[發(fā)明專利]一種半導(dǎo)體元件自動(dòng)上料測(cè)試裝置

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202110713201.6
• 申請(qǐng)日: 2021-06-25
• 公開（公告）號(hào): CN113401651A
• 公開（公告）日: 2021-09-17
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 單忠頻;陳樹釗;周圣軍;繆來(lái)虎;薛克瑞;胡紅坡;康茂
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 廣東歌得智能裝備有限公司
• 主分類號(hào): B65G47/90
• 分類號(hào): B65G47/90;B65G47/52
• 代理公司: 深圳市君勝知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 44268
• 代理人: 盧勁亮

本發(fā)明公開了一種半導(dǎo)體元件自動(dòng)上料測(cè)試裝置，第一推車、第二推車、工作臺(tái)、設(shè)置在工作臺(tái)上的元件搬運(yùn)機(jī)構(gòu)、料盤y軸傳送機(jī)構(gòu)以及若干個(gè)測(cè)試治具，所述料盤y軸傳送機(jī)構(gòu)具有料盤進(jìn)給工位、取料工位以及料盤回收工位，所述取料工位的下方設(shè)置有取料頂升機(jī)構(gòu)，所述料盤進(jìn)給工位的下方設(shè)有第一料盤z軸升降機(jī)構(gòu)，所述料盤回收工位的下方設(shè)有第二料盤z軸升降機(jī)構(gòu)，第一料盤z軸升降機(jī)構(gòu)與第一料盤x軸傳送機(jī)構(gòu)銜接，第二料盤z軸升降機(jī)構(gòu)與第二料盤x軸傳送機(jī)構(gòu)銜接。本發(fā)明提供的半導(dǎo)體元件自動(dòng)上料測(cè)試裝置，自動(dòng)化地完成料盤卸下轉(zhuǎn)移以及空料盤碼垛回收工序，消除人工搬運(yùn)半導(dǎo)體元件帶來(lái)的問(wèn)題，提高生產(chǎn)效率。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體性能檢測(cè)設(shè)備領(lǐng)域，特別涉及一種半導(dǎo)體元件自動(dòng)上料測(cè)試裝置。

背景技術(shù)

半導(dǎo)體自動(dòng)生產(chǎn)線產(chǎn)出半導(dǎo)體元件成品后，半導(dǎo)體元件一般會(huì)整齊儲(chǔ)藏在料盤上，多個(gè)滿料的料盤一般會(huì)通過(guò)碼垛堆疊放置，當(dāng)料盤碼垛數(shù)量達(dá)到設(shè)定數(shù)量時(shí)，會(huì)通過(guò)推車將該垛料盤搬運(yùn)至質(zhì)量測(cè)試車間，工作人員需要卸下推車的料盤，然后將料盤上的半導(dǎo)體元件放入測(cè)試治具上進(jìn)行測(cè)試，半導(dǎo)體元件測(cè)試合格后才能包裝，測(cè)試期間產(chǎn)生的空料盤需要工作人員碼垛放置在推車上，運(yùn)回半導(dǎo)體自動(dòng)生產(chǎn)線。但是，料盤卸下轉(zhuǎn)移以及空料盤碼垛回收的過(guò)程耗時(shí)費(fèi)力；而且人工取放半導(dǎo)體元件過(guò)程也對(duì)半導(dǎo)體元件質(zhì)量造成一定影響，生產(chǎn)效率低下。

可見，現(xiàn)有技術(shù)還有待改進(jìn)和提高。

發(fā)明內(nèi)容

鑒于上述現(xiàn)有技術(shù)的不足之處，本發(fā)明的目的在于提供一種半導(dǎo)體元件自動(dòng)上料測(cè)試裝置，旨在自動(dòng)化地完成料盤卸下轉(zhuǎn)移以及空料盤碼垛回收工序，消除人工搬運(yùn)半導(dǎo)體元件帶來(lái)的問(wèn)題，提高生產(chǎn)效率。

為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明采取了以下技術(shù)方案：

一種半導(dǎo)體元件自動(dòng)上料測(cè)試裝置，包括第一推車、第二推車、工作臺(tái)、設(shè)置在工作臺(tái)上的元件搬運(yùn)機(jī)構(gòu)、料盤y軸傳送機(jī)構(gòu)以及若干個(gè)測(cè)試治具，所述料盤y軸傳送機(jī)構(gòu)具有料盤進(jìn)給工位、取料工位以及料盤回收工位，所述取料工位的下方設(shè)置有取料頂升機(jī)構(gòu)，所述料盤進(jìn)給工位的下方設(shè)有第一料盤z軸升降機(jī)構(gòu)，所述料盤回收工位的下方設(shè)有第二料盤z軸升降機(jī)構(gòu)，第一料盤z軸升降機(jī)構(gòu)與第一料盤x軸傳送機(jī)構(gòu)銜接，第二料盤z軸升降機(jī)構(gòu)與第二料盤x軸傳送機(jī)構(gòu)銜接，所述元件搬運(yùn)機(jī)構(gòu)用于將取料工位上的半導(dǎo)體元件搬運(yùn)至測(cè)試治具上實(shí)現(xiàn)質(zhì)量測(cè)試，所述第一推車上碼垛放置有多個(gè)裝滿半導(dǎo)體元件的料盤，所述第一料盤x軸傳送機(jī)構(gòu)用于將第一推車上的所有料盤一次性地搬運(yùn)至第一料盤z軸升降機(jī)構(gòu)上；所述第二料盤x軸傳送機(jī)構(gòu)用于將第二料盤z軸升降機(jī)構(gòu)上的空料盤一次地搬運(yùn)至第二推車上。

所述第一推車包括可移動(dòng)的車架、兩塊對(duì)稱設(shè)置在車架頂部的限位頂板；每塊限位頂板上安裝有限位側(cè)板，兩塊限位側(cè)板之間設(shè)有供料盤碼垛放置的料盤儲(chǔ)藏腔，所述限位頂板用于承托料盤；兩塊限位頂板分離設(shè)置，形成舉升避讓通道。

所述第一料盤x軸傳送機(jī)構(gòu)包括固定支架、設(shè)置在固定支架上的x軸滑移機(jī)構(gòu)、設(shè)置在x軸滑移機(jī)構(gòu)上的移動(dòng)支架、可相對(duì)移動(dòng)支架上下移動(dòng)的托盤器、與托盤器驅(qū)動(dòng)連接的托盤氣缸，所述x軸滑移機(jī)構(gòu)用于驅(qū)動(dòng)移動(dòng)支架左右運(yùn)動(dòng)。

所述第一料盤z軸升降機(jī)構(gòu)包括z軸滑移機(jī)構(gòu)、設(shè)置在z軸滑移機(jī)構(gòu)上的C形托架，所述z軸滑移機(jī)構(gòu)用于驅(qū)動(dòng)C形托架上下移動(dòng)，所述C形托架的內(nèi)側(cè)上設(shè)有兩個(gè)相互對(duì)稱且平行的支臂，所述支臂的上表面設(shè)有導(dǎo)引條，支臂的上表面設(shè)有若干定位凸起，所述料盤的底部開設(shè)有與定位凸起相適配的定位孔

所述料盤y軸傳送機(jī)構(gòu)包括兩個(gè)對(duì)稱的夾塊、用于驅(qū)動(dòng)兩個(gè)夾塊相互靠近或遠(yuǎn)離的夾持氣缸，每個(gè)夾持氣缸安裝在一個(gè)y軸滑移機(jī)構(gòu)上，兩個(gè)y軸滑移機(jī)構(gòu)相互平行且分離設(shè)置，所述料盤進(jìn)給工位、取料工位以及料盤回收工位位于兩個(gè)y軸滑移機(jī)構(gòu)之間。

所述取料頂升機(jī)構(gòu)包括固定平臺(tái)、可相對(duì)固定平臺(tái)上下移動(dòng)的托板、設(shè)置在固定平臺(tái)上且用于驅(qū)動(dòng)托板上下移動(dòng)的頂升氣缸，所述托板位于兩個(gè)y軸滑移機(jī)構(gòu)之間。