[發明專利]一種測量掃面電子顯微鏡電子束斑尺寸的方法

在審

• 申請號: 202110705873.2
• 申請日: 2021-06-24
• 公開（公告）號: CN113446951A
• 公開（公告）日: 2021-09-28
• 發明（設計）人: 邵俊;朱錦新;徐森;孫久;王穎;錢月
• 申請（專利權）人: 鹽城工學院
• 主分類號: G01B11/08
• 分類號: G01B11/08
• 代理公司: 南京業騰知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 32321
• 代理人: 馬威

1.一種測量掃面電子顯微鏡電子束斑尺寸的方法，其特征在于：所述測量工具包括：電子束輸出組件、束斑測量組件和支架，所述豎板測量組件安裝在支架表面并與其滑動連接，所述電子束輸出組件安裝在支架的頂部。

2.根據權利要求1所述的一種測量掃面電子顯微鏡電子束斑尺寸的方法，其特征在于：所述束斑測量組件包括YAG晶體板、反光鏡、法拉第杯和CCD相機。

3.根據權利要求2所述的一種測量掃面電子顯微鏡電子束斑尺寸的方法，其特征在于：所述反光鏡設置在YAG晶體板背面并背離電子束輸出組件的一側，所述CCD相機設置在反光鏡的反射光路上，所述YAG晶體板法拉第杯的杯口處。

4.根據權利要求2所述的一種測量掃面電子顯微鏡電子束斑尺寸的方法，其特征在于：所述電子顯微鏡電子束斑尺寸的測量方法包括如下步驟：

步驟1：將一寬度小于法拉第杯直徑的YAG晶體設置于法拉第杯的杯口，保證兩者有良好的電接觸，將法拉第杯放置于掃描電子顯微鏡的放置端，開啟掃描電子顯微鏡；

步驟2：電子束輸出組件輸出電子束，電子束射向束斑測量組件的YAG晶體板，YAG晶體板將電子束轉化成光束，然后射向反光鏡，反光鏡將光束反射至CCD相機，通過得到一張清晰的長方形金屬薄片的電子顯微圖像，以測量電子束束斑的大小，截取部分圖像，截取圖像中包含該邊緣沿電子顯微鏡掃描方向全部灰度變化過程；

步驟3：使用數據處理軟件讀取截取圖片的RGB值，分別得到R、G、B三個二維灰度值矩陣；

步驟4：將步驟3中得到的三個矩陣求平均，得到一個平均矩陣，再對該平均矩陣的每一列求和，最后得到一個一維灰度值矩陣；

步驟5：根據步驟4得到的一維矩陣各元素數值繪制成二維曲線，曲線高度表示數值大小，定義該曲線為電子束積分曲線，該積分曲線的上升沿寬度即為電子束的束斑直徑。