[發明專利]一種半導體元件長時間測試裝置及其測試方法

在審

• 申請號: 202110713195.4
• 申請日: 2021-06-25
• 公開（公告）號: CN113399311A
• 公開（公告）日: 2021-09-17
• 發明（設計）人: 單忠頻;康茂;周圣軍;繆來虎;薛克瑞;胡紅坡;陳樹釗
• 申請（專利權）人: 廣東歌得智能裝備有限公司
• 主分類號: B07C5/344
• 分類號: B07C5/344;B07C5/02;B07C5/36
• 代理公司: 深圳市君勝知識產權代理事務所(普通合伙) 44268
• 代理人: 盧勁亮

本發明公開了一種半導體元件長時間測試裝置及其測試方法，包括工作臺、設置在工作臺上的x軸滑移機構、設置在x軸滑移機構上的上料機構和下料機構；所述上料機構包括第一機架、設置在第一機架上的y軸滑移機構、設置在y軸滑移機構上的第二機架、設置在第二機架上的開夾組件和z軸滑移機構、設置在z軸滑移機構上的吸取機構；所述工作臺上以矩形陣列的排布方式設置有多個測試治具。半導體元件長時間測試裝置通過上料機構和下料機構自動化地完成半導體元件的自動裝配測試和測后轉移；元件夾緊器具有自動夾件功能，通過開夾組件自動控制元件夾緊器在張開裝件狀態和鎖定夾件狀態的切換，以便配合半導體元件的安裝或卸載。

技術領域

本發明涉及半導體性能檢測設備技術領域，特別涉及一種半導體元件長時間測試裝置及其測試方法。

背景技術

在半導體的生產制造中，為了確保某些型號的半導體元件的性能可靠性，需要長時間地對該型號的半導體元件進行測試，等待測試后合格后才能進行包裝，由于這類半導體元件是要放在專用的測試治具上進行長時間測試，為了確保長時間測試過程中半導體元件與測試治具的連接探針接觸良好，測試治具一般會采用壓扣方式。壓扣式的測試治具是需要通過人工取放半導體元件，因此生產效率低下，人工取放半導體元件過程也對半導體元件質量造成一定影響。

可見，現有技術還有待改進和提高。

發明內容

鑒于上述現有技術的不足之處，本發明的目的在于提供一種半導體元件長時間測試裝置及其測試方法，旨在利用上料機構和下料機構自動化地對測試治具安裝或卸載半導體元件，提高生產效率；以及通過開夾組件自動將元件夾緊器由鎖定夾件狀態切換至張開裝件狀態，以便配合半導體元件的安裝或卸載。

為了達到上述目的，本發明采取了以下技術方案：

一種半導體元件長時間測試裝置，包括工作臺、設置在工作臺上的x軸滑移機構、設置在x軸滑移機構上的上料機構和下料機構；所述上料機構包括第一機架、設置在第一機架上的y軸滑移機構、設置在y軸滑移機構上的第二機架、設置在第二機架上的開夾組件和z軸滑移機構、設置在z軸滑移機構上的吸取機構；所述第一機架在所述x軸滑移機構上左右運動，所述y軸滑移機構帶動第二機架前后運動，所述z軸滑移機構帶動所述吸取機構上下運動；所述工作臺上以矩形陣列的排布方式設置有多個測試治具，每個測試治具包括測試底座、設置在測試底座上的測試電路元件以及元件夾緊器，元件夾緊器具有張開裝件狀態和鎖定夾件狀態，所述開夾組件用于將元件夾緊器由鎖定夾件狀態切換至張開裝件狀態，使吸取機構能夠將半導體元件安裝在測試治具上；所述下料機構用于轉移測試治具上的半導體元件。

所述元件夾緊器包括兩個對稱設置在測試底座上的夾爪，每個夾爪包括自上而下依次連接設置的夾件部、連接部以及彎腳部，所述連接部與測試底座轉動連接，所述測試底座上安裝有用于驅使兩個夾爪的夾件部相互靠近的彈性構件。

所述開夾組件包括開夾安裝板、與開夾安裝板滑動連接的z軸滑板、用于驅動z軸滑板上下移動的直線驅動器，所述z軸滑板上設有兩個與夾爪位置相對應的支臂，每個支臂的底部設有解鎖器，所述解鎖器用于按壓夾爪的彎腳部，使兩個夾爪的夾件部相互遠離。

所述解鎖器包括具有下凹腔的解鎖支座，水平設置在下凹腔中的支軸、若干個可轉動地套在支軸上的壓輪。

所述z軸滑板的上設有到位觸發塊，所述開夾安裝板上設有第一傳感器支架，第一傳感器支架上設有豎直朝上設有光電開關，所述到位觸發塊用于觸發光電開關。

所述吸取機構包括吸取安裝座、豎直設置在吸取安裝座上的軸套，設置在軸套底部的導向座，軸套上設有一個橫截面為非圓形的軸向通孔，該軸向通孔中插入一根與軸向通孔的形狀相適配的內軸，該內軸的底部向下伸出軸向通孔且連接有吸盤安裝座，吸盤安裝座的底部設有吸盤，所述內軸上套裝有緩沖彈簧，該緩沖彈簧位于吸盤安裝座與導向座之間，所述內軸的頂部設有限位卡簧，所示內軸上設有一個軸向通道，軸向通道的底端與吸盤連通，軸向通道的頂端連接有氣嘴。