[發(fā)明專利]一種MEMS衍射波導顯示裝置在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 202110703123.1 | 申請日： | 2021-06-24 |
| 公開（公告）號： | CN113433694A | 公開（公告）日： | 2021-09-24 |
| 發(fā)明（設計）人： | 李會會;王丙杰;張威;李雙龍;史曉剛 | 申請（專利權）人： | 北京梟龍科技有限公司 |
| 主分類號： | G02B27/01 | 分類號： | G02B27/01 |
| 代理公司： | 北京凱特來知識產(chǎn)權代理有限公司 11260 | 代理人： | 鄭立明;付久春 |
| 地址： | 100144 北京市石景山*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 mems 衍射 波導 顯示裝置 | ||
1.一種MEMS衍射波導顯示裝置，其特征在于，包括：
衍射波導顯示組件(500)、MEMS掃描鏡(631)和激光發(fā)射器(610)；其中，
所述MEMS掃描鏡(631)與激光發(fā)射器(610)分設在所述衍射波導顯示組件(500)的兩側組成MEMS激光掃描系統(tǒng)，該MEMS掃描鏡(631)與激光發(fā)射器(610)的位置與所述衍射波導顯示組件(500)的入射光柵(512)位置對應；
所述入射光柵(512)上設有激光入射通孔(518)，所述激光發(fā)射器(610)的激光能通過所述激光入射通孔(518)直接入射到所述MEMS掃描鏡(631)上；
所述MEMS掃描鏡(631)設置在所述衍射波導顯示組件(500)的入射光柵(512)上方。
2.根據(jù)權利要求1所述的MEMS衍射波導顯示裝置，其特征在于，所述MEMS掃描鏡(631)水平設置在所述衍射波導顯示組件(500)的入射光柵(512)上方。
所述激光發(fā)射器(610)設置在所述入射光柵(512)底部的波導基板(501)的底面的下方。
3.根據(jù)權利要求1所述的MEMS衍射波導顯示裝置，其特征在于，所述激光入射通孔(518)位于所述入射光柵(512)的中心處。
4.根據(jù)權利要求1至3任一項所述的MEMS衍射波導顯示裝置，其特征在于，所述激光入射通孔(518)的直徑不小于所述激光發(fā)射器(610)發(fā)射激光的直徑。
5.根據(jù)權利要求1至3任一項所述的MEMS衍射波導顯示裝置，其特征在于，所述激光發(fā)射器(610)采用紅、綠、藍三色激光器；或者激光發(fā)射器采用單色激光器；
所述MEMS掃描鏡(631)采用一個二維MEMS掃描鏡，或者，所述MEMS掃描鏡采用掃描軸互相垂直的兩個一維MEMS掃描鏡。
6.根據(jù)權利要求1至3任一項所述的MEMS衍射波導顯示裝置，其特征在于，所述衍射波導顯示組件(500)包括：與所述入射光柵(512)間隔設置的轉折光柵(514)，以及與所述轉折光柵(514)間隔設置的出射光柵(516)。
7.根據(jù)權利要求1至3任一項所述的MEMS衍射波導顯示裝置，其特征在于，所述衍射波導顯示組件(500)包括：與所述入射光柵(512)間隔設置的二維出射光柵。
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