒸汽噴口處輸出，形成線性源；線性硒源容器的外壁還設置可提供二次加熱的加熱線圈，對線性硒源容器中硒蒸汽進行二次加熱。

2.根據權利要求1所述的一種CIGS柔性太陽能電池片硒源的線性源裝置，其特征在于：所述盒狀硒源為設置在線性硒源容器外部的外置硒源，盒狀硒源通過硒蒸汽輸送管連接線性硒源容器，硒蒸汽輸送管上依次設置有單向調壓閥和流量計，硒蒸汽輸送管外部還包設有防漏腔。

3.根據權利要求2所述的一種CIGS柔性太陽能電池片硒源的線性源裝置，其特征在于：所述盒狀硒源并列設置多個，各盒狀硒源連接同一蒸汽輸送管。

4.根據權利要求2所述的一種CIGS柔性太陽能電池片硒源的線性源裝置，其特征在于：所述盒狀硒源設置單個，盒狀硒源內部分隔成多個獨立腔室，各腔室具有獨立的進料口和點狀噴口，各腔室連接同一蒸汽輸送管。

5.根據權利要求2或3或4所述的一種CIGS柔性太陽能電池片硒源的線性源裝置，其特征在于：所述線性硒源容器的內部設有往復式盤管，往復式盤管與蒸汽輸送管相連，往復式盤管上均勻開設有氣孔。

6.根據權利要求2或3或4所述的一種CIGS柔性太陽能電池片硒源的線性源裝置，其特征在于：所述線性硒源容器設置在蒸鍍反應腔內部，盒狀硒源設置在蒸鍍反應腔的外部，蒸鍍反應腔內部在線性硒源容器下方設置銅、銦、鎵的金屬蒸發源，蒸鍍反應腔內部還設有壓力計。

7.根據權利要求1所述的一種CIGS柔性太陽能電池片硒源的線性源裝置，其特征在于：所述盒狀硒源為設置在線性硒源容器內部的內置硒源，盒狀硒源內部分隔成多個獨立腔室，各腔室具有獨立的進料口和點狀噴口。

8.根據權利要求7所述的一種CIGS柔性太陽能電池片硒源的線性源裝置，其特征在于：所述線性硒源容器設置在蒸鍍反應腔內部，蒸鍍反應腔內部在線性硒源容器下方設置銅、銦、鎵的金屬蒸發源，蒸鍍反應腔內部還設有壓力計。

9.根據權利要求1或2或3或4或7或8所述的一種CIGS柔性太陽能電池片硒源的線性源裝置，其特征在于：所述線性硒源容器的圓柱壁上均勻布設有加熱線圈，線性硒源容器側壁設有熱電偶。

10.根據權利要求1或2或3或4或7或8所述的一種CIGS柔性太陽能電池片硒源的線性源裝置，其特征在于：所述線性硒源容器的直線型硒蒸汽噴口設置有內倒角。