[發明專利]一種判斷砷化鎵晶體中線性孿晶長度的方法

有效

• 申請號: 202110709208.0
• 申請日: 2021-06-25
• 公開（公告）號: CN113427651B
• 公開（公告）日: 2023-06-23
• 發明（設計）人: 劉建忠;劉火陽;周鐵軍;易明輝
• 申請（專利權）人: 廣東先導微電子科技有限公司
• 主分類號: B28D5/00
• 分類號: B28D5/00;G06F17/11;C30B33/10;C30B29/42
• 代理公司: 北京天盾知識產權代理有限公司 11421
• 代理人: 李瓊芳;肖小龍

1.一種判斷砷化鎵晶體中線性孿晶長度的方法，其特征在于，包括以下步驟：

S1.預處理晶片，測量晶片頭部一端線性孿晶的任意一端點到晶片側面的垂直距離；

S2.根據線性孿晶和晶體角度偏轉的方向和角度有關聯性，得出線性孿晶長度計算公式：

H=Ltan（θ+β）式1

式1中，θ為任一晶面和孿晶面的夾角，θ+β為晶體端面和孿晶面的夾角，β為由一晶面往孿晶面偏轉的度數，L代表晶片頭部一端線性孿晶的任意一端點到晶片側面的垂直距離，H表示需要切割的長度；

式2為根據晶面指數計算晶面夾角的公式，（h，k，l）代表晶面指數，式2中的h1、k1和l1代表任一晶面的晶面指數；式2中的h2、k2和l2代表孿晶面的晶面指數；

S3.通過計算的切割長度，按照切割的長度，對待檢測晶片切除相應的孿晶；

其中，S1中，所述預處理為：從晶體頭部切取待檢測晶片，對待檢測晶片進行化學藥劑腐蝕，顯示出晶片頭部和晶片尾部兩面的線性孿晶；所述化學藥劑為氫氧化銨、過氧化氫和純水的混合藥液；所述混合藥液中，氫氧化銨、過氧化氫和純水的質量比為1-3:1-3:1；

所述晶面為（100）面，所述孿晶面為（111）面。

2.根據權利要求1所述的判斷砷化鎵晶體中線性孿晶長度的方法，其特征在于，所述對待檢測晶片進行化學藥劑腐蝕包括：將待檢測晶片浸泡于所述混合藥液中腐蝕2-8min。

3.根據權利要求1所述的判斷砷化鎵晶體中線性孿晶長度的方法，其特征在于，從晶體頭部切取待檢測晶片的切取方法為：使用內圓切片機或單線切割機，從晶體的頭部即線性孿晶出現的端面作為切割的起始端。

4.根據權利要求3所述的判斷砷化鎵晶體中線性孿晶長度的方法，其特征在于，所述晶體頭部按600-1200μm的厚度切取。